本发明涉及一种氮化硅膜蚀刻溶液及使用其的半导体器件的制备方法，更详细地，涉及可提高相对于氧化硅膜对氮化硅膜的蚀刻选择比的氮化硅膜蚀刻溶液及包括通过使用其来进行的蚀刻工序的半导体

• 磷酸
• 蚀刻
• 氧化硅
• 化学式
• 氮化硅

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[0001]本发明属于涂料制造技术领域，特别是涉及一种陶瓷复合涂料、杀毒陶瓷复合涂料及其制造方法和涂层。背景技术：[0002]由于防腐涂料或者建筑物涂料中含大量的有机成分，且其

• 氮化硅
• 硅溶胶
• 无机涂料
• 涂料

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一种dna测序装置、固态纳米孔组件及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及基因检测领域，特别涉及一种dna测序装置、固态纳米孔组件及其制备方法。背景技术：[0002]纳米孔传

• 氮化硅
• 电解液
• 氧化硅
• 氧化金
• 纳米

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[0001]本发明涉有机高分子材料制品技术领域，尤其涉及一种环保回收高耐磨橡塑材料的配方及生产工艺。背景技术：[0002]橡塑是橡胶和塑料产业的统称，它们都是石油的附属产品，它

• 氮化硅
• 硅烷偶联剂
• 甲基纤维素
• 木质纤维素
• 橡塑

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一种高α相氮化硅粉体的生产工艺技术领域[0001]本发明涉及氮化硅的生产工艺，特别涉及一种高α相氮化硅粉体的生产工艺，属于材料生产技术领域。背景技术：[0002]氮化硅粉是制备

• 氮化硅

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本发明涉及一种提高氮化硅陶瓷基板材料热导率和力学性能的硅热还原方法，具体涉及一种高热导率、高强度的氮化硅陶瓷材料及其制备方法，属于无机非金属材料领域。背景技术：氮化硅(si3n

• 氮化硅
• 陶瓷基板
• 烧结工艺

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本发明属于结构陶瓷材料技术领域，具体属于一种纳米木质素-氮化硅基陶瓷及其制备方法。背景技术：氮化硅陶瓷，是一种烧结时不收缩的无机材料陶瓷，因具有高硬度高韧性的良好综合力学性能，

• 陶瓷
• 氮化硅
• 木质素
• 石墨
• 纳米陶瓷

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本发明涉及坩埚制备技术领域：，具体为一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法。背景技术：：熔融石英坩埚具有极小的热膨胀系数、较大的高温黏度和硬度以及极优的介电性能、抗热震性能和耐

• 石英砂
• 氮化硅
• 氧化硅
• 纳米涂层
• 纳米陶瓷

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本发明属于陶瓷基板材料技术领域，具体涉及一种高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法。背景技术：功率电子器件在电力存储，电力输送，电动汽车，电力机车等众多工业领域得到越来越广泛的应用。

• 陶瓷
• 氮化硅
• 陶瓷基板
• 无水乙醇
• 激光烧结

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本发明涉及一种高强度复合泡沫陶瓷的制备方法，属于陶瓷材料技术领域：。背景技术：：泡沫陶瓷是一种新型多孔材料，具有高化学稳定性、高强度、耐高温、抗热震、低密度、高气孔率、大比表面

• 泡沫陶瓷
• 氧化钇
• 氮化硅
• 大豆蛋白粉
• 丙三醇

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