一种真空镀膜装置的制作方法
2021-01-30[0001]本公开属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种真空镀膜装置。背景技术:[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀
一种节省真空镀膜室内空间的蒸发源配置结构的制作方法
2021-01-29[0001]本实用新型涉及薄膜制备技术领域,尤其是一种节省真空镀膜室内空间的蒸发源配置结构。背景技术:[0002]随着薄膜工艺需求的提高,对于镀膜设备的蒸发源的膜料需求也越来越
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