一种具有散热功能的溅镀载具的制作方法

本实用新型涉及金属高分子基材处理领域，更具体地说，涉及一种具有散热功能的溅镀载具。

背景技术：

金属是一种元素，其外表呈现出金属的特性，但在化学性质上却表现出金属和非金属两种性质，例如砷和锑，它们是坚硬的结晶固体，外表显然是金属，但是当进行化学反应时就表现出金属和非金属两种不同的性质，它们的一些氧化物既溶于酸，也溶于碱，这就是所谓的两性性质，因为它们的性质既像碱又像酸，有许多元素也能生成两性化合物。

表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法，表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求，但是现有的类金属在溅镀过程中散热较差，载具温度过高时需要进行长时间冷却，而且容易提高载具的成本，因此需要设计出一种具有散热功能的溅镀载具来解决上述提出的问题。

技术实现要素：

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种具有散热功能的溅镀载具，具备能对载具进行高效散热的优点，解决了现有的类金属在溅镀过程中散热较差，载具温度过高时需要进行长时间冷却，而且容易提高载具的成本的问题。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种具有散热功能的溅镀载具，包括溅镀载具和冷却剂供应源，所述溅镀载具的外侧设有矩形框架，所述矩形框架正面和左侧的内部均开设有分流管，所述矩形框架背面和右侧的内部均开设有汇流管，所述矩形框架的中部连接有冷却管路，所述冷却管路包括若干个相互贯通的第一管道和第二管道，所述第一管道和第二管道的两端分别连接于分流管和汇流管，所述矩形框架顶部的四角均设有凸台，所述溅镀载具正面左侧的凸台正面开设有导入口，所述分流管与导入口连接，所述溅镀载具右侧背面的凸台顶部开设有导出口，所述汇流管与导出口连接，所述冷却剂供应源的左侧连接有添加管，所述添加管的中部安装有水泵，所述添加管远离冷却剂供应源的一端与导入口连接，所述冷却剂供应源的右侧连接有回流管，所述回流管远离冷却剂供应源的一端与导出口连接，使用时，可以将需要溅镀的基板放入溅镀载具的四个凸台之间，凸台能使基板的放置更加稳定，在溅镀过程中，可以通过控制水泵工作，水泵工作的同时会将冷却剂供应源内部的冷却剂顺着添加管导入溅镀载具左侧的导入口内部，进入导入口的冷却剂随后会流到分流管内部，由于第一管道和第二管道均与分流管连接，进入分流管中的冷却剂会继续流到第一管道和第二管道内部，冷却剂会在第一管道和第二管道内部流动，同时带走溅镀过程中基板的上过多的热量，由于第一管道和第二管道均与汇流管连接，同时冷却管路内部的冷却剂会不断的增加，带有热量的冷却剂随后会流到汇流管内部，由于水泵会一直向溅镀载具内部输送冷却剂，使得冷却管路内部的液压会不断升高，当冷却管路内部液压高于一定时，汇流管内部的冷却剂会顺着导出口流到回流管内部，回流管内部的冷却剂继续流到冷却剂供应源的内部，冷却剂在冷却管路内部流动的同时会带走溅镀载具以及顶部基板的热量，能很好的对基板进行降温，能很好的降低溅镀时溅镀载具的温度，使溅镀载具的温度维持于基本受热的安全值内部，省去将溅镀载具进行静置冷却的程序，且不需要准备多个供替换的溅镀载具，能使溅镀工艺更加简便，且省去了准备大量替换溅镀载具耗费的成本。

优选的，所述冷却管路的底部安装有若干个导热斗，所述导热斗位于两个相邻的第一管道和两个相邻的第二管道之间，所述导热斗的底部开设有通孔，使用时，溅镀载具产生的部分热量会通过导热斗传导出去，当溅镀载具内部的温度过高时，溅镀载具内部空气会加速运动，并使带有部分热量的空气从通孔排出。

优选的，两个所述凸台相靠近的一侧均为弧形，弧形的凸台能使基板的放置更加方便，以达到方便基板更换的效果。

优选的，所述第一管道和第二管道相互垂直，且相邻的所述第一管道与第二管道之间相互连通，相互垂直且连通的第一管道和第二管道会使冷却管路更加均匀，使得冷却管路能对溅镀载具进行均匀高效的散热。

优选的，所述矩形框架底部的四角均固定安装有导电底座，溅镀载具在溅镀过程中携带的静电可以通过导电底座导出，避免基板在取出过程中对工作人员的损伤。

优选的，所述导出口的高度高于导入口，由于导出口的高度高于导入口，在冷却剂导出时冷却管路的内部会被充满，使得降温效果很好的提高。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)使用时，可以将需要溅镀的基板放入溅镀载具的四个凸台之间，凸台能使基板的放置更加稳定，在溅镀过程中，可以通过控制水泵工作，水泵工作的同时会将冷却剂供应源内部的冷却剂顺着添加管导入溅镀载具左侧的导入口内部，进入导入口的冷却剂随后会流到分流管内部，由于第一管道和第二管道均与分流管连接，进入分流管中的冷却剂会继续流到第一管道和第二管道内部，冷却剂会在第一管道和第二管道内部流动，同时带走溅镀过程中基板的上过多的热量，由于第一管道和第二管道均与汇流管连接，同时冷却管路内部的冷却剂会不断的增加，带有热量的冷却剂随后会流到汇流管内部，由于水泵会一直向溅镀载具内部输送冷却剂，使得冷却管路内部的液压会不断升高，当冷却管路内部液压高于一定时，汇流管内部的冷却剂会顺着导出口流到回流管内部，回流管内部的冷却剂继续流到冷却剂供应源的内部，冷却剂在冷却管路内部流动的同时会带走溅镀载具以及顶部基板的热量，能很好的对基板进行降温，能很好的降低溅镀时溅镀载具的温度，使溅镀载具的温度维持于基本受热的安全值内部，省去将溅镀载具进行静置冷却的程序，且不需要准备多个供替换的溅镀载具，能使溅镀工艺更加简便，且省去了准备大量替换溅镀载具耗费的成本。

(2)所述冷却管路的底部安装有若干个导热斗，所述导热斗位于两个相邻的第一管道和两个相邻的第二管道之间，所述导热斗的底部开设有通孔，使用时，溅镀载具产生的部分热量会通过导热斗传导出去，当溅镀载具内部的温度过高时，溅镀载具内部空气会加速运动，并使带有部分热量的空气从通孔排出。

(3)两个所述凸台相靠近的一侧均为弧形，弧形的凸台能使基板的放置更加方便，以达到方便基板更换的效果。

(4)所述第一管道和第二管道相互垂直，且相邻的所述第一管道与第二管道之间相互连通，相互垂直且连通的第一管道和第二管道会使冷却管路更加均匀，使得冷却管路能对溅镀载具进行均匀高效的散热。

(5)所述矩形框架底部的四角均固定安装有导电底座，溅镀载具在溅镀过程中携带的静电可以通过导电底座导出，避免基板在取出过程中对工作人员的损伤。

(6)所述导出口的高度高于导入口，由于导出口的高度高于导入口，在冷却剂导出时冷却管路的内部会被充满，使得降温效果很好的提高。

附图说明

图1为本实用新型溅镀载具整体结构示意图；

图2为本实用新型溅镀载具降温原理结构示意图；

图3为本实用新型矩形框架内部冷却管路结构示意图；

图4为本实用新型溅镀载具底面结构示意图；

图5为本实用新型图1中a-a处整体结构示意图。

图中标号说明：

1、溅镀载具；2、矩形框架；3、导入口；4、凸台；5、第一管道；6、第二管道；7、导出口；8、添加管；9、水泵；10、冷却剂供应源；11、导热斗；12、通孔；13、回流管；14、分流管；15、汇流管；16、导电底座；17、冷却管路。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-5，一种具有散热功能的溅镀载具，包括溅镀载具1和冷却剂供应源10，溅镀载具1的外侧设有矩形框架2，矩形框架2正面和左侧的内部均开设有分流管14，矩形框架2背面和右侧的内部均开设有汇流管15，矩形框架2的中部连接有冷却管路17，冷却管路17包括若干个相互贯通的第一管道5和第二管道6，第一管道5和第二管道6的两端分别连接于分流管14和汇流管15，矩形框架2顶部的四角均设有凸台4，溅镀载具1正面左侧的凸台4正面开设有导入口3，分流管14与导入口3连接，溅镀载具1右侧背面的凸台4顶部开设有导出口7，汇流管15与导出口7连接，冷却剂供应源10的左侧连接有添加管8，添加管8的中部安装有水泵9，添加管8远离冷却剂供应源10的一端与导入口3连接，冷却剂供应源10的右侧连接有回流管13，回流管13远离冷却剂供应源10的一端与导出口7连接，使用时，可以将需要溅镀的基板放入溅镀载具1的四个凸台4之间，凸台4能使基板的放置更加稳定，在溅镀过程中，可以通过控制水泵9工作，水泵9工作的同时会将冷却剂供应源10内部的冷却剂顺着添加管8导入溅镀载具1左侧的导入口3内部，进入导入口3的冷却剂随后会流到分流管14内部，由于第一管道5和第二管道6均与分流管14连接，进入分流管14中的冷却剂会继续流到第一管道5和第二管道6内部，冷却剂会在第一管道5和第二管道6内部流动，同时带走溅镀过程中基板的上过多的热量，由于第一管道5和第二管道6均与汇流管15连接，同时冷却管路17内部的冷却剂会不断的增加，带有热量的冷却剂随后会流到汇流管15内部，由于水泵9会一直向溅镀载具1内部输送冷却剂，使得冷却管路17内部的液压会不断升高，当冷却管路17内部液压高于一定时，汇流管15内部的冷却剂会顺着导出口7流到回流管13内部，回流管13内部的冷却剂继续流到冷却剂供应源10的内部，冷却剂在冷却管路17内部流动的同时会带走溅镀载具1以及顶部基板的热量，能很好的对基板进行降温，能很好的降低溅镀时溅镀载具1的温度，使溅镀载具1的温度维持于基本受热的安全值内部，省去将溅镀载具1进行静置冷却的程序，且不需要准备多个供替换的溅镀载具1，能使溅镀工艺更加简便，且省去了准备大量替换溅镀载具1耗费的成本。

进一步的，冷却管路17的底部安装有若干个导热斗11，导热斗11位于两个相邻的第一管道5和两个相邻的第二管道6之间，导热斗11的底部开设有通孔12，使用时，溅镀载具1产生的部分热量会通过导热斗11传导出去，当溅镀载具1内部的温度过高时，溅镀载具1内部空气会加速运动，并使带有部分热量的空气从通孔12排出。

进一步的，两个凸台4相靠近的一侧均为弧形，弧形的凸台4能使基板的放置更加方便，以达到方便基板更换的效果。

进一步的，第一管道5和第二管道6相互垂直，且相邻的第一管道5与第二管道6之间相互连通，相互垂直且连通的第一管道5和第二管道6会使冷却管路17更加均匀，使得冷却管路17能对溅镀载具1进行均匀高效的散热。

进一步的，矩形框架2底部的四角均固定安装有导电底座16，溅镀载具1在溅镀过程中携带的静电可以通过导电底座16导出，避免基板在取出过程中对工作人员的损伤。

进一步的，导出口7的高度高于导入口3，由于导出口7的高度高于导入口3，在冷却剂导出时冷却管路17的内部会被充满，使得降温效果很好的提高。

工作原理：使用时，可以将需要溅镀的基板放入溅镀载具1的四个凸台4之间，凸台4能使基板的放置更加稳定，在溅镀过程中，可以通过控制水泵9工作，水泵9工作的同时会将冷却剂供应源10内部的冷却剂顺着添加管8导入溅镀载具1左侧的导入口3内部，进入导入口3的冷却剂随后会流到分流管14内部，由于第一管道5和第二管道6均与分流管14连接，进入分流管14中的冷却剂会继续流到第一管道5和第二管道6内部，冷却剂会在第一管道5和第二管道6内部流动，同时带走溅镀过程中基板的上过多的热量，由于第一管道5和第二管道6均与汇流管15连接，同时冷却管路17内部的冷却剂会不断的增加，带有热量的冷却剂随后会流到汇流管15内部，由于水泵9会一直向溅镀载具1内部输送冷却剂，使得冷却管路17内部的液压会不断升高，当冷却管路17内部液压高于一定时，汇流管15内部的冷却剂会顺着导出口7流到回流管13内部，回流管13内部的冷却剂继续流到冷却剂供应源10的内部，冷却剂在冷却管路17内部流动的同时会带走溅镀载具1以及顶部基板的热量，能很好的对基板进行降温，能很好的降低溅镀时溅镀载具1的温度，使溅镀载具1的温度维持于基本受热的安全值内部，省去将溅镀载具1进行静置冷却的程序，且不需要准备多个供替换的溅镀载具1，能使溅镀工艺更加简便，且省去了准备大量替换溅镀载具1耗费的成本，使用时，溅镀载具1产生的部分热量会通过导热斗11传导出去，当溅镀载具1内部的温度过高时，溅镀载具1内部空气会加速运动，并使带有部分热量的空气从通孔12排出，弧形的凸台4能使基板的放置更加方便，以达到方便基板更换的效果，相互垂直且连通的第一管道5和第二管道6会使冷却管路17更加均匀，使得冷却管路17能对溅镀载具1进行均匀高效的散热，溅镀载具1在溅镀过程中携带的静电可以通过导电底座16导出，避免基板在取出过程中对工作人员的损伤，由于导出口7的高度高于导入口3，在冷却剂导出时冷却管路17的内部会被充满，使得降温效果很好的提高。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

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