用于运输载体的磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体、用于竖直处理基板的处理系统以及运输载体的方法与流程

本公开内容的实施方式涉及用于运输载体的设备和方法,该载体特别是大面积基板的处理期间使用的载体。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于载体的非接触运输的设备和方法，所述载体可用于竖直基板处理的处理系统中，例如在大面积基板上的材料沉积以进行显示器生产。具体而言，本公开内容的实施方式涉及磁悬浮系统和用于真空处理系统中的载体运输的方法。

背景技术：

用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(physicalvapordeposition；pvd)、化学气相沉积(chemicalvapordeposition；cvd)和热蒸发。涂覆的基板可用于多种应用和多种技术领域中。例如，涂覆的基板可用于显示装置领域。显示装置可用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置和用于显示信息的类似者。通常，通过使用不同材料层的堆叠涂覆基板来产生显示器。

为了沉积层堆叠，可使用处理模块的直列式布置。直列式处理系统包括多个一系列的处理模块，诸如沉积模块和可选的进一步处理模块，例如清洁模块和/或蚀刻模块，其中连串地在处理模块中进行处理方面以使得多个基板可在直列式处理系统中连续地或准连续地进行处理。

基板可由载体承载，即用于承载基板的承载装置。通常使用运输系统将载体运输通过真空系统。运输系统可被配置用于沿着一个或多个运输路径运送其上放置有基板的载体。至少两个运输路径可彼此紧接地设置在真空系统中，例如用于在前进方向上运输载体的第一运输路径和用于在与前进方向相反的返回方向上运输载体的第二运输路径。

显示装置的功能性通常取决于材料的涂层厚度，所述厚度必须在预定范围内。为了获得高分辨率的显示装置，需要掌握关于材料沉积的技术挑战。具体而言，基板载体和/或掩模载体通过真空系统的精确且平稳的运输是具有挑战性的。例如，由于移动部件的磨损而产生的颗粒可使制造工艺劣化。因此，需要在减少或最小化颗粒产生的情况下在处理系统中运输载体。此外，挑战在于例如以低成本提供用于高温真空环境的稳健的载体运输系统。

因此，持续需要用于运输载体的改进的设备和方法以及需要提供克服现有技术中的至少一些问题的改进的真空处理系统。

技术实现要素：

鉴于上述，提供了根据独立权利要求的用于运输载体的磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体、用于竖直处理基板的处理系统以及运输载体的方法。根据从属权利要求、说明书和附图，进一步的方面、优点和特征是显而易见的。

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于在运输方向上运输载体的磁悬浮系统。磁悬浮系统包括一个或多个磁性轴承，所述一个或多个磁性轴承具有一个或多个第一致动器，用于在载体运输空间中非接触地保持载体。另外，磁悬浮系统包括驱动单元，所述驱动单元具有一个或多个第二致动器，用于在运输方向上移动载体。一个或多个第一致动器和一个或多个第二致动器布置在载体运输空间上方。

根据本公开内容的另一方面，提供一种用于磁悬浮系统的载体。载体包括用于承载物体的主体。主体包括第一端部和第二端部，第二端部与第一端部相对。第一端部包括一个或多个第一磁性对应件，所述一个或多个第一磁性对应件用于与磁悬浮系统的一个或多个磁性轴承的一个或多个第一致动器相互作用。另外，第一端部包括一个或多个第二磁性对应件，所述一个或多个第二磁性对应件用于与磁悬浮系统的驱动单元的一个或多个第二致动器相互作用。主体的第二端部包括第三磁性对应件，所述第三磁性对应件用于与磁悬浮系统的非接触引导装置的一个或多个被动磁性轴承相互作用。

根据本公开内容的另一方面，提供一种用于竖直处理基板的处理系统。处理系统包括至少一个真空处理腔室，所述真空处理腔室包括处理装置。另外，处理系统包括一个或多个磁悬浮系统，所述一个或多个磁悬浮系统用于在运输方向上运输一个或多个载体。一个或多个磁悬浮系统包括一个或多个磁性轴承，所述一个或多个磁性轴承具有一个或多个第一致动器，用于在载体运输空间中非接触地保持载体。此外，一个或多个磁悬浮系统包括驱动单元，所述驱动单元具有一个或多个第二致动器，用于在运输方向上移动载体。一个或多个第一致动器和一个或多个第二致动器布置在载体运输空间上方。

根据本公开内容的另一方面，提供一种运输载体的方法。方法包括使用一个或多个磁性轴承在载体运输空间中非接触地保持载体，所述一个或多个磁性轴承具有布置在载体运输空间上方的一个或多个第一致动器。此外，方法包括使用驱动单元在运输方向上运输载体，所述驱动单元具有布置在载体运输空间上方的一个或多个第二致动器。

实施方式还针对用于实施所公开的方法的设备，并且包括用于执行每个所描述方法方面的设备部分。这些方法方面可通过硬件组件、通过适当软件编程的计算机、通过两者的任何组合或者以任何其他方式来执行。此外，根据本公开内容的实施方式还针对用于操作所描述设备的方法。用于操作所描述设备的方法包括用于实施设备的每一功能的方法方面。

附图说明

为了可详细理解本公开内容的上述特征的方式，可参照实施方式获得上文简要概述的本公开内容的更具体的描述。附图涉及本公开内容的实施方式，并在下文进行描述：

图1示出根据本文描述的实施方式的磁悬浮系统的示意图；

图2至图5示出根据本文描述的进一步实施方式的磁悬浮系统的示意图；

图6示出根据本文描述的一些实施方式的用于非对称载体的两个磁悬浮系统的布置的示意图；

图7示出根据本文描述的一些实施方式的用于对称载体的两个磁悬浮系统的布置的示意图；

图8示出根据本文描述的实施方式的用于竖直处理基板的处理系统的示意图；和

图9示出根据本文描述的实施方式的用于说明运输载体的方法的流程图。

具体实施方式

现将详细参照本公开内容的各种实施方式，这些实施方式中的一个或多个示例图示于附图中。在附图的以下描述中，相同的附图标记指示相同的部件。仅描述关于各个实施方式的差异。每个示例都是以说明方式提供，并且不意味着对本公开内容的限制。此外，作为一个实施方式的部分图示或描述的特征可在其他实施方式上使用或与其他实施方式结合使用以产生另一实施方式。描述旨在包括这样的修改和变化。

示例性地参看图1，描述根据本公开内容的用于在运输方向t上运输载体10的磁悬浮系统100。运输方向t垂直于图1的纸平面。

根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的实施方式，磁悬浮系统100包括一个或多个磁性轴承120，一个或多个磁性轴承120具有一个或多个第一致动器121，用于在载体运输空间15中非接触地保持载体10。载体运输空间15可理解为沿着运输路径在运输方向上运输载体期间载体所布置的区域。具体而言，如图1示例性所示，载体运输空间可为具有在竖直方向上延伸的高度h和在水平方向上延伸的宽度w的竖直载体运输空间。例如，h/w的纵横比可为h/w≥5，特定地h/w≥10。此外，磁悬浮系统100包括驱动单元130，驱动单元130具有一个或多个第二致动器132，用于在运输方向上移动载体10。一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132布置在载体运输空间15上方。

因此，与常规载体运输设备相比，本文所描述的磁悬浮系统的实施方式得到改进，特别是在高温真空环境中载体的精确且平稳的运输方面。此外，与常规载体运输设备相比，本文所描述的实施方式有益地以较低的生产成本提供更稳健的非接触载体运输。具体而言，本文所描述的磁悬浮系统的实施方式对制造公差、变形和热膨胀更加不敏感。此外，有益地，提供将磁悬浮系统更简单地整合到腔室中。

在更详细地描述本公开内容的各种进一步实施方式之前，解释了关于本文使用的一些术语的一些方面。

在本公开内容中，“磁悬浮系统”可理解为配置用于通过使用磁力以非接触的方式保持物体(例如，载体)的系统。在本公开内容中，术语“悬浮(levitating)”和“悬浮(levitation)”是指物体(例如承载基板或掩模的载体)在没有机械接触或支撑的情况下漂浮的状态。此外，移动或运输物体是指提供驱动力，例如是在与悬浮力不同的方向上的力，其中物体从一个位置移动到另一不同位置，例如沿着运输方向的不同位置。例如，承载基板或掩模的载体可被悬浮，即通过抵消重力的力悬浮，并且可在悬浮的同时在与平行于重力的方向不同的方向上移动。

在本公开内容中，术语“非接触”可在以下意义上理解：重量(例如载体的重量，特别是承载基板或掩模的载体的重量)不是由机械接触或机械力保持的，而是由磁力保持的。换句话说，在整个说明书中使用的术语“非接触”可理解为，使用磁力而不是机械力(即接触力)来将载体保持在悬浮或漂浮状态。

如图1示意性所示，载体10被非接触地保持在上部腔室壁212与底部腔室壁211之间的载体运输空间15中。具体而言，上部腔室壁212可为真空腔室的顶板。因此，底部腔室壁211可为真空腔室的底壁。

在本公开内容中，“载体”可理解为被配置为用于保持基板的载体，也称为基板载体。例如，载体可以是用于承载大面积基板的基板载体。应理解，磁悬浮系统的实施方式还可用于其他载体类型，例如掩模载体。因此，另外或替代地，载体可以是被配置为用于承载掩模的载体。

在本公开内容中，术语“基板”可特别地包括实质上非柔性基板，例如，晶片、诸如蓝宝石或类似物的透明晶体的切片、或玻璃板。然而，本公开内容不限于此，并且术语“基板”还可包括诸如卷材或箔的柔性基板。术语“实质上非柔性”理解为与“柔性”相区别。具体地，实质上非柔性基板可具有一定程度的柔性，例如，具有0.5mm或更小厚度的玻璃板，其中与柔性基板相比，实质上非柔性基板的柔性较小。根据本文所描述的实施方式，基板可由适合于材料沉积的任何材料制成。例如，基板可由从由以下各者构成的群组中选择的材料制成：玻璃(例如，钠钙玻璃、硼硅酸盐玻璃等)、金属、聚合物、陶瓷、复合材料、碳纤维材料或任何其他材料或材料的组合，这些材料可通过沉积工艺涂覆。

在本公开内容中，术语“大面积基板”是指具有面积为0.5m²或更大，特别是1m²或更大的主表面的基板。在一些实施方式中，大面积基板可以是：第4.5代，其对应于约0.67m²的基板(0.73m×0.92m)；第5代，其对应于约1.4m²的基板(1.1m×1.3m)；第7.5代，其对应于约4.29m²的基板(1.95m×2.2m)；第8.5代，其对应于5.7m²的基板(2.2m×2.5m)；或甚至第10代，其对应于约8.7m²的基板(2.85m×3.05m)。甚至诸如第11代和第12代的更高世代和相对应的基板面积可类似地实施。此外，基板厚度可从0.1mm至1.8mm，特定地约0.9mm或更低，诸如0.7mm或0.5mm。

在本公开内容中，术语“运输方向”可理解为沿着运输路径运输载体的方向。通常，运输方向可以是基本水平方向。

在本公开内容中，“磁性轴承”可理解为被配置为用于以非接触的方式(即没有物理接触)保持或支撑物体(例如，本文所描述的载体)的轴承。因此，本文所描述的一个或多个磁性轴承可被配置成产生作用于载体上的磁力，以使得载体被非接触地保持在与基座结构(例如如图1所示的上部腔室壁212)间隔预定距离的位置处。具体而言，一个或多个磁性轴承120可被配置成产生在基本竖直方向v上作用的磁力，以使得上部腔室壁212与载体10之间的间隙122的竖直宽度可基本保持恒定。

本文所描述的一些实施方式涉及“竖直方向”的概念。竖直方向视为实质上平行于重力延伸方向的方向。竖直方向可与精确的竖直度(后者由重力定义)偏离例如至多15度的角度。此外，本文所描述的一些实施方式可包括“侧向方向”的概念。侧向方向被理解为与竖直方向相区别。侧向方向可垂直或实质上垂直于由重力定义的精确竖直方向。

在本公开内容中，一个或多个磁性轴承的“第一致动器”可理解为磁性轴承的主动且可控的元件。具体而言，一个或多个第一致动器可包括可控磁体，诸如电磁体。一个或多个第一致动器的磁场可以是主动可控的，以维持和/或调节上部腔室壁212与载体10之间的距离。换句话说，一个或多个磁性轴承的“第一致动器”可理解为具有可控且可调整磁场以提供作用于载体上的磁悬浮力的元件。

因此，一个或多个第一致动器121被配置用于非接触地保持载体。如图1示例性所示，一个或多个第一磁性对应件181可布置在载体10处，特别是载体的顶部。载体的一个或多个第一磁性对应件181可磁性地与一个或多个磁性轴承120的一个或多个第一致动器121相互作用。具体而言，一个或多个第一磁性对应件181可以是被动磁性元件。例如，一个或多个第一磁性对应件181可由诸如铁磁材料、永磁体的磁性材料制成或可具有永磁性。

例如，可根据输入参数(诸如上部腔室壁212与载体10之间的距离)来控制输出参数(诸如施加至一个或多个第一致动器的电流)。例如，上部腔室壁212与载体10之间的距离(例如，图1所指示的间隙122)可通过距离传感器来测量，并且一个或多个第一致动器的磁场强度可根据测量距离来设定。具体而言，在距离高于预定阈值的情况下可增加磁场强度，并且在距离低于阈值的情况下可减小磁场强度。可以通过闭环或反馈控制来控制一个或多个第一致动器。

在本公开内容中，“驱动单元”可理解为被配置为用于在运输方向上以非接触的方式移动物体(例如，本文所描述的载体)的单元。具体而言，本文所描述的驱动单元可被配置成产生在运输方向上作用于载体的磁力。因此，驱动单元可以是线性电动机。例如，线性电动机可以是铁芯线性电动机。或者，线性电动机可以是无铁线性电动机。无铁线性电动机对于避免由于载体的被动磁性元件与线性电动机的铁芯可能的相互作用而引起的竖直力在载体上产生的扭矩可以是有益的。

更具体地，如图1示例性所示，驱动单元通常包括一个或多个第二致动器，所述一个或多个第二致动器被配置用于在运输方向上非接触地移动载体。一个或多个第二致动器可以是一个或多个可控磁体，例如电磁体。因此，一个或多个第二致动器可以是可主动控制的，以在运输方向上将移动力施加在载体上。如图1示例性所示，一个或多个第二磁性对应件182可布置在载体10处，特别是载体的顶部。载体的一个或多个第二磁性对应件182可与驱动单元130的一个或多个第二致动器132相互作用。具体而言，一个或多个第二磁性对应件182可以是被动磁性元件。例如，一个或多个第二磁性对应件182可由诸如铁磁材料、永磁体的磁性材料制成或可具有永磁性。

根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，如图1示例性所示，一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132布置在大气空间110中。表述“大气空间”可理解为具有大气压力条件(即约1.0巴)的空间。例如，大气空间可以是设置在真空腔室外部的空间。或者，大气空间可由设置在真空腔室内部的大气箱或大气容器(未明确示出)提供。

示例性地参看图1，根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132可附接至上部腔室壁212的外表面，特别是附接至真空腔室(例如，真空处理腔室210)的外表面。因此，有益地，一个或多个磁性轴承的主动元件布置在非常易于够到以进行安装或维护的位置处，从而降低成本。根据示例，如图1示例性所示，上部腔室壁212的外表面可包括用于接收一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132的接受部。

如图1示例性所示，根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，磁悬浮系统进一步包括非接触引导装置140，用于在运输方向t上引导载体10。通常，非接触引导装置140布置在载体运输空间15的下部15l中。例如，非接触引导装置140可包括一个或多个被动磁性轴承125。具体而言，如图1示例性所示，一个或多个被动磁性轴承125可竖直布置。因此，如图1示例性所指示，一个或多个被动磁性轴承125被配置为用于在水平方向上，特别是侧向方向l上提供作用于载体上的磁力。

例如，如图1示例性所示，一个或多个被动磁性轴承125可由竖直平行布置的被动磁性元件提供。通常，至少两个被动磁性元件被布置成提供用于载体的第三磁性对应件183接受部。因此，在存在载体的情况下，第三磁性对应件183布置在一个或多个被动磁性轴承125的相对布置的被动磁性元件之间。通常，第三磁性对应件183包括被动磁性元件。在图1中，被动磁性元件的北极n部分大致由阴影图案指示。被动磁性元件的南极部分由与北极n部分相邻的空白元件表示。

如图1示例性所示，通常，一个或多个被动磁性轴承125和第三磁性对应件183的被动磁性元件被布置成使得第三磁性对应件183的被动磁性元件的南极部分面向一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件的南极部分(图1所示的非接触引导装置140的右手侧)。因此，第三磁性对应件183的被动磁性元件的北极部分可面向一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件的北极部分(图1所示的非接触引导装置140的左手侧)。因此，一个或多个被动磁性轴承125和第三磁性对应件183的被动磁性元件可被布置成使得排斥磁力作用于第三磁性对应件183的被动磁性元件与一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件之间。尽管未明确示出，但应理解，替代地，一个或多个被动磁性轴承125和第三磁性对应件183的被动磁性元件可被布置成使得吸引磁力作用于第三磁性对应件183的被动磁性元件与一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件之间。

因此，有益地，可提供载体的非接触侧向引导。此外，应注意，提供被动引导装置特别适合于以低成本在高温真空环境中提供稳健的载体运输。

在本公开内容中，“被动磁性轴承”可理解为具有被动磁性元件的轴承，所述被动磁性元件没有受到主动控制或调节，至少在设备的操作期间没有受到主动控制或调节。具体而言，被动磁性轴承可适用于产生磁场，例如静磁场。换句话说，被动磁性轴承可不被配置为用于产生可调整磁场。例如，一个或多个被动磁性轴承的磁性元件可由诸如铁磁材料、永磁体的磁性材料制成或可具有永磁性。

因此，本文使用的“被动磁性元件”或“被动磁体”可理解为未被主动控制的磁体，例如经由反馈控制。例如，没有根据诸如距离的输入参数来控制诸如被动磁体的磁场强度的输出参数。“被动磁性元件”或“被动磁体”可确切地在没有任何反馈控制的情况下提供载体的侧面稳定性。例如，本文使用的“被动磁性元件”或“被动磁体”可包括一个或多个永磁体。另外或替代地，“被动磁性元件”或“被动磁体”可包括可未被主动控制的一个或多个电磁体。

示例性地参看图2，根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，磁悬浮系统进一步包括具有至少一个稳定磁体161的至少一个侧向稳定装置160，侧向稳定装置160被配置成在横向于运输方向t的侧向方向l上将恢复力f施加在载体10上。例如，至少一个稳定磁体161可布置在载体运输空间15上方，特别是在大气空间中。具体而言，至少一个稳定磁体161可附接至上部腔室壁212的外表面。通常，至少一个稳定磁体161可布置在相对于一个或多个第一致动器121具有一定侧向距离的位置。另外或替代地，至少一个稳定磁体161可布置在相对于一个或多个第二致动器132具有一定侧向距离的位置。

因此，有益地，在载体侧向位移的情况下，侧向稳定装置160可通过将恢复力施加在载体10上来将载体稳定在预定侧向位置处。恢复力f将载体10推回或拉回预定侧向位置。因此，有益地，侧向稳定装置160可产生稳定力，所述稳定力被配置成抵消载体在侧向方向l上从载体运输空间15的位移。换句话说，当载体在侧向方向l上从图2示意性地描绘的预定侧向位置或平衡位置位移时，侧向稳定装置160可被配置成产生将载体推回和/或拉回载体运输空间15中的恢复力f。

如图2示例性所示，至少一个稳定磁体161可以是具有北极n和南极s的被动磁体。在一些实施方式中，至少一个稳定磁体可包括多个被动磁体，这些被动磁体可在运输方向上一个接一个地布置。通常，至少一个稳定磁体内部的磁场线的方向(在磁体内部从南极行进到北极)可基本上对应于侧向方向l。

至少一个载体稳定磁体162可以通过如下方式附接至载体10，这种方式使得载体10在侧向方向l上从载体运输空间15的位移导致侧向稳定装置160的至少一个稳定磁体161与至少一个载体稳定磁体162之间的排斥磁力抵消此位移。因此，有益地，在保持期间和在沿着运输路径运输载体期间，载体被保持在图2所示的平衡位置中。

如图2示例性所示，至少一个载体稳定磁体162可以是具有北极n和南极s的被动磁体，所述北极和南极被布置成使得至少一个载体稳定磁体162内部的磁场线的方向基本上对应于侧向方向l。

具体而言，与侧向稳定装置160的至少一个稳定磁体161相比，至少一个载体稳定磁体162可以相反的取向布置，以使得当载体布置在平衡位置中时，至少一个载体稳定磁体162的北极n靠近至少一个稳定磁体161的南极s布置并被其吸引，并且至少一个载体稳定磁体162的南极s靠近侧向稳定装置160的至少一个稳定磁体161的北极n布置并被其吸引。当载体在第一侧向方向上(例如，朝向图2的左侧)从平衡位置位移时，至少一个载体稳定磁体162的北极n接近侧向稳定装置160的至少一个稳定磁体161的北极n，这产生了恢复力，从而将载体推回平衡位置。当载体在第二(相对的)侧向方向上(例如，朝向图2的右侧)从平衡位置位移时，至少一个载体稳定磁体162的南极s接近侧向稳定装置160的至少一个稳定磁体161的南极s，这产生了恢复力，从而将载体推回平衡位置。因此，侧向稳定装置160将载体稳定在预定侧向位置处，使得可减少或防止载体的侧向移动。

示例性地参看图3，根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，磁悬浮系统进一步包括安全布置170。通常，安全布置170包括设置在载体运输空间15的至少一侧的侧向防护引导元件171。例如，侧向防护引导元件171可附接至上部腔室壁的内表面。具体而言，侧向防护引导元件171可在侧向方向上与至少一个稳定磁体161间隔开，以使得附接至载体10的至少一个载体稳定磁体162可布置在两者之间。如图3示例性所示，在存在载体的情况下，在至少一个载体稳定磁体162与侧向防护引导元件171之间提供有间隙。侧向防护引导元件171可实现为导轨或成排的多个引导销。

如图3示例性所示，另外或替代地，安全布置170可包括安全辊172，安全辊172用于为载体10提供竖直安全支撑件，例如在一个或多个第一致动器121停用的情况下。通常，将安全辊172连接至保持器173，保持器173附接至上部腔室壁212的内表面。保持安全辊的保持器也可用作侧向防护引导元件。

如图3所示，根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，如参看图2示例性地描述的，可提供两个侧向稳定装置。例如，第一侧向稳定装置160a可设置在相对于一个或多个第一致动器121具有一定侧向距离的位置，并且第二稳定装置160b可设置在相对于一个或多个第二致动器132具有一定侧向距离的位置。

示例性地参看图3，根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，保护元件163(例如，保护条带)可附接至至少一个载体稳定磁体162。具体而言，保护元件163可附接至至少一个载体稳定磁体162的面向侧向防护引导元件171的一侧和/或至少一个载体稳定磁体162的面向保持器173的一侧。

示例性地参看图4，描述具有一个或多个第一致动器和一个或多个第二致动器的非对称布置的磁悬浮系统的实施方式。根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，如图4示例性所示，一个或多个第一致动器121可居中布置在待运输的载体10的重心g上方。具体而言，参看图4的实施方式，表述“居中布置在载体的重心g上方”可理解为，延伸穿过载体的重心g的竖直平面111也延伸穿过一个或多个第一致动器121。换句话说，延伸穿过载体的重心g的竖直平面111可与一个或多个第一致动器121相交。具体而言，竖直平面111可与一个或多个第一致动器121的中心大致相交，例如与一个或多个第一致动器的中心偏离±10％。根据示例，竖直平面111可表示一个或多个第一致动器121的对称平面。如图4示例性所示，一个或多个第二致动器132可相对于一个或多个第一致动器121侧向布置。具体而言，一个或多个第二致动器132全部可布置为与一个或多个第一致动器121的同一侧(例如，图4中的左侧)相邻。应理解，参看图1至图3所描述的方面和特征也可应用于图4所示的实施方式中。

示例性地参看图5，描述具有一个或多个第一致动器和一个或多个第二致动器的对称布置的磁悬浮系统的实施方式。根据可与本文所描述的其他实施方式结合的一些实施方式，如图5示例性所示，一个或多个第二致动器132可居中布置在待运输的载体10的重心上方。

具体而言，参看图5的实施方式，表述“居中布置在载体的重心g上方”可理解为，延伸穿过载体的重心g的竖直平面111也延伸穿过一个或多个第二致动器132。换句话说，延伸穿过载体的重心g的竖直平面111可与一个或多个第二致动器132相交。具体而言，竖直平面111可与一个或多个第二致动器132的中心大致相交，例如与一个或多个第二致动器的中心偏离±10％。根据示例，竖直平面111可表示一个或多个第二致动器132的对称平面。

如图5示例性所示，一个或多个第一致动器121可包括一个或多个第一致动器的第一组121a和一个或多个第一致动器的第二组121b。一个或多个第一致动器的第一组121a和一个或多个第一致动器的第二组121b可相对于一个或多个第二致动器132侧向布置。具体而言，如图5示例性所示，一个或多个第一致动器的第一组121a可与一个或多个第二致动器132的第一侧相邻布置，并且一个或多个第一致动器的第二组121b可与一个或多个第二致动器132的第二侧相邻布置，第二侧与第一侧相对。例如，一个或多个第一致动器的第一组121a和一个或多个第一致动器的第二组121b可相对于一个或多个第二致动器132对称布置。应理解，参看图1至图3所描述的方面和特征也可应用于图5所示的实施方式中。

示例性地参看图4和图5，根据本公开内容的载体10包括用于承载物体(例如，基板或掩模)的主体13。例如，主体13可实现为配置用于保持基板或掩模的承载板。或者，主体13可实施为配置用于保持基板或掩模的承载框架。如图4和图5示例性所示，主体具有第一端部11和第二端部12。第二端部12与第一端部11相对。主体13的第一端部11包括一个或多个第一磁性对应件181，一个或多个第一磁性对应件181用于与磁悬浮系统的一个或多个磁性轴承120的一个或多个第一致动器121相互作用。第一端部11进一步包括一个或多个第二磁性对应件182，一个或多个第二磁性对应件182用于与磁悬浮系统的驱动单元130的一个或多个第二致动器132相互作用。另外，主体13的第二端部12包括第三磁性对应件183，第三磁性对应件183用于与磁悬浮系统的非接触引导装置140的一个或多个被动磁性轴承125相互作用。

根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的一些实施方式，一个或多个第一磁性对应件181的顶表面181s与一个或多个第二磁性对应件182的顶表面182s具有相同的取向。更具体地，如图4和图5示例性所示，一个或多个第一磁性对应件181的顶表面和一个或多个第二磁性对应件182的顶表面是实质水平的。例如，一个或多个第一磁性对应件181的顶表面与一个或多个第二磁性对应件182的顶表面可以是共面的。或者，可在一个或多个第一磁性对应件181的顶表面与一个或多个第二磁性对应件182的顶表面之间提供小台阶，例如台阶st，st≤2mm，特定地st≤1mm。

如图4和图5示例性所示，根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的一些实施方式，第三磁性对应件183包括第一表面183a和第二表面183b。第二表面183b与第一表面183a相对。通常，第一表面183a的取向和第二表面183b的取向垂直于一个或多个第一磁性对应件181的顶表面和一个或多个第二磁性对应件182的顶表面。

根据一些实施方式，如图4示例性所示，载体10可以是非对称载体，即当载体处于竖直取向上时，载体相对于延伸穿过重心g的竖直平面111并非对称的。或者，如图5示例性所示，载体10可以是对称载体，即当载体处于竖直取向上时，载体相对于延伸穿过重心g的竖直平面111是对称的。

从图4和图5中，应理解，载体的尺寸通常对应于载体运输空间15的尺寸。因此，载体可具有对应于载体运输空间15的高度h的高度hc。此外，载体可具有对应于载体运输空间15的宽度w的宽度wc。因此，hc/wc的纵横比可以是hc/wc≥5，特定地hc/wc≥10。

根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的一些实施方式，如参看图2和图3示例性地描述的，至少一个载体稳定磁体162可附接至载体10的第一端部11。如图6和图7示例性所示，至少一个载体稳定磁体162可被提供以用于非对称载体(参看图6)以及用于对称载体(参看图7)。此外，如参看图3示例性地描述的，保护元件163(例如，保护条)可附接至至少一个载体稳定磁体162。

示例性地参看图6，描述用于运输相应非对称载体的两个非对称磁悬浮系统的布置。具体而言，提供第一运输路径t1的第一非对称磁悬浮系统101可设置在提供第二运输路径t2的第二非对称磁悬浮系统102旁边。具体而言，第二非对称磁悬浮系统102从第一非对称磁悬浮系统101水平偏移。因此，通常，第二运输路径t2从第一运输路径t1水平偏移。如从图6可看出，第一非对称磁悬浮系统101的部件可实质上对应于第二非对称磁悬浮系统102的部件。因此，应理解，参看图1至图3所描述的特征也可应用于图6所示的示例性实施方式中。如图6所示，第一非对称磁悬浮系统101和第二非对称磁悬浮系统102的非接触引导装置140可连接至共同支撑结构145。如图6示例性所示，共同支撑结构145可耦接至底部腔室壁211。

示例性地参看图7，描述用于运输相应对称载体的两个对称磁悬浮系统的布置。具体而言，提供第一运输路径t1的第一对称磁悬浮系统103可设置在提供第二运输路径t2的第二对称磁悬浮系统104旁边。具体而言，第二对称磁悬浮系统104从第一对称磁悬浮系统103水平偏移。因此，第二运输路径t2从第一运输路径t1水平偏移。如从图7可看出，第一对称磁悬浮系统103的部件可实质上对应于第二对称磁悬浮系统104的部件。此外，应理解，参看图1至图4所描述的特征也可应用于图7所示的示例性实施方式中。如图7所示，第一对称磁悬浮系统103和第二对称磁悬浮系统104的非接触引导装置140可连接至共同支撑结构145。如图7示例性所示，共同支撑结构145可耦接至底部腔室壁211。

此外，如图7示例性所示，根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的一些实施方式，上部腔室壁212可实施为独立的板状元件，特别是桶状板状元件。因此，有益地，在上部腔室壁安装至腔室的侧壁之前，一个或多个磁性轴承的一个或多个第一致动器和驱动单元的一个或多个第二致动器可预先安装至上部腔室壁。提供预先安装有一个或多个第一致动器和预先安装有一个或多个第二致动器的为上部腔室壁可有助于组装程序并且可降低成本。因此，与现有技术相比，有益地提供与腔室的更简单的对接。

示例性地参看图8，描述根据本公开内容的用于竖直处理基板的处理系统200。根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的实施方式，处理系统200包括至少一个真空处理腔室210，所述真空处理腔室包括处理装置205。具体而言，通常，处理装置205布置在真空处理腔室210中，并且处理装置205可从由沉积源、蒸发源和溅射源构成的群组中选择。术语“真空”可从某种意义上理解为具有小于例如10毫巴的真空压力的技术真空。通常，本文所描述的真空腔室中的压力可介于10^-5毫巴与约10^-8毫巴之间，更典型地介于10^-5毫巴与10^-7毫巴之间，并且甚至更典型地介于约10^-6毫巴与约10^-7毫巴之间。根据一些实施方式，真空腔室中的压力可视为真空腔室内的蒸发材料的分压或者总压力(当仅蒸发材料作为真空腔室中待沉积的组分时，两者可大致相同)。在一些实施方式中，真空腔室中的总压力可范围从约10^-4毫巴至约10^-7毫巴，尤其是在除了蒸发材料之外的第二组分存在于真空腔室中(诸如气体或类似物)的情况下。因此，真空腔室可以是“真空沉积腔室”，即配置用于真空沉积的真空腔室。

此外，如图8示例性所示，处理系统200包括一个或多个磁悬浮系统，所述一个或多个磁悬浮系统用于在运输方向t上运输一个或多个载体。例如，处理系统200可包括第一磁悬浮系统100a和第二磁悬浮系统100b。第一磁悬浮系统100a和第二磁悬浮系统100b可根据本文描述的任何实施方式来配置，特别是如参看图1至图7所描述的。如图8所示，提供第一运输路径t1的第一磁悬浮系统100a可设置在提供第二运输路径t2的第二磁悬浮系统100b旁边。具体而言，第二磁悬浮系统100b从第一磁悬浮系统100a水平偏移。因此，第二运输路径t2从第一运输路径t1水平偏移。

处理系统200的一个或多个磁悬浮系统包括：一个或多个磁性轴承120，一个或多个磁性轴承120具有一个或多个第一致动器121，用于在载体运输空间15中非接触地保持载体10。另外，一个或多个磁悬浮系统包括驱动单元130，驱动单元130具有一个或多个第二致动器132，用于在运输方向t上移动载体10。一个或多个第一致动器131和一个或多个第二致动器132布置在载体运输空间15上方。

根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的一些实施方式，如图8示例性所指示，处理系统200可进一步包括轨道切换组件190，轨道切换组件190被配置成在路径切换方向s上将载体从第一运输路径t1移动至第二运输路径t2。通常，路径切换方向s对应于侧向方向l。此外，轨道切换组件190可被配置成将载体移动至处理位置t3，处理位置t3从第一运输路径和第二运输路径水平偏移。此外，如图8中的双向箭头144示例性地指示，第一磁悬浮系统100a和第二磁悬浮系统100b的非接触引导装置140可以是在竖直方向上是可移动的，以便允许载体在路径切换方向s上的移动。此外，如图8示例性所示，可在处理位置t3与处理装置205之间提供掩模206(例如，边缘排除掩模)。

示例性地参看图9所示的流程图，描述根据本公开内容的运输载体的方法300。根据可与本文所描述的任何其他实施方式结合的实施方式，方法300包括使用一个或多个磁性轴承120在载体运输空间15中非接触地保持载体10(由图9中的框310表示)。一个或多个磁性轴承120具有布置在载体运输空间15上方的一个或多个第一致动器121。此外，方法300包括使用驱动单元130在运输方向t上运输载体10(由图9中的框320表示)。驱动单元130具有布置在载体运输空间15上方的一个或多个第二致动器132。

鉴于上述，应理解，与现有技术相比，本公开内容的实施方式有益地提供一种磁悬浮系统、一种处理系统和一种运输载体的方法，其在高温真空环境中载体的精确且平稳的运输方面得到改进，特别是用于高质量显示器制造。此外，与常规载体运输设备相比，本文所描述的实施方式有益地以较低的生产成本提供更稳健的非接触载体运输。

尽管前述内容针对实施方式，但可在不脱离基本范围的情况下设计出其他和进一步实施方式，并且这一范围由随附权利要求书确定。

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