一种带有阀门组件的真空腔体的制作方法
2021-03-10[0001]本实用新型涉及真空腔体领域,具体而言,涉及一种带有阀门组件的真空腔体。背景技术:[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的,而晶圆容量几乎不变。
一种具有去水垢功能的锅炉清洁装置的制作方法
2021-02-26本发明涉及清洁技术领域,具体为一种具有去水垢功能的锅炉清洁装置。背景技术:锅炉是一种能量转换设备,向锅炉输入的能量有燃料中的化学能、电能,锅炉输出具有一定热能的蒸汽、高温水或有
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[0001]本实用新型涉及真空腔体领域,具体而言,涉及一种带有阀门组件的真空腔体。背景技术:[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的,而晶圆容量几乎不变。
本发明涉及清洁技术领域,具体为一种具有去水垢功能的锅炉清洁装置。背景技术:锅炉是一种能量转换设备,向锅炉输入的能量有燃料中的化学能、电能,锅炉输出具有一定热能的蒸汽、高温水或有