一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机的制作方法

本实用新型涉及金属化薄膜加工技术领域，具体涉及一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机。

背景技术：

金属化薄膜电容器是以有机塑料薄膜(常见薄膜材料有：聚乙酯、聚丙烯、聚碳酸酯等)做介质，以金属化薄膜(即在有机塑料薄膜的表面蒸镀一层或多层金属膜代替传统金属箔)做电极，通过卷绕等方法制成的电容器，具有优异的电气性能、高稳定性、长寿命以及体积小等特性，可用于多种场所。但现有的金属化镀膜设备的结构复杂，设备机构易对薄膜和金属镀层造成损伤，且工作效率低，同时，现有金属化镀膜设备由于结构较为复杂，使得需要较大的真空空间，加重了真空泵的负担，增加抽真空能耗，且蒸发源之间无隔离，影响蒸镀效果，申请号为cn201820322468.6的一种锡锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机，解决了以上存在的问题，但其蒸发源的工作温度达到一定程度时，化学性能不稳定，会与熔融金属反应，影响金属化薄膜的蒸镀纯度，同时蒸发源的蒸发量不稳定，造成金属化薄膜的厚度不均匀，不适用于电容器用锌铝复合金属化薄膜的蒸镀。因此，为了避免现有技术中存在的缺点，有必要对现有技术做出改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺点与不足，提供一种工作稳定、蒸镀质量高的电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机。

本实用新型是通过以下的技术方案实现的：

一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第一铝蒸发源与所述锌蒸发源之间设有第一铝锌隔离挡板，所述第二铝蒸发源与锌蒸发源之间设有第二铝锌隔离挡板，所述第一铝锌隔离挡板及第二铝锌隔离挡板均设置在所述冷却主鼓机构的下方，所述第一铝蒸发源的上方设有第一蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第一铝锌隔离挡板与所述第一蒸镀挡板之间形成第一铝蒸镀开口，所述第二铝锌隔离挡板与所述第二蒸镀挡板之间形成第二铝蒸镀开口，所述第一铝蒸发源包括第一氮化硼蒸发舟及第一送丝机构，所述第二铝蒸发源包括第二氮化硼蒸发舟及第二送丝机构，所述第二铝蒸发源与所述第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。

进一步，所述第一氮化硼蒸发舟放置有铝丝。

进一步，所述第二氮化硼蒸发舟放置有铝丝。

进一步，所述锌蒸发源包括铁槽，铁槽内放置有锌料。

进一步，所述锌蒸发源的工作温度为600℃～700℃。

进一步，所述第一氮化硼蒸发舟的工作温度为1000℃～1200℃。

进一步，所述第二氮化硼蒸发舟的工作温度为1000℃～1200℃。

进一步，所述喷氧气机构靠近第二铝蒸镀开口。

相对于现有技术，本实用新型通过第一铝蒸发源包括第一氮化硼蒸发舟及第一送丝机构，第二铝蒸发源包括第二氮化硼蒸发舟及第二送丝机构，第一氮化硼蒸发舟与第二氮化硼蒸发舟的化学性能稳定，高温工作时不会与熔融金属反应，能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，同时第一氮化硼蒸发舟与第二氮化硼蒸发舟的蒸发量稳定可控，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀、厚度可控，第二铝蒸发源蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构喷出的氧气反应，形成al2o3均匀地镀到薄膜上，有效保护金属镀层，同时提高薄膜的耐压强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机的结构示意图。

图中：1-真空室；2-冷却主鼓机构；3-放卷机构；4-收卷机构；5-导辊；6-锌蒸发源；7-第一铝蒸发源；8-第二铝蒸发源；9-第一铝锌隔离挡板；10-第二铝锌隔离挡板；11-第一蒸镀挡板；12-第二蒸镀挡板；13-第一铝蒸镀开口；14-第二铝蒸镀开口；15-第一氮化硼蒸发舟；16-第一送丝机构；17-第二氮化硼蒸发舟；18-第二送丝机构；19-喷氧气机构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示本实用新型的一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室1，真空室1内设有冷却主鼓机构2、放卷机构3及收卷机构4，冷却主鼓机构2与放卷机构3、收卷机构4之间均设有导辊5，冷却主鼓机构2位于放卷机构3与收卷机构4之间的下方，冷却主鼓机构2下方设有锌蒸发源6，锌蒸发源6的两侧分别设有第一铝蒸发源7与第二铝蒸发源8，第一铝蒸发源7与锌蒸发源6之间设有第一铝锌隔离挡板9，第二铝蒸发源8与锌蒸发源6之间设有第二铝锌隔离挡板10，第一铝锌隔离挡板9及第二铝锌隔离挡板10均设置在冷却主鼓机构2的下方，第一铝蒸发源7的上方设有第一蒸镀挡板11，第二铝蒸发源8的上方设有第二蒸镀挡板12，第一铝锌隔离挡板9与第一蒸镀挡板11之间形成第一铝蒸镀开口13，第二铝锌隔离挡板10与第二蒸镀挡板12之间形成第二铝蒸镀开口14，第一铝蒸发源7包括第一氮化硼蒸发舟15及第一送丝机构16，第二铝蒸发源8包括第二氮化硼蒸发舟17及第二送丝机构18，第二铝蒸发源8与第二蒸镀挡板12之间设有喷氧气机构19。通过第一铝蒸发源7包括第一氮化硼蒸发舟15及第一送丝机构16，第二铝蒸发源8包括第二氮化硼蒸发舟17及第二送丝机构18，第一氮化硼蒸发舟15与第二氮化硼蒸发舟17的化学性能稳定，高温工作时不会与熔融金属反应，能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，同时第一氮化硼蒸发舟15与第二氮化硼蒸发舟17的蒸发量可控，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀、厚度可控，第二铝蒸发源8蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构19喷出的氧气反应，形成al2o3均匀地镀到薄膜上，有效保护金属镀层，同时提高薄膜的耐压强度。

第一氮化硼蒸发舟15放置有铝丝，第一氮化硼蒸发舟15上的铝丝受热熔化，铝蒸汽镀到基膜上，第一送丝机构16将8根或10根铝丝送到第一氮化硼蒸发舟15上。

第二氮化硼蒸发舟17放置有铝丝，第二氮化硼蒸发舟17上的铝丝受热熔化，铝蒸汽与喷氧气机构19喷出的氧气反应形成al2o3镀到膜上，第二送丝机构18将8根或10根铝丝送到第二氮化硼蒸发舟17上。

锌蒸发源6包括铁槽，铁槽内放置有锌料，用锌炉加热铁槽内的锌料，锌蒸汽通过锌喷嘴镀到基膜上。

锌蒸发源6的工作温度为600℃～700℃，作为一种具体的实施方式，锌蒸发源6的工作温度为650℃，锌料气化均匀稳定。

第一氮化硼蒸发舟15的工作温度为1000℃～1200℃，作为一种具体的实施方式，第一氮化硼蒸发舟15的工作温度为1100℃，铝丝气化均匀稳定。

第二氮化硼蒸发舟17的工作温度为1000℃～1200℃，作为一种具体的实施方式，第二氮化硼蒸发舟17的工作温度为1100℃，铝丝气化均匀稳定。

喷氧气机构19靠近第二铝蒸镀开口14，喷氧气机构19喷出的氧气量精确可控，容易与第二蒸发舟蒸发17的铝蒸汽充分反应形成均匀的al2o3镀层。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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