一种蓝宝石单晶炉用的缺陷观察视镜装置的制作方法
本实用新型涉及一种单晶炉用视镜装置,具体涉及一种蓝宝石单晶炉用缺陷观察视镜装置。
背景技术:
蓝宝石的组成为氧化铝(al2o3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键结合而成,其晶体结构为六方晶格结构。它常被应用的切面有a-plane,c-plane及r-plane。由于蓝宝石晶体绝缘、介电常数稳定等特性,蓝宝石晶体具有优异的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于衬底材料和发光二极管(led)照明、各种光学元器件、窗口材料等领域。蓝宝石光学穿透带较宽,在近紫外至中红外范围内透光性能优良,因此被大量应用于光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料领域。
随着蓝宝石产品市场的不断发展,主要应用于led产业的衬底直径已逐渐增加至4英寸或6英寸,为提升大尺寸蓝宝石晶棒的产出能力,各蓝宝石生产厂家逐步向c向蓝宝石单晶领域迈进。而c向蓝宝石单晶与传统a向蓝宝石单晶相比,由于晶向特异性的影响,在长晶过程中较易出现缺陷,影响蓝宝石单晶的质量。因此需要一种能够使长晶操作人员高效观察蓝宝石单晶缺陷的装置。
技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供一种可以在蓝宝石单晶长晶过程中高效、精准地观察缺陷的种类和产生的位置,解决因缺陷观察的遗漏而影响蓝宝石单晶质量问题的蓝宝石单晶炉用的缺陷观察视镜装置。
本实用新型的目的是这样实现的,它包括透镜、物镜组、目镜、镜身和焦距调节旋钮,透镜设置在镜身前端,目镜设置在镜身后端,物镜组设置在透镜、目镜之间,透镜对准并嵌入单晶炉视镜观察口内,物镜组具有转动轴,包括一组可以切换使用不同放大倍数的物镜,物镜通过转动轴实现切换,物镜、目镜均为可旋转结构,镜身为长度可调节结构,通过旋转焦距调节旋钮调节镜身长度。
蓝宝石单晶在高温状态下发出的光经过物镜和目镜的偏转作用后,缺陷部位与正常部位发出的光经目镜观察时存在明暗差异,使得缺陷部位易于观察。
本实用新型还有这样一些特征:
1.所述的物镜组具有转动轴,能够切换使用不同放大倍数的物镜。
2.所述的目镜和物镜组均可通过旋转改变光线偏转角度,可适用于观察不同晶向的蓝宝石单晶或不同类别的缺陷。
3.所述的透镜和目镜表面镀有深色薄膜,能够暗化单晶炉内高温产生的强光,避免光线聚焦后对肉眼的刺激。
4.所述的透镜、目镜和物镜组均为可拆卸设计,方便对其清洁或更换。
5.所述的目镜外侧带有橡胶圈,避免观察人员面部与目镜意外磕碰后受伤。
本实用新型有益效果有:
1.本实用新型通过强化蓝宝石单晶缺陷部位和正常部位的明暗差异和放大效果,使得长晶过程中缺陷观察的难度降低、精准度增加,解决了轻度缺陷观察易遗漏的问题,并降低了对长晶操作人员视力水平的要求。
2.本实用新型通过降低缺陷的观察难度,使得长晶操作人员对缺陷的控制能力提升,提高蓝宝石单晶的晶体质量。
本实用新型结构简单,携带方便,故障率低。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为图1的a-a剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细说明:
结合图1,本实施例装置主要由透镜1、物镜组2、目镜3、镜身4和焦距调节旋钮5组成。透镜1设置在镜身4前端,目镜3设置在镜身4后端,物镜组2设置在透镜1、目镜3之间,透镜1对准并嵌入单晶炉视镜观察口内,物镜组2具有转动轴,包括一组可以切换使用不同放大倍数的物镜,物镜通过转动轴实现切换,物镜、目镜均为可旋转结构,镜身4为长度可调节结构,通过旋转焦距调节旋钮5调节镜身长度。透镜1和目镜3表面镀有深色薄膜,目镜3外侧带有橡胶圈。
本实施列具体步骤如下:
(1)将该装置的透镜对准单晶炉的视镜观察口,透镜1的凹槽嵌入观察口内,与其紧密贴合。
(2)打开单晶炉视镜观察口挡板,通过该装置的目镜3向单晶炉内观察。
(3)根据观察的缺陷类别和放大倍数需求,旋转物镜组2,切换合适的物镜。
(4)根据放大倍数旋转焦距调节旋钮5,改变镜身4的长度,调节焦距,使目镜内成像清晰。
(5)旋转目镜,根据目镜偏光角度的变化观察晶体缺陷部位的明暗变化。
(6)操作单晶炉控制系统,对观察到的缺陷进行控制。
(7)观察结束后关闭单晶炉视镜观察口挡板,取下该装置。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所做的进一步详细说明,不能认定本实用新型的具体实施只限于这些说明。对于具有本实用新型所属领域基础知识的人员来讲,可以很容易对本实用新型进行变更和修改,这些变更和修改都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的专利保护范围。
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