一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置的制作方法

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置。

背景技术：

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。

硅晶圆柱是半导体的加工生产原料，通常操作人员将硅晶圆柱的侧壁通过打磨装置打磨以将硅晶圆柱打磨成均匀柱体，现有装置中，由于固定硅晶圆柱的夹持转动机构常采用连接杆和夹板结构，进而对硅晶圆柱的两端壁进行固定，而操作人员通常难以通过手工测量的方法，确保夹板的位置位于硅晶圆柱的轴心处以保证硅晶圆柱平稳转动，为此，我们提出一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置解决上述问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置，具备通过在夹板和硅晶圆柱之间设置定位装置，使得操作人员可以通过转动环体一的方式，使得硅晶圆柱侧壁受到三个弧形转块内壁的抵力作用，逐渐移动至环体一中心处，由此确保夹板的位置位于硅晶圆柱的轴心处以保证硅晶圆柱平稳转动等优点，解决了背景技术提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述通过在夹板和硅晶圆柱之间设置定位装置，使得操作人员可以通过转动环体一的方式，使得硅晶圆柱侧壁受到三个弧形转块内壁的抵力作用，逐渐移动至环体一中心处，由此确保夹板的位置位于硅晶圆柱的轴心处以保证硅晶圆柱平稳转动的目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置，包括装置底座，所述装置底座的上端固定连接有对称设置的两个夹持转动机构，且装置底座的上端设置有可滑动的打磨装置，所述夹持转动机构包括连接杆，且连接杆的端部同轴连接有夹板，位于两个夹持转动机构处的所述夹板之间通过定位装置夹持有硅晶圆柱。

优选的，所述定位装置包括同轴连接的环体一和环体二，且环体一和环体二之间通过轴承转动连接，所述环体一位于靠近夹板的一侧设置。

优选的，所述环体一圆周内壁固定连接有多个弧形凸块，所述环体二的圆周内壁通过转轴转动连接有弧形转块，且弧形转块靠近环体一的一侧侧壁固定连接有凸杆，且凸杆的圆周侧壁与弧形凸块的弧形侧壁贴合设置。

优选的，所述弧形凸块的数量为三个，且三个弧形凸块沿环体一圆周内壁呈环形等距分布。

优选的，所述装置底座的表面开设有与打磨装置相匹配的滑槽，且打磨装置与滑槽滑动连接。

优选的，所述轴承为阻尼轴承，且阻尼轴承的两侧与环体一和环体二均通过焊接连接。

(三)有益效果

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

1、该种半导体生产用硅晶圆柱加工装置，通过在夹板和硅晶圆柱之间设置定位装置，使得操作人员可以通过转动环体一的方式，使得硅晶圆柱侧壁受到三个弧形转块内壁的抵力作用，逐渐移动至环体一中心处，由此确保夹板的位置位于硅晶圆柱的轴心处以保证硅晶圆柱平稳转动。

2、该种半导体生产用硅晶圆柱加工装置，环体一和环体二之间通过轴承转动连接，轴承为阻尼轴承，阻尼轴承具有一定的转动阻力，避免轴承在夹板位置固定后反向回转导致夹板错位。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的定位装置正视结构示意图；

图3为本实用新型的定位装置侧视结构示意图。

图中：1、装置底座；2、夹持转动机构；3、打磨装置；4、定位装置；5、轴承；6、硅晶圆柱；101、滑槽；201、连接杆；202、夹板；401、环体一；402、环体二；4011、弧形凸块；4021、转轴；4022、弧形转块；4023、凸杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置，包括装置底座1，装置底座1的上端固定连接有对称设置的两个夹持转动机构2，夹持转动机构2为内设电机的盒体结构，且电机的输出端贯穿盒体侧壁并延伸至盒体外侧设置，位于盒体外侧的电机的输出端与连接杆201同轴连接，且连接杆201可向外侧延伸进而通过夹板202固定硅晶圆柱6，装置底座1的上端设置有可滑动的打磨装置3，装置底座1的表面开设有与打磨装置3相匹配的滑槽101，且打磨装置3与滑槽101滑动连接，夹持转动机构2包括连接杆201，且连接杆201的端部同轴连接有夹板202，位于两个夹持转动机构2处的夹板202之间通过定位装置4夹持有硅晶圆柱6，定位装置4包括同轴连接的环体一401和环体二402，环体一401圆周内壁固定连接有多个弧形凸块4011，弧形凸块4011的数量为三个，且三个弧形凸块4011沿环体一401圆周内壁呈环形等距分布，环体二402的圆周内壁通过转轴4021转动连接有弧形转块4022，且弧形转块4022靠近环体一401的一侧侧壁固定连接有凸杆4023，且凸杆4023的圆周侧壁与弧形凸块4011的弧形侧壁贴合设置，且环体一401和环体二402之间通过轴承5转动连接，轴承5为阻尼轴承，阻尼轴承具有一定的转动阻力，避免轴承5在夹板202位置固定后反向回转导致夹板202错位，且阻尼轴承的两侧与环体一401和环体二402均通过焊接连接，环体一401位于靠近夹板202的一侧设置。

工作原理：首先，当操作人员需要进行硅晶圆柱6的打磨时，首先将定位装置4上的环体二402套在硅晶圆柱6的端部，再将环体一401套在夹板202的圆周侧壁，此时转动环体一401使得弧形凸块4011的弧形顶部侧壁与凸杆4023相抵，使得凸杆4023具有向上的移动趋势，此时弧形转块4022受到凸杆4023带动沿转轴4021转动，使得弧形转块4022向上转动，此时位于环体一401中心处的硅晶圆柱6侧壁受到三个弧形转块4022内壁的抵力作用，使得硅晶圆柱6逐渐移动至环体一401中心处并进一步向外延伸连接杆201和夹板202固定硅晶圆柱6，由此确保夹板202的位置位于硅晶圆柱6的轴心处以保证硅晶圆柱6平稳转动。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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