一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置的制作方法

本实用新型涉及研磨头外环研磨设备领域，具体涉及一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置。

背景技术：

目前在半导体研磨头外环研磨的工艺中，研磨液的导出和控制存在一定的不可控因素；研磨液储存在研磨机上方的存储装置内，存储装置下方接有研磨液导出管，在所述导出管上设有控制流量大小的阀门，其存在的问题，研磨液流速不能得到很稳定的控制，随着存储装置内研磨液的不断消耗，流速会变慢，如果研磨液流速不稳定则不能很好的控制研磨出产品的质量好坏。

研磨液本身的特性是易沉淀和易结晶的，经过一段时间的放置研磨液在存储装置底部就会形成沉淀物质，需要手动用棍状物去搅拌研磨液防止其沉淀，同时管路出液口的研磨液长时间与空气接触会产生结晶体，每次待机时间过长就需要清理研磨液出液口防止其在出液口处结晶，否则再次打开研磨液管路，出液口处的研磨液结晶体就会随着管路流至工作台表面对产品造成划伤和污染；同时操作人员也不能准确地监控到研磨液的剩余状况，若研磨液不足，可能导致对产品的去除率不受控制，从而导致研磨产品报废。

技术实现要素：

针对现有技术存在研磨液沉淀、结晶、流量不稳定的问题，本申请提供一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，用于代替现有的研磨液导出系统。

为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，包括支撑框架，所述支撑框架下部一侧设有研磨液存储装置，另一侧设有纯净水存储桶，所述支撑框架上部一侧设有三通转换阀门，另一侧设有流量控制泵；所述研磨液存储装置通过输液管路与三通转换阀门的a口相连，所述纯净水存储桶通过输水管路与三通转换阀门的b口相连，所述三通转换阀门的c口连接输出管路，所述输出管路与流量控制泵相连；所述支撑框架的底板上还设有变频电机，该变频电机输出轴的端部伸进研磨液存储装置中，所述端部设有搅拌桨叶。

进一步的，所述研磨液存储装置，包括研磨液存储桶，该研磨液存储桶顶部设有进液口，所述进液口外周设有凸起，该凸起与进液口侧壁形成卡台，在卡台上设有过滤网，进液盖体盖合在凸起上。

进一步的，所述研磨液存储桶的其中一个拐角处下部设有三菱形凹槽，在所述三菱形凹槽的顶面和底面对称设有接头，两个接头之间连接有透明连接管，所述透明连接管底部设有液位传感器，所述液位传感器与电气箱相连。

进一步的，所述纯净水存储桶的其中一个拐角处下部设有三菱形凹槽，在所述三菱形凹槽的顶面和底面对称设有接头，两个接头之间连接有透明连接管。

进一步的，所述支撑框架的底板下面四周分别设有可固定滑轮。

更进一步的，在研磨液存储桶顶部还设有出液口，该出液口连接输液管路；在研磨液存储桶一侧底部设有排液口。

更进一步的，在纯净水存储桶顶部设有进液口和出液口，所述进液口与外部纯净水供水管相连接，所述出液口与输水管路相连，在纯净水存储桶一侧底部设有排液口。

更进一步的，所述变频电机与电气箱相连，该电气箱位于支撑框架一端的外壁上。

作为更进一步的，所述输出管路一端伸出支撑框架裸露在外。

作为更进一步的，所述输液管路伸进研磨液存储桶下部，输水管路伸进纯净水存储桶下部。

本实用新型由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：本申请能实现对研磨液流速的精准控制，具有定时自动搅拌功能，无需人工手动搅拌溶液防止结晶；同时在待机过程中通过三通转换阀门将管路内的溶液切换为水从而解决了管路出液口处的结晶问题；其使用方便，大大提升了操作人员的工作效率，同时生产出产品的品质可以得到更好的控制。

附图说明

图1为本申请研磨液自动供给输送装置的结构示意图；

图2为本申请研磨液自动供给输送装置的剖视图；

图3为研磨液存储装置的部分结构放大图；

图4为流量控制泵外观图；

图5为支撑框架结构示意图。

图中序号说明：1、变频电机，2、研磨液存储桶，3、支撑框架，4、三通转换阀门，5、输出管路，6、电气箱，7、流量控制泵，8、纯净水存储桶，9、可固定滑轮，10、地脚,11、输液管路，12、输水管路，13、搅拌桨叶，14、进液盖体，15、凸起，16、过滤网。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的描述：以此为例对本申请做进一步的描述说明。

实施例1

如图1-5所示，本实施例提供一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，包括支撑框架，该支撑框架包括支撑框架主体和电机固定架，所述支撑框架主体内设有十字形隔板，研磨液存储装置、纯净水存储桶分别位于十字形隔板下部两侧，三通转换阀门、流量控制泵分别位于十字形隔板上部两侧，所述研磨液存储装置通过输液管路与三通转换阀门的a口相连，所述纯净水存储桶通过输水管路与三通转换阀门的b口相连，所述三通转换阀门的c口与输出管路一端相连，所述输出管路另一端伸出支撑框架裸露在外；所述输出管路与流量控制泵相连，所述流量控制泵可带动输出管路内液体导出，通过对内部轴承的转速控制从而实现对输出管路内液体流速的精准控制；所述支撑框架的底板上还设有变频电机，该变频电机输出轴的端部伸进研磨液存储装置中，所述端部设有搅拌桨叶，其受变频电机控制而转动实现搅拌液体功能，同时该变频电机可通过电气箱设定定时工作功能，通过定时工作对液体进行搅拌从而解决研磨液沉淀问题。

所述研磨液存储装置，包括研磨液存储桶，该研磨液存储桶顶部设有进液口，其进液口形状可以为直径10公分的圆形，所述进液口外周设有凸起，该凸起与进液口侧壁形成卡台，过滤网落在卡台上得以支撑，进液盖体通过螺纹锁紧固定在凸起上，研磨液的供给为手动添加，在进液盖体上设有把手，通过旋转把手即可打开进液盖体。所述研磨液存储桶的其中一个拐角处下部设有三菱形凹槽，在所述三菱形凹槽的顶面和底面对称设有接头，两个接头之间连接有透明连接管以实现连通，所述透明连接管底部设有液位传感器，所述液位传感器与电气箱相连，当研磨液存储桶内液位处于液位传感器位置时，电气箱内的蜂鸣器响起警报，从而实现液位偏低报警功能。在研磨液存储桶顶部还设有出液口，该出液口连接输液管路，用于将研磨液导出、输送；在研磨液存储桶一侧底部设有排液口，其直径可以为2.5厘米圆形口，用于将内部液体排放出去。

所述纯净水存储桶的其中一个拐角处下部设有三菱形凹槽，在所述三菱形凹槽的顶面和底面对称设有接头，两个接头之间连接有透明连接管。在纯净水存储桶顶部设有进液口和出液口，所述进液口与外部纯净水供水管相连接，所述出液口与输水管路相连，用于将纯净水导出、输送，在纯净水存储桶一侧底部设有排液口。

所述支撑框架的底板下面四周分别设有可固定滑轮和地脚，用于整个设备的定位和转移。

所述输液管路伸进研磨液存储桶下部，输水管路伸进纯净水存储桶下部，两个管路末端分别至桶底4-6cm左右。

上述研磨液自动供给输送装置工作原理为：通过把手拧开进液盖体，将研磨液通过过滤网倒入研磨液存储桶中，然后把进液盖体拧紧；所述纯净水存储桶中注入纯净水；调节流量控制泵的参数，使研磨液匀速从输出管路中流出；通过电气箱对变频电机的参数进行设定使其带动搅拌桨叶定时旋转搅拌达到防止底部研磨液结晶的效果；当不需要研磨液供给时，通过调节三通转换阀门将输液管路切换成输水管路，把输出管路内剩余的研磨液导出解决管口结晶问题；当液位传感器检测到研磨液存储桶内液位偏低时，电气箱内的蜂鸣器进行报警，实现对研磨液液位偏低的监测功能。

以上所述，仅为本实用新型创造较佳的具体实施方式，但本实用新型创造的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型创造披露的技术范围内，根据本实用新型创造的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型创造的保护范围之内。

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