一种石墨舟卡点及石墨舟的制作方法

[0001]
本申请涉及太阳能电池制备技术领域，更具体地说，涉及一种石墨舟卡点及石墨舟。


背景技术：

[0002]
在太阳能电池制备过程中，常需要利用pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学气相沉积)来在硅片上沉积薄膜，如：常规太阳能电池需要沉积氮化硅减反射膜，perc电池不仅需要沉积氮化硅薄膜，还需要增加背钝化镀膜工序。在利用pecvd沉积薄膜时，常利用石墨舟及石墨舟卡点作为硅片承载工具，具体是将硅片插入石墨舟舟页，并通过石墨舟卡点将硅片定位在石墨舟舟页上，然后，再将石墨舟推入真空镀膜设备中沉积氮化硅薄膜。
[0003]
目前，常用的石墨舟卡点为v型结构，具体可以参见图1，其示出了现有v型槽卡点的结构示意图，在v型槽卡点内，底座01与卡点帽02之间形成v型槽，由于v型槽内部尺寸比较小，自动化插取空间比较小，为了使硅片能够顺利插入，则需要硅片紧贴底座01(用于与石墨舟舟页相接触)及石墨舟舟页插入v型槽内，但是，在插入的过程中，容易对硅片中与底座01及石墨舟舟页相接触的一面造成划伤，从而会降低最终制备出的太阳能电池的等级，且会因卡点承载面积比较小而容易发生掉片碎片，掉片碎片不仅会造成硅片的浪费，而且会对等离子体氛围造成影响，从而会使石墨舟卡点另一侧所插入硅片沉积的薄膜存在一定的色差，从而会降低最终制备出的太阳能电池的等级。
[0004]
综上所述，如何使硅片在插入石墨舟卡点时不易出现划伤和掉片碎片，以便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

[0005]
有鉴于此，本申请的目的是提供一种石墨舟卡点及石墨舟，用于使硅片在插入石墨舟卡点时不易出现划伤和掉片碎片，以便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。
[0006]
为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：
[0007]
一种石墨舟卡点，包括卡点底座、沿所述卡点底座的中心轴线分布且分别位于所述卡点底座的两侧的连接部、分别与所述连接部相连的卡点帽，所述卡点帽、所述连接部及所述卡点底座用于形成承载硅片的槽体结构，其中：
[0008]
所述卡点帽包括至少两个依次相连的卡点帽分部，且从与所述连接部相连的所述卡点帽分部开始到最后一个所述卡点帽分部结束，所述卡点帽分部与所述卡点底座之间的角度依次增大。
[0009]
优选的，所述卡点帽与所述卡点底座之间的距离为所述硅片厚度的1.5-2倍。
[0010]
优选的，所述卡点帽至多包括6个所述卡点帽分部。
[0011]
优选的，与所述连接部相连的所述卡点帽分部和所述卡点底座之间的角度为30-40
°
。
[0012]
优选的，在相邻的两个所述卡点帽中，第一个所述卡点帽分部和所述卡点底座之间的角度与第二个所述卡点帽分布和所述卡点底座之间的角度相差5-15
°
。
[0013]
优选的，所述卡点帽与所述连接部之间的距离为5-15mm。
[0014]
优选的，所述卡点帽为一体式结构。
[0015]
优选的，所述卡点底座、所述连接部及所述卡点帽均为圆柱形结构。
[0016]
一种石墨舟，包括设置有安装孔的石墨舟舟页、如上述任一项所述的石墨舟卡点，其中，所述石墨舟卡点中的所述卡点底座用于安装在所述安装孔中。
[0017]
本申请提供了一种石墨舟卡点及石墨舟卡点，其中，石墨舟卡点包括卡点底座、沿卡点底座的中心轴线分布且分别位于卡点底座的两侧的连接部、分别与连接部相连的卡点帽，卡点帽、连接部及卡点底座用于形成承载硅片的槽体结构，其中：卡点帽包括至少两个依次相连的卡点帽分部，且从与连接部相连的卡点帽分部开始到最后一个卡点帽分部结束，卡点帽分部与卡点底座之间的角度依次增大。
[0018]
本申请公开的上述技术方案，由于位于外侧的卡点帽分部与卡点底座之间的角度比较大、位于里侧的卡点帽分部与卡点底座之间的角度比较小，因此，则在插取硅片时可以使硅片较为容易地沿着角度依次变小的卡点帽分部滑入槽体结构内，以减少硅片的划伤并尽量避免出现掉片和碎片，从而便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。另外，由于槽体结构的底部是由位于卡点底座的中心轴线上且与卡点帽相连的连接部构成，而非如现有v型槽一样直接由卡点帽和底座构成，因此，该槽体结构的空间比v型槽的空间要大，从而可以尽量避免硅片出现掉落和碎裂，进而便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。
附图说明
[0019]
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0020]
图1为现有v型槽卡点的结构示意图；
[0021]
图2为本申请实施例提供的一种石墨舟卡点的结构示意图。
具体实施方式
[0022]
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]
参见图2，其示出了本申请实施例提供的一种石墨舟卡点的结构示意图，本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，可以包括卡点底座1、沿卡点底座1的中心轴线分布且分别位于卡点底座1的两侧的连接部2、分别与连接部2相连的卡点帽，卡点帽、连接部2及卡点底座1用于形成承载硅片的槽体结构，其中：
[0024]
卡点帽可以包括至少两个依次相连的卡点帽分部31，且从与连接部2相连的卡点帽分部31开始到最后一个卡点帽分部31结束，卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度依次
增大。
[0025]
本申请所提供的石墨舟卡点可以包括卡点底座1、连接部2、卡点帽，其中，卡点底座1用于安装在石墨舟舟页的安装孔内，以通过石墨舟卡点和石墨舟舟页承载和固定硅片，从而便于送入真空镀膜设备而对硅片进行镀膜；连接部2沿卡点底座1的中心轴线分布且分别位于卡点底座1的两侧，具体可以在卡点底座1的中心区域(具体与卡点底座1的中心轴线相重合)设置通孔，并让连接部2穿过通孔而分别位于卡点底座1的两侧；卡点帽分别与位于卡点底座1两侧的连接部2相连，即石墨舟卡点具体包括两个卡点帽，其中，这两个卡点帽的结构可以完全相同。
[0026]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点帽、连接部2和卡点底座1用于形成承载硅片的槽体结构，其内部尺寸相较于现有技术中仅通过卡点帽和底座形成的v型槽的尺寸大，可放空间也比较大，在自动化机械手已定好位的情况下，插取空间范围比较大，因此，可以避免硅片在插取过程中和在石墨舟卡点承载硅片过程中发生掉落和碎裂，从而可以降低硅片的浪费，且便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。
[0027]
另外，在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点帽包括至少两个依次相连的卡点帽分部31，且从与连接部2相连的卡点帽分部31开始到最后一个卡点帽分部31结束(即从位于里侧的卡点帽分部31开始到位于外侧的卡点帽分部31结束)，卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度依次增大，通过该设计使得硅片在插取过程中可以沿着卡点帽滑入槽体结构中，以尽量减少硅片的划伤，且由于位于外侧的卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度比较大，因此，石墨舟卡点的承载面积比较大，从而可以尽量避免硅片在插取过程中发生掉落和碎裂，同时由于位于里侧的卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度比较小，因此，可以提高硅片在槽体结构内的贴合强度，从而可以尽量避免硅片发生掉落和碎裂，进而可以降低硅片的浪费，并便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。
[0028]
本申请公开的上述技术方案，由于位于外侧的卡点帽分部与卡点底座之间的角度比较大、位于里侧的卡点帽分部与卡点底座之间的角度比较小，因此，则在插取硅片时可以使硅片较为容易地沿着角度依次变小的卡点帽分部滑入槽体结构内，以减少硅片的划伤并尽量避免出现掉片和碎片，从而便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。另外，由于槽体结构的底部是由位于卡点底座的中心轴线上且与卡点帽相连的连接部构成，而非如现有v型槽一样直接由卡点帽和底座构成，因此，该槽体结构的空间比v型槽的空间要大，从而可以尽量避免硅片出现掉落和碎裂，进而便于提高最终所制备出的太阳能电池的等级。
[0029]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，卡点帽与卡点底座1之间的距离为硅片厚度的1.5-2倍。
[0030]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点帽与卡点底座1之间的距离可以为硅片厚度的1.5-2倍，即槽体结构的宽度可以为硅片厚度的1.5-2倍，以避免槽体宽度过大而使得硅片与槽体结构之间出现贴合不牢固、搭边的现象，即可以通过将卡点帽与卡点底座1之间的距离设置为硅片厚度的1.5-2倍来提高硅片在石墨舟卡点中的贴合强度，从而尽量避免因硅片与石墨舟卡点接触不牢固而出现高频放电进而出现硅片烧焦的问题，以提高最终所制备出的太阳能电池的等级，并尽量避免因高频问题而需要对硅片进行补镀的情况出现，继而提高太阳能电池的产能。
[0031]
需要说明的是，上述设置对perc电池的影响尤为明显，通过将卡点帽与卡点底座1
之间的距离设置为硅片厚度的1.5-2倍可以使用于制备perc电池的硅片与石墨舟卡点接触比较牢固，此时，在背膜工序中则可以减少高频问题的出现，从而可以减少由高频而形成的el卡点黑斑(卡点黑斑主要是高频放电后，卡点区域有烧焦导致)的出现，同时，可以提高背面网版的使用寿命(当出现el卡点黑斑时，el卡点黑斑凸起在网版印刷过程中，因此，容易砸破网版相对应的区域)，而且由于无el卡点黑斑出现，因此，可以提高最终所制备出的perc电池的外观。
[0032]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，卡点帽至多可以包括6个卡点帽分部31。
[0033]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，每个卡点帽至多可以包括6个卡点帽分部31，以使得硅片可以较为容易地进行插取，同时可以降低卡点帽的复杂程度，从而便于卡点帽及石墨舟卡点的生产制造。
[0034]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，与连接部2相连的卡点帽分部31和卡点底座1之间的角度为30-40
°
。
[0035]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点帽与卡点底座1的基础角度可以为30-40
°
，即与连接部2相连的卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度可以为30-40
°
，以便于提高硅片与槽体结构的贴合强度，从而尽量避免硅片在槽体结构内发生摆动，以便于提高硅片的镀膜效果。
[0036]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，在相邻的两个卡点帽中，第一个卡点帽分部31和卡点底座1之间的角度与第二个卡点帽分布和卡点底座1之间的角度相差5-15
°
。
[0037]
在相邻的两个卡点帽中，第一个卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度与第二个卡点帽分部31和卡点底座1之间的角度可以相差5-15
°
，即卡点帽分部31的梯度度数可以为5-15
°
，以使得硅片可以顺利地滑入槽体结构中。其中，各卡点帽分部31的梯度度数可以相同也可以不同。
[0038]
需要说明的是，图2中以卡点帽包括两个卡点帽分部31，第一个卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度为30
°
、第二个卡点帽分部31与卡点底座1之间的角度为42
°
(即以梯度度数为12
°
)为例进行说明的。
[0039]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，卡点帽与连接部2之间的距离为5-15mm。
[0040]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点帽与连接部2之间的垂直距离可以为5-15mm，即槽体结构的高度可以为5-15mm，以使得硅片可以有5-15mm的长度位于石墨舟卡点内，以在使石墨舟卡点在对硅片起到较好的固定作用的同时，又能使硅片中用于制备栅线的区域可以不被石墨舟卡点遮挡而造成无法镀膜的问题，从而便于提高最终所制备出的太阳能电池的性能。
[0041]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，卡点帽为一体式结构。
[0042]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点帽可以为一体式结构，即各卡点帽分部31可以为一体式结构，以便于卡点帽的生产，并便于提高卡点帽使用的便捷性。
[0043]
本申请实施例提供的一种石墨舟卡点，卡点底座1、连接部2及卡点帽均为圆柱形结构。
[0044]
在本申请所提供的石墨舟卡点中，卡点底座1、连接部2及卡点帽均可以为圆柱形结构，以使得石墨舟卡点可以更好地与石墨舟舟页进行配合来对硅片起到更好的固定作用，且使得槽体结构中的任意区域都可以用来进行硅片的固定，从而提高石墨舟卡点使用
的灵活性。
[0045]
本申请实施例还提供了一种石墨舟，可以包括设置有安装孔的石墨舟舟页、如上述任一种石墨舟卡点，其中，石墨舟卡点中的卡点底座1用于安装在安装孔中。
[0046]
本申请还提供了一种石墨舟，其中，该石墨舟可以包括设置有安装孔的石墨舟舟页及上述任一种石墨舟卡点，其中，石墨舟卡点的卡点底座1可以安装在安装孔内，以通过石墨舟舟页和卡点底座1将硅片固定在石墨舟中，从而便于将硅片送入真空镀膜设备中进行镀膜。
[0047]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。另外，本申请实施例提供的上述技术方案中与现有技术中对应技术方案实现原理一致的部分并未详细说明，以免过多赘述。
[0048]
对所公开的实施例的上述说明，使本领域技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

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