一种蓝宝石单晶炉的热交换器装置的制作方法

本实用新型涉及一种蓝宝石单晶炉的热交换器装置，具体涉及一种泡生法生长蓝宝石单晶用的单晶炉热交换器装置。

背景技术：

蓝宝石单晶（al2o3），是一种具有良好的物理特性、机械特性和化学特性的优质材料，其特有的硬度大、耐高温、抗腐蚀、电绝缘性能优良等特性，被广泛应用于消费类电子产品窗口、半导体硅的外延基片、红外装置等领域。

随着消费类电子产品市场的迅速发展，对蓝宝石材料的需求量不断增加，与此同时对蓝宝石质量的要求也在不断提升。在泡生法生长蓝宝石晶体过程中，要想获得大尺寸高质量的蓝宝石单晶对生长界面形态的要求是非常苛刻的，生长界面不合理会导致加大气泡的捕获几率从而产生圈泡以及双晶、云雾等缺陷。同时要想生长出大尺寸蓝宝石对晶体内部应力的要求也很严格，生长界面不规则会增加晶体局部应力，从而加大晶体局部开裂的几率。因此开发出一种控制晶体生长界面形态的技术显得尤为重要。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种通过温度传感器反射出的温度来调节热交换器的换热量，进而实现通过控制换热量的大小来调节生长界面形态的蓝宝石单晶炉的热交换器装置。

本实用新型的目的是这样实现的：它包括由三组输入管与输出管组成的热交换器及与其相辅助的三组温度传感器组成，三组热交换器分别位于炉体上部、炉体两侧及炉体底部且处于保温砖与炉体之间，每组热交换器输入管与输出管相通并分别通过炉体顶部的小炉盖、炉体侧面、炉体底部延伸至炉体外部；温度传感器与热交换器位置相匹配并对其起到辅助作用，其测量端与保温砖相接触以测量炉内各区域的温度，并经过补偿端反馈给炉体表面的显示仪表，通过其反射出的温度来调节热交换器的换热量。

本实用新型还有这样一些特征：

1.所述的三组热交换器包括炉体上部热交换器、炉体中部热交换器和炉体底部热交换器，分别位于距离炉体顶部30-100mm，炉体中部及距离炉体底部30-100mm的位置安装,且靠近保温砖10-30mm位置。

2.所述的热交换器的输入管与输出管管口直径为10-50mm，管中装有制冷液体。

3.所述的输入管与输出管由耐高温金属材料制成，管道相通且延保温砖环绕承环形形态。

本实用新型有益效果有：

1.本实用新型通过热交换器对换热量的控制，可以在单晶炉内形成合理的温度梯度，利于得到晶体生长界面合理的圆锥角度，因此利于晶体气泡的排出。

2.本实用新型通过对炉内温度的合理设置，可精准调控炉内温度，控制晶体生长界面的形态，从而可有效减少晶体缺陷产生的几率，提高晶体出材。

本实用新型通过温度传感器对炉内各区域温度变化的监测，可以及时调节炉内各区域的换热量，利于提高炉内各区域的换热效率，实现自动化晶体生长控制。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型侧视图；

图3为本实用新型俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细说明：

结合图1-3，本实施例装置整体由炉体上部热交换器1，炉体中部热交换器2和炉体底部热交换器3，且分别位于保温砖7与炉体8之间，各热交换器均由输入管4与输出管5相通并分别通过小炉盖6、炉体侧面及炉体底部延伸至炉体外部，在每组输入管与输出管内输有制冷液体，通过液体不断汽化液化过程加大炉内各区域的换热量，同时各区域的热交换器都有与其相辅助的三组温度传感器9共同组成。每组温度传感器的测量端与保温砖相接触以测量炉内各区域的温度，并经过补偿端反馈给炉体表面的显示仪表，通过其反射出的温度来调节热交换器的换热量，从而使单晶炉内形成合理的温度梯度，更加利于控制晶体生长界面的形态，减少晶体缺陷产生的几率。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所做的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只限于这些说明。对于具有本实用新型所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本实用新型进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的专利保护范围。

起点商标作为专业知识产权交易平台，可以帮助大家解决很多问题，如果大家想要了解更多知产交易信息请点击 【在线咨询】或添加微信 【19522093243】与客服一对一沟通，为大家解决相关问题。

此文章来源于网络,如有侵权,请联系删除