多晶硅还原炉内连接固定硅芯组合装置的制作方法
2021-01-30本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种多晶硅还原炉内连接固定硅芯组合装置。背景技术:在多晶硅还原生长的过程中,多晶硅围绕硅芯生长成多晶硅棒。硅芯由石墨头、石墨座固定安装
一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺的制作方法
2021-01-30本发明涉及石墨工艺品生产设备领域,具体为一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺。背景技术:石墨俗称“黑金”,其在常温下具有很好的化学稳定性,不受任何强酸、强碱及有机溶剂的侵蚀,因此石
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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种多晶硅还原炉内连接固定硅芯组合装置。背景技术:在多晶硅还原生长的过程中,多晶硅围绕硅芯生长成多晶硅棒。硅芯由石墨头、石墨座固定安装
本发明涉及石墨工艺品生产设备领域,具体为一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺。背景技术:石墨俗称“黑金”,其在常温下具有很好的化学稳定性,不受任何强酸、强碱及有机溶剂的侵蚀,因此石