一种用于D4液体原材料的汽化装置及方法与流程
2021-01-30一种用于d4液体原材料的汽化装置及方法技术领域[0001]本申请涉及光纤预制棒ovd沉积工艺生产设备技术领域,特别涉及一种用于d4液体原材料的汽化装置及方法。背景技术:[000
气相沉积蒸发器装置的制作方法
2021-01-30本发明涉及一种用于将材料沉积到基板上的气相沉积蒸发器。更具体地,本发明涉及一种用于将材料连续沉积到基板上的稳态气相沉积蒸发器装置。甚至更具体地,本发明涉及一种用于将金属材料连续
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