一种溅射靶座的制作方法

本发明涉及一种溅射靶座。

背景技术：

现在有的溅射靶座中，具有以下缺点：1、现在市面上的溅射靶座无电机异常检测，这样无法确认其是否在正常工作。2、现有磁钢是一整根的q235铁棒，加工难度大，重量重不方便搬运安装；磁钢是q235材料，表面进行镀镍防锈处理效果不好，容易生锈腐蚀；磁铁是直接吸到q235表面无法灵活更换坏的磁铁。3、现有的靶座在更换靶材的时候，需要4个人把整个靶座和靶材从pvd炉体顶上拆下来，更换好新靶材后再装回去，更换一次需花费4小时，耗时耗力。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种溅射靶座。

本发明通过以下技术方案来实现：

一种溅射靶座，包括电机，所述电机与一不锈钢管相联接，所述不锈钢管外周沿中心线设置有至少两段磁轭，所述磁轭上配合联接有磁铁，所述不锈钢管外周套设在靶材，所述磁轭和磁铁位于靶材内周。

本发明实施例中，还包括一安装板，所述安装板上设置有相配合的主动齿轮和从动齿轮，所述主动齿轮与电机配合联接，所述从动齿轮与旋转主轴配合联接，所述旋转主轴与不锈钢管配合联接。

本发明实施例中，还包括一保护罩，所述保护罩上端与安装板配合联接，所述不锈钢管两端分别联接有上密封盖和下密封盖，所述上密封盖与保护罩下端配合联接，所述靶材两端分别与上密封盖、下密封盖配合联接。

本发明实施例中，所述旋转主轴外周设置有密封模块，所述密封模块包括一本体，所述本体中部设置有一轴向的通孔，所述旋转主轴设置在通孔内，所述通孔的上端和下端均设置有与旋转主轴配合联接的卡簧、轴承和油封，所述卡簧位于本体的上下端，位于通孔同一端的轴承位于卡簧与油封间。

本发明实施例中，所述本体周侧壁是还设置有一径向的穿孔，所述穿孔的一端位于本体外周壁上，所述穿孔的另一端位于通孔上端与下端的油封间。

本发明实施例中，位于安装板上方还设置有支撑板，所述密封模块设置在支撑板与安装板间，所述安装板与支撑板间设置有支撑杆，所述支撑杆位于密封模块外周。

本发明实施例中，还包括一进水管，所述进水管与旋转主轴配合联接，所述进水管外周自上而下依次设置有螺母和导电环。

本发明实施例中，所述安装板下方设置有位于保护罩外周的绝缘安装座。

本发明实施例中，包括相配合的感应器和感应片。

本发明实施例中，所述安装座上设置有与电机相联接的支撑架，所述电机经联轴器与主动齿轮配合联接，所述支撑架上设置有感应器，所述联轴器上设置有感应片。

本发明的一种溅射靶座，具有如下有益效果：1、在实际使用中，将换靶材的时间由原来的4小时候，降至1小时完成。2、每根磁厄的加工成本节省2000元，重量减少9kg。3、提高了磁厄的使用寿命，由原来的2年，提高到4年。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1是本发明的立体图。

图2是本发明的局部示意图一。

图3是本发明的局部示意图二。

图4是本发明中不锈钢管的配合示意图。

图5是本发明中密封模块的示意图一。

图6是本发明中密封模块的示意图二。

图7是本发明使用状态的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本发明至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

参考说明书附图，一种溅射靶座100，包括电机10，所述电机与一不锈钢管20相联接，所述不锈钢管外周沿中心线设置有至少两段磁轭21，所述磁轭上配合联接有磁铁22，所述不锈钢管外周套设在靶材23，所述磁轭和磁铁位于靶材内周，本发明主要将原来的转动件进行更换，降低其重量，也降低制造的难度，同时采用分段的设计，在需要更换维修的时候，大大的减小了时间，提高效率。本发明在一实施例中，采用标准的不锈钢管，替代原来的整根q235磁钢的设计方式，减轻重量、解决生锈腐蚀的问题。磁厄采用分4段设计，再把磁铁吸到磁厄上，磁厄通过螺丝固定到不锈钢管上。分段设计，可以降低加工难度，节省材料和加工成本2000元。当需要更换磁铁的时候，可以把旧磁厄拆下，装上准备好的新磁厄，解决了原来需要一个一个的把磁铁掰下，再一个一个吸上磁铁的过程，节省了磁铁更换时间3小时。本发明很好的采用模块化设计，在把进水管与磁厄部件进行分体设计，当需要更换靶材的时候，只要松开上密封盖和进水管与磁厄的连接螺丝，就可以把靶材从炉体内部搬出来，不需要整个溅射靶座部件从炉顶上拆卸。

进一步的，还包括一安装板30，所述安装板上设置有相配合的主动齿轮11和从动齿轮12，所述主动齿轮与电机配合联接，所述从动齿轮与旋转主轴13配合联接，所述旋转主轴与不锈钢管配合联接，较佳的，旋转主轴与不锈钢管上端采用螺钉的形式相联接。

再进一步的，还包括一保护罩31，所述保护罩上端与安装板配合联接，所述不锈钢管两端分别联接有上密封盖14和下密封盖15，所述上密封盖与保护罩下端配合联接，所述靶材两端分别与上密封盖、下密封盖配合联接，参考说明书附图，靶材的上下端分布位于上密封盖、下密封盖内圈，在一使用中，靶材是不转动的。

本发明一实施例中，所述旋转主轴外周设置有密封模块40，所述密封模块包括一本体41，所述本体中部设置有一轴向的通孔42，所述旋转主轴设置在通孔内，所述通孔的上端和下端均设置有与旋转主轴配合联接的卡簧43、轴承44和油封45，所述卡簧位于本体的上下端，位于通孔同一端的轴承位于卡簧与油封间，具体参考说明书附图。所述本体周侧壁是还设置有一径向的穿孔46，所述穿孔的一端位于本体外周壁上，所述穿孔的另一端位于通孔上端与下端的油封间。参考说明书附图，在一实施例中，电机位于密封模块的旁侧。

具体的说：位于安装板上方还设置有支撑板32，所述密封模块设置在支撑板与安装板间，所述安装板与支撑板间设置有支撑杆33，所述支撑杆位于密封模块外周。

更具体的说：还包括一进水管50，所述进水管与旋转主轴配合联接，所述进水管外周自上而下依次设置有螺母51和导电环52，参考说明书附图，进水管的外周还可以设置有一个磁场方向调节块53，他设置在导电环下方，并位于支撑板上方。所述安装板下方设置有位于保护罩外周的绝缘安装座34，该绝缘安装座主要是在具体使用时与炉体配合联接。

本发明一较佳实施例中，包括相配合的感应器61和感应片62，其主要是用于感测电机是否正常工作，如果电机异常停转的时候，感应器无法在设定的时间周期内感应到感应片，系统自动报警，提示维修人员进行设备检查，解决靶材局部高温引起的结疤、同时也解决了电机不转，引起的镀膜表面不均匀问题。

更详细的说：所述安装座上设置有与电机相联接的支撑架35，所述电机经联轴器16与主动齿轮配合联接，所述支撑架上设置有感应器，所述联轴器上设置有感应片。

本发明主要可以解决以下问题：1、当电机异常停转时，系统及时报警，解决靶材局部高温，引起靶表面结疤，导致镀膜不良。2、解决磁钢重量重不好搬运、不好安装、不好加工的问题、解决磁钢生锈的问题，解决磁铁快速更换的问题。3、解决换靶材费时费力，需要把整个靶部件从炉体顶部拆卸的问题。

本发明在使用中，溅射靶座安装在具有真空腔体201的炉体200顶部，产品300由人工装到挂具400上。挂具在转架电机的带动下进行旋转转动。靶材的可以为：铜、铬、钛、钛铝合金、锆。

上述说明示出并描述了本发明的优选实施例，如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

起点商标作为专业知识产权交易平台，可以帮助大家解决很多问题，如果大家想要了解更多知产交易信息请点击 【在线咨询】或添加微信 【19522093243】与客服一对一沟通，为大家解决相关问题。

此文章来源于网络,如有侵权,请联系删除