一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置的制作方法

本实用新型属于铜键合丝生产领域，具体是一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置。

背景技术：

键合是集成电路生产中的一道重要工序，键合一般使用键合丝来完成，键合丝是微电子工业的一种重要材料，主要用于芯片和引线框架之间的连接，铜键合丝是键合丝的一种，是一种具备优异电器、导热、机械性能并且化学性质稳定的极好内引线材料。铜键合丝在生产过程中，需要进行退火处理，但现有的用于铜键合丝生产的退火装置大多数结构比较单一，一般通过高温加热后自然冷却，高温加热时铜键合丝容易受到外界环境影响而氧化，影响铜键合丝的质量，同时退火后铜键合丝仍具有一定的余热，自然冷却缓慢，工作效率低，而且余热容易使铜键合丝的内部产生应力，降低了铜键合丝的韧性。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，包括壳体、铜键合丝本体、导热翅片、冷凝器、冷却机构和清理刷，所述壳体内部的中间安装有第一腔体，第一腔体的内部安装有第二腔体，第二腔体的外侧壁体上安装有螺旋加热丝，第二腔体的内部安装有第三腔体，第二腔体和第三腔体之间均布设置有多个导热翅片，导热翅片延伸到第三腔体的内部，第三腔体的左右两侧中间设置有走线孔，走线孔内贯穿有铜键合丝本体；所述第三腔体的左侧安装有清理刷，清理刷的左侧设置有两个导向辊；所述壳体的上方安装有惰性气体罐，惰性气体罐的右侧安装有第一连接管，第一连接管上安装有加压风机，第一连接管的下方安装有第二连接管；所述第一连接管的右侧安装有冷凝器，冷凝器的下方安装有第三连接管，第三连接管的下方安装有布气罩，第三腔体的右侧安装有冷却机构，铜键合丝本体从左向右贯穿冷却机构，布气罩安装在冷却机构的上方。

作为本实用新型的进一步方案：所述清理刷设置为两个上下对称分布，铜键合丝本体设置在上下两个清理刷之间。

作为本实用新型的进一步方案：所述导向辊的左侧设置有伸缩气缸，伸缩气缸安装在壳体内壁上方，伸缩气缸的下方安装有张紧轮。

作为本实用新型的进一步方案：所述第二连接管的下方连接到第三腔体的右侧上方，第三腔体的左侧下方设置有排气管，排气管上设置有单向排气阀。

作为本实用新型的再进一步方案：所述冷却机构的上方壁体均布设置有多个进气孔，冷却机构的下方壁体均布设置有多个出气孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置的清理刷能够对铜键合丝本体的表面灰尘进行清理，能够防止铜键合丝本体表面的灰尘影响退火效果；通过设置的导热翅片能够更加高效的将热量传递到第三腔体内，使退火更加的高效；通过设置的惰性气体罐和加压风机之间的配合使用能够将第三腔体内的空气排出，防止铜键合丝本体受热氧化；通过设置的冷凝器、布风罩和冷却机构之间的配合使用，能够使退火后的铜键合丝本体快速降温冷却，防止铜键合丝本体的余热是铜键合丝本体内部产生应力，降低铜键合丝本体的韧性。

附图说明

图1为一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置的结构示意图。

图2为一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置中第三腔体的结构示意图。

图3为一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置中冷却机构的结构示意图。

图中：1、壳体；2、第一腔体；3、第三腔体；4、走线孔；5、铜键合丝本体；6、第二腔体；7、螺旋加热丝；8、导热翅片；9、惰性气体罐；10、第一连接管；11、加压风机；12、第二连接管；13、排气管；14、单向排气阀；15、冷凝器；16、第三连接管；17、布气罩；18、冷却机构；19、出气孔；20、伸缩气缸；21、张紧轮；22、导向辊；23、清理刷；24、进气孔。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图1-3，一种能够提高韧度的铜键合丝退火装置，包括壳体1、铜键合丝本体5、导热翅片8、冷凝器15、冷却机构18和清理刷23；所述壳体1内部的中间安装有第一腔体2，第一腔体2的内部安装有第二腔体6，第二腔体6的外侧壁体上安装有螺旋加热丝7，第二腔体6的内部安装有第三腔体3，第二腔体6和第三腔体3之间均布设置有多个导热翅片8，导热翅片8延伸到第三腔体3的内部，通过设置导热翅片8能够更加高效的将螺旋加热丝7散发的热量传递到第三腔体3内,第三腔体3的左右两侧中间设置有走线孔4，走线孔4内贯穿有铜键合丝本体5。

所述第三腔体3的左侧安装有清理刷23，清理刷23设置为两个上下对称分布，铜键合丝本体5设置在上下两个清理刷23之间，通过设置清理刷23能够对铜键合丝本体5的表面灰尘进行清理，使得铜键合丝本体5的退火效果更好，清理刷23的左侧设置有两个导向辊22，导向辊22的左侧设置有伸缩气缸20，伸缩气缸20安装在壳体1内壁上方，伸缩气缸20的下方安装有张紧轮21，通过设置张紧轮21和伸缩气缸20的作用能够对铜键合丝本体5起到张紧的作用。

所述壳体1的上方安装有惰性气体罐9，惰性气体罐9的右侧安装有第一连接管10，第一连接管10上安装有加压风机11，第一连接管10的下方安装有第二连接管12，第二连接管12的下方连接到第三腔体3的右侧上方，第三腔体3的左侧下方设置有排气管13，排气管13上设置有单向排气阀14，通过设置惰性气体罐9能够将第三腔体3内的空气排出，防止铜键合丝本体5在第三腔体3内受热氧化，通过设置的单向排气阀14能够防止外界空气通过排气管13进入到第三腔体3内。

所述第一连接管10的右侧安装有冷凝器15，冷凝器15的型号为krdz，冷凝器15的下方安装有第三连接管16，第三连接管16的下方安装有布气罩17，第三腔体3的右侧安装有冷却机构18，铜键合丝本体5从左向右贯穿冷却机构18，布气罩17安装在冷却机构18的上方，冷却机构18的上方壁体均布设置有多个进气孔24，冷却机构18的下方壁体均布设置有多个出气孔19，通过设置的冷凝器15和冷却机构18的配合使用，能够快速的对退火后的铜键合丝本体5进行冷却，防止铜键合丝本体5上的余热使铜键合丝本体5的内部产生应力，影响铜键合丝本体5的质量，降低铜键合丝本体5的韧度。

本实用新型的工作原理是：首先通过伸缩气缸20带动张紧轮21上下移动，张紧轮21对铜键合丝本体5进行张紧，铜键合丝本体5在从左向右输送过程中，清理刷23对铜键合丝本体5的表面的灰尘进行清理，通过螺旋加热丝7进行加热，并通过导热翅片8将热量传递到第三腔体3内，对铜键合丝本体5进行加热退火处理，同时通过加压风机11的作用将惰性气体输送到第三腔体3内，将第三腔体3内的空气排出，通过冷凝器15对惰性气体进行冷却，冷却后的惰性气体输送到冷却机构18内对铜键合丝本体5进行快速的冷却降温。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。

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