原子层沉积密封装置的制作方法

本实用新型涉及原子层沉积技术领域，特别涉及一种原子层沉积密封装置。

背景技术：

原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。

原子层沉积密封装置是利用上述原理，在真空状态下对物料进行覆膜，由于要适用于各种规格的物料，原子层沉积密封装置一般体积较大，而作为进出物料设置的开合门，一般设置为平面，由于密封装置抽真空状态时负压的存在，很容易让开合门产生形变，严重者甚至直接损坏开合门。

而在现有技术中，设计人员为了解决这个问题，会采用特殊材质的材料去增强开合门的强度，这样会极大程度上增加原子层沉积密封装置的成本。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的是提出一种原子层沉积密封装置，旨在解决现有原子层沉积密封装置的开合门容易产生形变的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出一种原子层沉积密封装置，所述原子层沉积密封装置包括：

箱体，所述箱体上设有放物口；

弧形盖体，与所述箱体转动连接，具有开启状态和关闭状态，当所述弧形盖体处于开启状态时，所述放物口与外界连通；当所述弧形盖体处于关闭状态时，所述弧形盖体与所述放物口密封盖合以在所述箱体中形成可被抽成真空的密封腔。

可选地，所述弧形盖体包括密封框及弧形板，所述密封框具有相对的第一端和第二端，所述弧形板自所述第一端至所述第二端呈弧形弯曲。

可选地，所述密封框具有长度方向和宽度方向，所述密封框的第一端和第二端为其长度方向，

所述弧形板通过两个连接侧板与所述密封框宽度方向的两侧一对一连接；

所述弧形板与两个连接侧板一体设置。

可选地，所述放物口的数量为n个，每一所述放物口均设置一所述弧形盖体。

可选地，所述原子层沉积密封装置还包括可视组件，所述弧形盖体设置有安装孔，所述可视组件设于所述安装孔内，并与所述弧形盖体固定连接。

可选地，所述可视组件包括筒体、密封法兰、密封件和透光件，所述筒体的两端开口，所述筒体的一开口端连接所述弧形盖体的安装孔处，所述透光件通过所述密封法兰安装于所述筒体的另一开口端，所述密封法兰通过所述密封件与所述筒体的另一开口端密封连接。

可选地，所述弧形盖体上设置有密封圈，在所述弧形盖体处于关闭状态时，压合于所述弧形盖体及所述箱体之间，以对所述弧形盖体与所述箱体之间密封。

可选地，所述箱体上设有行程开关，在所述弧形盖体处于关闭位置时被所述弧形盖体推动触发。

可选地，所述放物口的数量为两个，分别为第一放物口和第二放物口，所述弧形盖体的数量为两个，分别为第一盖体和第二盖体，所述第一盖体对应所述第一放物口设置，所述第二盖体对应所述第二放物口设置，所述第一盖体及所述第一放物口设置于所述箱体的侧面，所述第二盖体及所述第二放物口设置于所述箱体的上方。

可选地，所述箱体上环绕所述放物口设置有第一紧固孔，所述弧形盖体与所述放物口的紧固孔对应位置设置有第二紧固孔，通过螺丝穿过第一紧固孔与所述第二紧固孔连接，以将所述弧形盖体预装于所述放物口。

本实用新型技术方案通过在原子层沉积密封装置的加热电路中设置有箱体和弧形盖体，箱体上设有放物口，通过放物口可以将物料放进箱体中，放物口可以设置在箱体侧面，经由放物口将物料从外界推入箱体，放物口可以设置在箱体上方，利用机械臂等经由放物口将物料从箱体上方放入箱体。弧形盖体与箱体转动连接，具有开启状态和关闭状态，当弧形盖体处于开启状态时，放物口与外界连通，原子层沉积密封装置处于非工作状态，可以进行维修和清洗，也可将实现将物料放置至箱体内的操作。当弧形盖体处于关闭状态时，弧形盖体与放物口密封盖合以在箱体中形成可被抽成真空的密封腔，当箱体中被抽成真空后，形成密封腔，此时，弧形盖体属于密封腔的一部分，会承受较大的负压，由于弧形盖体的存在，使得密封腔由弧形盖体构成的部分受力较为均匀，从而使得同等材质的开合门的情况下，弧形盖体能承受更大的负压，从而在减少原子层沉积密封装置的造价的基础上，能显著提高原子层沉积密封装置的性能。本实用新型技术方案使得现有原子层沉积密封装置开合门的强度增加，不易产生形变。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型原子层沉积密封装置的结构示意图；

图2为本实用新型原子层沉积密封装置的结构示意图；

图3为本实用新型原子层沉积密封装置的可视组件的结构示意图。

本实用新型目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，若全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案，或b方案，或a和b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种原子层沉积密封装置。用于解决现有原子层沉积密封装置无法加热的问题。

在本实用新型的一实施例中，如图1所示，原子层沉积密封装置包括箱体10和弧形盖体20，箱体10上设有放物口，通过放物口可以将物料放进箱体10中，放物口可以设置在箱体10侧面，经由放物口将物料从外界推入箱体10，放物口可以设置在箱体10上方，利用机械臂等经由放物口将物料从箱体10上方放入箱体10。弧形盖体20与箱体10转动连接，具有开启状态和关闭状态，当弧形盖体20处于开启状态时，放物口与外界连通，原子层沉积密封装置处于非工作状态，可以进行维修和清洗，也可将实现将物料放置至箱体10内的操作。当弧形盖体20处于关闭状态时，弧形盖体20与放物口密封盖合以在箱体10中形成可被抽成真空的密封腔，当箱体10中被抽成真空后，形成密封腔，此时，弧形盖体20属于密封腔的一部分，会承受较大的负压，由于弧形盖体20的存在，使得密封腔由弧形盖体20构成的部分受力较为均匀，从而使得同等材质的开合门的情况下，弧形盖体20能承受更大的负压，从而在减少原子层沉积密封装置的造价的基础上，能显著提高原子层沉积密封装置的性能。值得注意的是，此时所说的弧形盖体20即为背景技术中所提及的开合门。弧形盖体20的长度、弧度以及厚度具有一定关系，在需要达到同等承受负压能力的基础上，弧形盖体20的长度越长、弧度越小，则需要增厚弧形盖体20的厚度。

可选地，转动连接采用铰链、销轴等方式实现。

在一实施例中，如图2所示，为了方便弧形盖体20的制作以及降低制作难度，弧形盖体20包括密封框2011及弧形板2012，密封框2011具有相对的第一端和第二端，此时的密封框2011并不局限于特定的形状，可以为四边形、五边形、六边形等具有相对的第一端和第二端的各种形状的密封框2011，弧形板2012自第一端至第二端呈弧形弯曲。值得注意的是，密封框2011与弧形板2012可以一体设置，密封框2011与弧形板2012之间也可以密封连接。

在一实施例中，为了更加均匀受力，降低生产难度，密封框2011具有长度方向和宽度方向，密封框2011的第一端和第二端为其长度方向。弧形板2012通过两个连接侧板与密封框2011宽度方向的两侧一对一连接。弧形板2012与两个连接侧板(2013、2014)一体设置。此时，密封框2011、弧形板2012、两个连接侧板(2013、2014)构成完整的弧形盖体20，且四者一体设置，可以采用一体成型等生产工艺来进行制作。进一步保证弧形盖体20的密封性能的通时还能提高弧形盖体20承受负压的能力，且相比一整块面板完全采用弧形板2012来说，降低了制造弧形面板的难度。

可选地，为了方便原子层沉积密封装置的大型化和多样化，放物口的数量为n个，每一放物口均设置一弧形盖体20。

在一实施例中，为了方便观察原子层沉积的进度，原子层沉积密封装置还包括可视组件2015，弧形盖体20设置有安装孔，可视组件2015设于安装孔内，并与弧形盖体20固定连接。

在一实施例中，如图3所示，为了使得用户可以方便查看原子层沉积密封装置的工作状态的同时，还不影响其密封效果，可视组件2015包括筒体401、密封法兰402、密封件和透光件403，筒体401的两端开口，筒体401的一开口端连接弧形盖体20的安装孔处，筒体401作为外延部分可以方便用户直接知晓其功能，另外，由于安装孔在一定程度上会影响弧形盖体20的受力，因此，将其设置为和弧形盖体20同材质的筒体401，可以一定程度上增强安装孔部位的强度。透光件403通过密封法兰402安装于筒体401的另一开口端，密封法兰402通过密封件与筒体401的另一开口端密封连接。筒体401与弧形盖体20一体设置。

可选地，密封法兰402包括第一法兰盘、第二法兰盘及螺栓，密封件包括第一垫片和第二垫片，弧形盖体20延伸出筒体401，第一法兰盘安装于筒体401的另一开口端，透光件403安装于第一法兰盘和第二法兰盘之间，在透光件403与第一法兰盘设有第一垫片、在透光件403与第二法兰盘设有第二垫片，以在第一法兰盘和第二法兰盘通过螺栓固定连接时，形成一体结构，从而第一法兰盘、第二法兰盘、透光件403三者之间没有缝隙。其中，第一垫片和第二垫片可以为橡胶材质。

在一实施例中，为了进一步增强原子层沉积密封装置的密封性能，弧形盖体20上设置有密封圈2016，在弧形盖体20处于关闭状态时，压合于弧形盖体20及箱体10之间，以对弧形盖体20与箱体10之间密封。

在一实施例中，为了方便用户确认弧形盖体20是否盖好，箱体10上设有行程开关(102、104)，在弧形盖体20处于关闭位置时行程开关(102、104)被弧形盖体20推动触发。值得注意的是，此处为了方便用户获取盖合结果，会设置有传感器或者检测电路，在开关按下时，将检测到的盖合信息发送到原子层沉积密封装置的控制器，然后通过控制器控制声音模块提示盖合成功或者通过显示面板显示盖合成功。

在一实施例中，放物口的数量为两个，分别为第一放物口101和第二放物口103，弧形盖体20的数量为两个，分别为第一盖体201和第二盖体202，第一盖体201对应第一放物口101设置，第二盖体202对应第二放物口103设置，第一盖体201及第一放物口101设置于箱体10的侧面，第二盖体202及第二放物口103设置于箱体10的上方。此时，在箱体10的侧面和上方均设置有放物口，用户可以根据实际物料的类型开启合适的弧形盖体20去放置物料。或者是进行相应维修工作。

在一实施例中，箱体10上环绕放物口设置有第一紧固孔302，弧形盖体20与放物口的紧固孔对应位置设置有第二紧固孔301，通过螺丝穿过第一紧固孔302与第二紧固孔301连接，以将弧形盖体20预装于放物口。

其中，由于原子层沉积密封装置有的体型较大，因此，可以将紧固孔的数量设置多对，以进一步固定好弧形盖体20的位置，以保证不工作时的安全，避免运输时的碰撞对弧形盖体20的损坏。

以上仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

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