本发明涉及一种用于氮化硅的蚀刻组成物及使用该蚀刻组成物的蚀刻方法。背景技术：例如氧化硅层或氮化硅层等无机薄层被用于各种半导体器件或太阳能电池中。通常通过使用气体的干式蚀刻及使用

• 氮化硅
• 磷酸
• 氧化硅
• 蚀刻

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本公开总体上涉及发光二极管(led)，并且更具体地涉及用于led应用的涂覆的氟化物磷光体(phosphor)。背景技术：锰活化的发红光的氟化物磷光体近期作为一类重要的led下变

• 氟化物
• 氧化硅
• led芯片

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本发明涉及一种氮化硅膜蚀刻溶液及其制备方法，更详细地，涉及蚀刻氮化硅膜时可提高相对于氧化硅膜对氮化硅膜的蚀刻选择比的氮化硅膜蚀刻溶液及其制备方法。背景技术：现在，蚀刻氮化硅膜和

• 羟基
• 混合结构
• 氧化硅
• 化学式
• 氮化硅

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本发明涉及一种氮化硅膜蚀刻溶液及使用其的半导体器件的制备方法，更详细地，涉及可提高相对于氧化硅膜对氮化硅膜的蚀刻选择比的氮化硅膜蚀刻溶液及包括通过使用其来进行的蚀刻工序的半导体

• 磷酸
• 蚀刻
• 氧化硅
• 化学式
• 氮化硅

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本发明属于涂料技术领域，具体涉及一种气凝胶涂料及制备方法。背景技术：涂料为涂覆在物体外表面，与被涂物体紧密的连接在一起。目前，国内装潢后会产生有毒气体的涂料在慢慢被淘汰。我国房

• 涂料
• 氧化硅
• 碳酸钙
• 气凝胶

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本发明属于化学电源技术领域，尤其涉及一种掺杂复合结构硅量子点及其制备方法和应用。背景技术：量子点是一种优异的发光材料，在发光二极管、平板显示器、光纤通讯等领域有着广泛的应用前景

• 氧化硅
• 分子和原子
• 低温等离子体
• 原子结构
• 等离子

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[0001]本发明涉及涂料技术领域，尤其涉及一种建筑用高耐候性防水外墙涂料及其制备方法。背景技术：[0002]建筑外墙涂料是涂刷于整个建筑物外墙的涂料，其主要功能是装饰和保护外

• 耐候性
• 甲基丙烯酸
• 丙烯酸乳液
• 丙烯酸涂料
• 氧化硅

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[0001]本发明涉及高电压输送绝缘材料领域，具体涉及一种脂环族环氧树脂绝缘材料。背景技术：[0002]复合绝缘子作为输电系统中广泛使用的器件之一，起着电气绝缘和机械支撑的重要

• 偶联剂
• 绝缘材料
• 环氧树脂固化剂
• 氧化硅
• 硅橡胶

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[0001]本发明涉及一种基于硅纳米螺旋结构的精准病毒俘获及提取方法，属于生物医用技术领域。背景技术：[0002]冠状病毒严重威胁人类健康，因此对其的准确检测对研究其感染机理以

• 光刻胶
• 纳米线
• 纳米
• 氧化硅
• 等离子体

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[0001]本发明涉及新材料领域，具体涉及一种高阻隔型纳米复合片材及其制备方法。背景技术：[0002]随着经济社会的快速发展，互联网的广泛运用，使得物流行业也得到了飞速的发展，

• 疏水性
• 无水乙醇
• 氧化石墨烯
• 纳米
• 氧化硅

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