薄膜材料沉积反应装置的制作方法
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原子层沉积装置的制作方法
2021-01-30本实用新型涉及原子沉积技术领域:,特别涉及一种原子层沉积装置。背景技术::目前的原子层沉积装置的反应器都是通过设置多个进气管道与多个反应腔对应连通,以实现均匀供气,但这样设置使
原子层沉积密封装置的制作方法
2021-01-30本实用新型涉及原子层沉积技术领域,特别涉及一种原子层沉积密封装置。背景技术:原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相
线性串联的原子层沉积系统的制作方法
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一种CuCrCoFeNiZrx高熵合金及其制备方法与流程
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密度优化的钼合金的制作方法
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