一种真空镀膜装置的制作方法

[0001]
本公开属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜装置。


背景技术：

[0002]
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
[0003]
现有的镀膜装置尤其针对端盖类部件镀膜时，为了保证镀膜均匀提高镀膜质量，只得减少单次镀铬工件数量，从而降低了镀铬效率，因此，我们提出一种真空镀膜装置。


技术实现要素：

[0004]
针对现有技术的不足，本公开的目的在于提供一种真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0005]
本公开的目的可以通过以下技术方案实现：一种真空镀膜装置，包括真空罐以及设在真空罐内腔顶部用于轰击金属的金属离子轰击仓，设在所述真空罐内部用于装夹工件的转动支架，所述真空罐内沿所述真空罐轴线方向阵列分布多个转动支架，所述转动支架可拆卸式安装在转轴跟随转轴转动，所述转轴一端与滑动支架转动连接，另一端与固定板转动连接，所述固定板与滑动支架可拆卸固定连接；
[0006]
所述转动支架端面径向阵列分布设置多个转动的转动支座，沿所述转动支架径向方向相邻转动支座之间设有可转动的第一驱动轮，所述转动支座与转动支架转动卡接，所述转动支座底端圆周面开设有齿槽，所述第一驱动轮内外两侧圆周面开设有齿槽，所述第一驱动轮内外两侧径向相邻的第一驱动轮均与转动支座啮合连接；
[0007]
所述转动支架外圆周外侧设有内齿轮，所述内齿轮与设置在所述转动支架最外侧的转动支座啮合连接，所述内齿轮两端与滑动支架滑动连接，所述滑动支架中间固定连接的固定杆上设有用于固定内齿轮的凸轮限位块。
[0008]
作为本公开进一步的方案，所述转动支座中心开设有通孔，所述转动支座通过单头螺柱与所述转动支架转动连接，所述弹头螺钉与转动支座端面开设的内螺纹孔螺纹连接，所述转动支座沿单头螺柱转动。
[0009]
作为本公开进一步的方案，所述转动支座顶端圆柱部分开设有外螺纹，所述转动支座与工件固定工装螺纹连接固定。
[0010]
作为本公开进一步的方案，所述转轴轴向阵列分布多个连接孔，所述转动支架中心位置轴向固定连接有连接套，所述连接套上开设有限位孔，所述限位孔内安装有连接螺柱贯穿限位孔和连接孔，另一端与螺母螺纹连接。
[0011]
作为本公开进一步的方案，所述凸轮限位块中开设有用于固定内齿轮的限位槽，所述凸轮限位块与固定杆转动连接，所述凸轮限位块与固定杆的转动角度范围为0～100
°
。
[0012]
作为本公开进一步的方案，所述固定杆轴向阵列分布开设多个弧形槽，所述弧形槽的张口角度为110
°
，所述凸轮限位块远离槽口侧开设有凸轮限位块，所述凸轮限位块内螺纹连接有连接螺钉，所述弧形槽内径向开设有容纳连接螺钉的定位孔。
[0013]
作为本公开进一步的方案，所述第一驱动轮远离转动支架侧设有限位板，所述限位板上开设有多个通孔穿套在转动支座上，所述转动支座与限位板转动连接，所述限位板介于工件固定工装与转动支座底部齿状圆柱端面之间。
[0014]
作为本公开进一步的方案，所述滑动支架远离固定板侧的圆盘径向开设有放置槽，所述放置槽内设有可伸缩的刮料板，所述刮料板与滑动支架通过弹性件连接。
[0015]
本公开的有益效果：本公开通过齿轮啮合传动驱动转动支座自转，无需另设驱动源对转动支座进行单独驱动，降低了制造成本，同时通过齿轮啮合传动，不仅传动平稳，而且结构紧凑，便于安装和拆卸，减少了整体装置的体积，同时不会影响其他部件正常运动；同时通过转动支座自转，使得工件镀膜均匀，提高了镀膜质量。
附图说明
[0016]
为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]
图1是本公开的整体结构剖视图；
[0018]
图2是本公开的外观整体示意图；
[0019]
图3是本公开的内部结构示意图；
[0020]
图4是本公开的滑动支架的结构示意图；
[0021]
图5是本公开的转动支架的结构示意图；
[0022]
图6是本公开的转动支座的结构示意图；
[0023]
图7是本公开的转轴的结构示意图；
[0024]
图8是本公开的固定杆的结构示意图；
[0025]
图9是本公开的凸轮限位块的结构示意图；
[0026]
图10是本公开的连接螺钉的结构示意图；
[0027]
图11是本公开的内齿轮的结构示意图；
[0028]
图12是本公开的限位板的结构示意图；
[0029]
图13是图3的左视图；
[0030]
图14是本公开的刮了板的结构示意图；
[0031]
图中：支撑架-1、真空罐-2、抽气口-21、金属离子轰击腔-22、端盖-3、窥视孔-31、密封垫-4、紧固拉环-5、电机-6、转轴-7、连接孔-71、滑动支架-8、转动支架-9、内齿轮-10、凸轮限位块-11、转动支座-12、套筒-13、固定板-14、固定螺钉-141、第一驱动轮-15、刮料板-17、连接螺钉-18、限位板-19、固定杆-81、放置槽-82、滑槽-84、弧形槽-811、定位孔-812、连接螺柱-91、内螺纹孔-92、限位孔-93、连接套-94、第一弹簧-171。
具体实施方式
[0032]
下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
[0033]
请参阅图1～固定板14，本公开实施例中，一种真空镀膜装置，包括真空罐2以及设在真空罐2内腔顶部用于轰击金属的金属离子轰击仓22，设在所述真空罐2内部用于装夹工件的转动支架9，所述真空罐2内沿所述真空罐2轴线方向阵列分布多个转动支架9，所述转动支架9可拆卸式安装在转轴7跟随转轴7转动，所述转轴7一端与滑动支架8转动连接，另一端与固定板14转动连接，所述固定板14与滑动支架8可拆卸固定连接；
[0034]
所述转动支架9端面径向阵列分布设置多个转动的转动支座12，沿所述转动支架9径向方向相邻转动支座12之间设有可转动的第一驱动轮15，所述转动支座12与转动支架9转动卡接，所述转动支座12底端圆周面开设有齿槽，所述第一驱动轮15内外两侧圆周面开设有齿槽，所述第一驱动轮15内外两侧径向相邻的第一驱动轮15均与转动支座12啮合连接；
[0035]
所述转动支架9外圆周外侧设有内齿轮10，所述内齿轮10与设置在所述转动支架9最外侧的转动支座12啮合连接，所述内齿轮10两端与滑动支架8滑动连接，所述滑动支架8中间固定连接的固定杆81上设有用于固定内齿轮10的凸轮限位块11。
[0036]
具体实施镀膜加工时，将工件固定套接在专用工装套具上，然后将套具固定安装在转动支座12上，如图1所示，然后将如图3所示的滑动支架8整体推入真空罐2内，在滑动支架8的右侧安装套筒13，然后关闭端盖3，使得端盖3抵住套筒13，防止滑动支架8在工作时发生窜动，通过转动紧固拉环5将端盖3和真空罐2固定连接，将抽气口21加入抽气体设备抽取真空罐2内的空气保证真空罐2内保持真空度，端盖3和真空罐2之间设有密封垫4，保证密封性能，镀膜加工时，通过窥视孔31对内部工件的镀膜情况进行观测，通过设在真空罐2内部顶端的金属离子轰击仓22内产生金属原子均匀弥散在真空罐2内，通过设在转轴7左端的电机6驱动转轴7转动，转轴7带动转动支架9转动，使得转动支架9上安装的工件镀膜均匀，同时，为了提高镀膜效率，相比较现有工装，本实施例设有多个用于承载工件的转动支座12，从而同时满足多个工件同时进行镀膜生产，由于转动支座12设置较多，使得安装在转动支座12上部分工件一侧面由于被其他工件侧挡，存在镀膜缺陷以及镀膜效率较低的问题，因此为了解决上述问题，使得转动支架9在转动的同时驱动转动支座12进行自转，从而提高了镀膜效率和质量。
[0037]
如图3所示，当转动支架9转动时，转动支架9最外侧的转动支座12在转动支架9转动的驱动下与内齿轮10啮合转动，由于内齿轮10与滑动支架8固定，因此转动支座12在限位板19驱动下同时通过内齿轮10啮合进行自转，转动支座12转动带动安装在转动支座12上的工件自转，同时转动支座12转动驱动与转动支座12啮合连接的第一驱动轮15转动，第一驱动轮15转动同时带动与第一驱动轮15内侧啮合传动的转动支座12转动，依次类推，从而实现转动支架9上的所有转动支座12转动，相比较现有装置而言，本实施例设计的传动结构无需另设驱动源对转动支座12进行单独驱动，解决了制造成本，同时通过齿轮啮合传动，不仅传动平稳，而且结构紧凑，减少了整体装置的体积，同时不会影响其他部件正常运动。
[0038]
在一些实施例中，如图5和6所示，所述转动支座12中心开设有通孔，转动支座12通过单头螺柱与所述转动支架9转动连接，弹头螺钉与转动支座12端面开设的内螺纹孔92螺
纹连接，转动支座12沿单头螺柱转动，即工作时，保证转动支座12不易脱落，结构简单，便于安装和拆卸。
[0039]
优选地，如图6所示，所述转动支座12顶端圆柱部分开设有外螺纹，所述转动支座12与工件固定工装螺纹连接固定，即便于实现不同工件生产切换，提高了操作地便捷性，提高了工作效率。
[0040]
优选地，如图5和7所示，所述转轴7轴向阵列分布多个连接孔71，在转动支架9中心位置轴向固定连接有连接套94，连接套94上开设有限位孔93，限位孔93内安装有连接螺柱91，连接螺柱91贯穿限位孔93和连接孔71，另一端与螺母螺纹连接，转动支架9与转轴7可拆卸连接，即可以根据工件的高度型号选择转动支架9安装地数量，可用于不同尺寸大小的工件镀膜加工，提高了该装置的适用范围，节约了工装地制造成本。
[0041]
优选地，如图8所示，所述凸轮限位块11中开设有用于固定内齿轮10的限位槽，所述凸轮限位块11与固定杆81转动连接，所述凸轮限位块11与固定杆81的转动角度范围为0～100
°
，由于需要根据工件的型号需要经常切换调整转动支架9的安装的数量，因此用于内齿轮10限位的凸轮限位块11采用活动连接方式，从而便于内齿轮10的拆卸和安装定位，具体使用时，安装内齿轮10时，先将凸轮限位块11转至一侧避免凸轮限位块11干涉内齿轮10的移动，当内齿轮10安装到位后，转动凸轮限位块11使得内齿轮10卡在凸轮限位块11的限位槽内，从而对内齿轮10进行真空罐2的轴向固定，凸轮限位块11与固定杆81的转动角度范围为0～100
°
，即当凸轮限位块11转至0
°
时，凸轮限位块11处于对内齿轮10进行限位的工作状态，当凸轮限位块11转至100
°
时，凸轮限位块11与内齿轮10处于互不干涉的状态，同时凸轮限位块11不会超出滑动支架8的外径边沿，避免对滑动支架8安装造成干涉。
[0042]
在一些实施例中，如图8～内齿轮10所示，所述固定杆81轴向阵列分布开设多个弧形槽811，所述弧形槽811的张口角度为110
°
，所述凸轮限位块11远离槽口侧开设有凸轮限位块111，所述凸轮限位块111内螺纹连接有连接螺钉1，所述弧形槽811内径向开设有容纳连接螺钉1的定位孔812，即通过连接螺钉1与固定杆81开设的弧形槽811卡接，使得凸轮限位块11沿固定杆81一定角度范围内转动，当凸轮限位块11对内齿轮10处于限位状态时，即凸轮限位块111与定位孔812同轴，此时选装连接螺钉1使得连接螺钉1插入定位孔812内，从而对凸轮限位块11进行限位，防止凸轮限位块11转动。
[0043]
优选地，如图转动支座12所示，所述第一驱动轮15远离转动支架9侧设有限位板19，所述限位板19上开设有多个通孔穿套在转动支座12上，所述转动支座12与限位板19转动连接，所述限位板19介于工件固定工装与转动支座12底部齿状圆柱端面之间，限位板19主要起到对第一驱动轮15进行限位作用，防止工作时限位板19脱落，同时限位板19通过安安装在转动支座12上的工装套具进行限位，操作简单，同时套具与转动支座12螺纹连接，安装稳定可靠。
[0044]
在一些实施例中，如图套筒13和固定板14所示，所述滑动支架8远离固定板14侧的圆盘径向开设有放置槽82，所述放置槽82内设有可伸缩的刮料板17，所述刮料板17与滑动支架8通过弹性件连接，刮料板17收纳在滑动支架8内，通过弹性件的弹力使得刮料板17外侧边缘与真空罐2内壁抵住并贴紧，即工件镀膜结束后，将滑动支架8整体拉出时，刮料板17可以对真空罐2内壁进行刮蹭使得附在真空罐2内壁的金属刮落下来，便于收集回收进行二次利用，减少成本损耗和额外的浪费，刮料板17和滑动支架8之间通过刮料板第一弹簧171
进行连接。
[0045]
本公开的工作原理是：镀膜加工时，通过电机6驱动转轴7转动，转轴7带动转动支架9转动，转动支架9带动转动支架9最外侧的转动支座12转动，转动支座12与固定在滑动支架8上的内齿轮10啮合连接，即在转动支架9驱动下转动支座12与内齿轮10啮合驱动下进行自转，转动支座12转动带动安装在转动支座12上的工件自转，同时转动支座12转动驱动与转动支座12啮合连接的第一驱动轮15转动，第一驱动轮15转动同时带动与第一驱动轮15内侧啮合传动的转动支座12转动，依次类推，从而实现转动支架9上的所有转动支座12转动，相比较现有装置而言，本实施例设计的传动结构无需另设驱动源对转动支座12进行单独驱动，解决了制造成本，同时通过齿轮啮合传动，不仅传动平稳，而且结构紧凑，减少了整体装置的体积，同时不会影响其他部件正常运动。
[0046]
在本公开的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系为为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造或操作，因此不能理解为对本公开的限制。
[0047]
此外。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本公开的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0048]
对于本领域技术人员而言，可以理解在不脱离本公开的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。因此，从任意一处来说，都应将实施例看作是指导性的，而且是非限制性的，本公开的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，本公开的较佳实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所有的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

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