一种带有阀门组件的真空腔体的制作方法

[0001]
本实用新型涉及真空腔体领域，具体而言，涉及一种带有阀门组件的真空腔体。


背景技术：

[0002]
真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。
[0003]
目前，现有的带有阀门组件的真空腔体，在使用时，散热效果相对较差，在长时间的使用过程中容易导致内部温度过高，发生危险。


技术实现要素：

[0004]
为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种带有阀门组件的真空腔体，旨在改善带有阀门组件的真空腔体，散热效果较差的问题。
[0005]
本实用新型是这样实现的：
[0006]
本实用新型提供一种带有阀门组件的真空腔体，包括真空腔体组件和散热机构。
[0007]
所述真空腔体组件包括外腔体、内腔体和密封腔门，所述内腔体固定在所述外腔体的内部，所述外腔体与所述内腔体之间形成散热空腔，所述密封腔门铰接在所述外腔体的表面一侧，所述散热机构包括导热柱、散热盘管、固定组件和控制阀，所述导热柱固定镶嵌在所述内腔体的内部，所述散热盘管通过所述固定组件固定在所述内腔体的外表面，所述散热盘管的两端均贯穿所述外腔体延伸至外部，所述控制阀固定在所述散热盘管的一端外表面。
[0008]
在本实用新型的一种实施例中，所述内腔体的内表面固定有防护层，所述防护层的厚度为五毫米。
[0009]
在本实用新型的一种实施例中，所述密封腔门的外表面一侧安装有把手，所述密封腔门的内部镶嵌有透明板。
[0010]
在本实用新型的一种实施例中，所述外腔体的外表面固定有第一磁性密封圈，所述密封腔门的内表面固定有与所述第一磁性密封圈相匹配的第二磁性密封圈，所述第一磁性密封圈与所述第二磁性密封圈吸附固定。
[0011]
在本实用新型的一种实施例中，所述外腔体的底部安装有移动件，所述移动件的一侧固定有调节件。
[0012]
在本实用新型的一种实施例中，所述调节件设置有四个，所述调节件为对称设置。
[0013]
在本实用新型的一种实施例中，所述调节件包括螺纹柱、螺纹套和支撑垫，所述螺纹柱固定在所述外腔体的底部，所述螺纹套螺接在所述螺纹柱的外表面，所述支撑垫固定在所述螺纹套的底部。
[0014]
在本实用新型的一种实施例中，所述密封腔门与所述外腔体之间通过锁扣固定连接，所述锁扣设置有两个。
[0015]
在本实用新型的一种实施例中，所述固定组件包括抱箍和固定件，所述抱箍卡接在所述散热盘管的外表面，所述固定件贯穿所述抱箍，所述固定件螺接在所述内腔体的内部。
[0016]
在本实用新型的一种实施例中，所述导热柱均匀分布在所述内腔体的外表面。
[0017]
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种带有阀门组件的真空腔体，使用时，将散热盘管的端部与外部水管连接，这时在真空腔体使用时，由于导热柱的设置可以将内腔体内部的热量通过导热柱传递到散热空腔中，然后打开控制阀使散热盘管内部的水流动起来，这时散热盘管内部的水就会吸收散热空腔内部的热量，并通过流动的水将热量传递出去，这样在真空腔体使用的过程中可以降低真空腔体内部的热量，从而降低真空腔体使用的风险。
附图说明
[0018]
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]
图1是本实用新型实施方式提供的带有阀门组件的真空腔体第一视角结构示意图；
[0020]
图2为本实用新型实施方式提供的带有阀门组件的真空腔体剖面结构示意图；
[0021]
图3为本实用新型实施方式提供的带有阀门组件的真空腔体散热空腔剖面结构示意图；
[0022]
图4为本实用新型实施方式提供的带有阀门组件的真空腔体第二视角结构示意图。
[0023]
图中：100-真空腔体组件；110-外腔体；111-第一磁性密封圈； 120-内腔体；121-防护层；130-散热空腔；140-密封腔门；141-把手； 142-透明板；143-第二磁性密封圈；150-移动件；160-调节件；161
-ꢀ
螺纹柱；162-螺纹套；163-支撑垫；170-锁扣；200-散热机构；210
-ꢀ
导热柱；220-散热盘管；230-固定组件；231-抱箍；232-固定件；240
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控制阀。
具体实施方式
[0024]
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
[0025]
因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
[0026]
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0027]
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0028]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0029]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0030]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]
实施例
[0032]
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种带有阀门组件的真空腔体，包括真空腔体组件100和散热机构200。
[0033]
散热机构200安装在真空腔体组件100的内部，用于对真空腔体进行散热操作，提高真空腔体在使用过程中的安全性。
[0034]
请参阅图1-图4，真空腔体组件100包括外腔体110、内腔体120 和密封腔门140，内腔体120固定在外腔体110的内部，外腔体110 与内腔体120之间形成散热空腔130，密封腔门140铰接在外腔体110 的表面一侧；内腔体120的内表面固定有防护层121，防护层121的厚度为五毫米，这里的防护层121通过芳纶纤维制成，可以在使用时对内腔体120的内壁进行防护。
[0035]
密封腔门140的外表面一侧安装有把手141，密封腔门140的内部镶嵌有透明板142，通过把手141和透明板142的设置，可以方便对密封腔门140进行 打开或关闭，同时在使用时方便对内部的进行观察；外腔体110的外表面固定有第一磁性密封圈111，密封腔门140 的内表面固定有与第一磁性密封圈111相匹配的第二磁性密封圈 143，第一磁性密封圈111与第二磁性密封圈143吸附固定；密封腔门140与外腔体110之间通过锁扣170固定连接，锁扣170设置有两个，通过第一磁性密封圈111和第二磁性密封圈143的设置以及锁扣 170的设置，可以方便外腔体110和密封腔门140之间进行固定，增强密封腔门140的密封性。
[0036]
外腔体110的底部安装有移动件150，移动件150的一侧固定有调节件160，这里的
移动件150为自锁万向轮，调节件160设置有四个，调节件160为对称设置，调节件160包括螺纹柱161、螺纹套162 和支撑垫163，螺纹柱161固定在外腔体110的底部，螺纹套162螺接在螺纹柱161的外表面，支撑垫163固定在螺纹套162的底部，这里通过转动螺纹套162使支撑垫163与水平面或地面接触，从而方便对真空腔体进行平衡调节，让使用更加的稳定。
[0037]
请参阅图1-图4，散热机构200包括导热柱210、散热盘管220、固定组件230和控制阀240，导热柱210固定镶嵌在内腔体120的内部，散热盘管220通过固定组件230固定在内腔体120的外表面，散热盘管220的两端均贯穿外腔体110延伸至外部，控制阀240固定在散热盘管220的一端外表面。
[0038]
固定组件230包括抱箍231和固定件232，抱箍231卡接在散热盘管220的外表面，固定件232贯穿抱箍231，固定件232螺接在内腔体120的内部，这里通过抱箍231和固定件232的设置，可以方便将散热盘管220进行固定；导热柱210均匀分布在内腔体120的外表面，这里的散热盘管220和导热柱210均可为铜材料支撑，这样可以提高导热和散热的效果。
[0039]
具体的，该带有阀门组件的真空腔体的工作原理：使用时，通过移动件150将真空腔体移动到合适的位置，然后通过转动螺纹套162 使支撑垫163与地面或水平面发生接触将真空腔体调节平衡，这样将散热盘管220的端部与外部水管连接，这时在真空腔体使用时，由于导热柱210的设置，可以将内腔体120内部的热量通过导热柱210 传递到散热空腔130中，这时打开控制阀240使散热盘管220内部的水流动起来，这时散热盘管220内部的水就会吸收散热空腔130内部的热量，并通过流动的水将热量传递出去，这样在真空腔体使用的过程中可以降低真空腔体内部的热量，从而降低真空腔体使用的风险。
[0040]
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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