本发明涉及一种半导体级氨水及硫酸回收循环制造方法，将半导体工业的废酸液及硫酸铵，回收并重新制成可使用的半导体级氨水及半导体级硫酸的工艺。背景技术：硫酸(h2so4)，为一种具有

• 氨水
• 硫酸铵
• 氨气
• 金属回收
• 半导体

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本发明涉及半导体性富集单壁碳纳米管薄膜制备领域，具体为一种原位刻蚀制备单根分散、半导体性富集单壁碳纳米管薄膜的方法。背景技术：薄膜晶体管是构成宏观电子器件的基本单元，同时具备高

• 半导体
• 金属性
• 注射泵
• 碳纳米管
• 晶体管

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本发明涉及半导体性单壁碳纳米管液相分离领域，具体为一种大直径半导体性单壁碳纳米管的聚合物辅助分离方法。背景技术：碳纳米管可以看做是由二维石墨烯片卷曲而成的中空管状结构，其独特的

• 半导体
• 金属性
• 碳纳米管
• 吸收光谱
• 拉曼

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本发明涉及半导体生产工艺技术领域，具体地说是涉及半导体致冷件焊接方法和焊接模具。背景技术：所述的半导体致冷件简称致冷件，它包括两块瓷板和焊接在两个瓷板之间的多个半导体晶粒，所述

• 半导体
• 半导体产业

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本实用新型涉及研磨头外环研磨设备领域，具体涉及一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置。背景技术：目前在半导体研磨头外环研磨的工艺中，研磨液的导出和控制存在一定的不可控因

• 液位传感器
• 半导体
• 半导体产业

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[0001]本发明涉及半导体石墨技术领域，尤其涉及一种半导体石墨的制备方法。背景技术：[0002]随着中国冶金、化工、机械、医疗器械、核能、汽车、航空航天等行业的快速发展，这些

• 石墨
• 石墨制品
• 半导体
• 半导体产业

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本发明属于模具技术领域，具体涉及一种球形模具。背景技术：模具是工业生产上用来制作成型物品的工具，由各种零件构成，不同的模具由不同的零件构成。它主要通过所成型材料物理状态的改变来

• 半导体

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本发明的主题是用于抛光半导体晶圆的设备，该设备包括用于半导体晶圆的同时双面抛光的至少两个抛光机，并且该设备具有高度自动化的特征。此外，本发明还涉及一种用于抛光半导体晶圆的方法，

• 晶圆
• 半导体
• 机器人
• 抛光机
• 半导体产业

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本发明涉及半导体设备维护技术领域，且特别是有关于半导体设备的自动维护。背景技术：半导体设备，例如电子束蒸发机台，是使用电子束蒸发法实现真空蒸发镀膜，是在真空条件下利用电子束进行

• 温度开关
• 半导体
• 半导体产业

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本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置。背景技术：半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏

• 轴承
• 晶圆
• 半导体
• 半导体产业

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