[0001]本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种光学薄膜用等离子体增强原子层沉积设备的布气装置。背景技术：[0002]对于传统的原子层沉积设备，往往只用于制备简单的单层膜

• 原子
• 等离子体

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本发明涉及等离子体与器壁材料相互作用技术领域，特别是涉及一种直线等离子体实验装置。背景技术：受控核聚变能有希望成为未来社会最主要的能量来源，托卡马克是最主要的受控核聚变装置。等

• 石英玻璃
• 分子泵
• 天线
• 物理
• 等离子体

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本发明涉及用于纺制纤丝的设备和方法。背景技术：为了由纤丝制成纱线，采用公知的方式从纺织纤维团中开松出单片纤絮，然后从中获得纤网。为此通常采用粗梳机或精梳机。在此处将通过梳理等流

• 激励器
• 等离子体

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本实用新型涉及织物处理领域，特别涉及智能化大气压下均匀放电低温等离子体织物处理设备。背景技术：低温等离子体技术是近年来飞速发展的一种材料表面改性技术，能够改善材料表面的物理化学

• 电动机
• 等离子体

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本发明涉及等离子体手术系统领域，具体地涉及一种输出为方波的等离子体手术系统。背景技术：低温等离子体手术系统是新一代的电外科手术系统，可用于外科手术的软组织解剖、切除、止血和干燥

• 继电器
• 升压电路
• 逆变电路
• 功率控制
• 等离子体

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本发明涉及一种气溶胶生成装置，其包括被布置成通过表面等离子体共振产生热的加热元件。本发明还涉及一种包括所述气溶胶生成装置的气溶胶生成系统。背景技术：在本领域中已经提出了许多电操

• 等离子体
• 表面电阻
• 纳米粒子
• 纳米陶瓷
• 气溶胶

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