一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置。


背景技术：

[0002]
磁控溅射是物理气相沉积（physical vapor deposition，pvd）的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
[0003]
镀膜机在镀膜的时候，镀膜室内设置了安置架，用于放置不用的镀膜件，而该安置架无法拆卸，每次在上料和下料的时候镀膜室的空间有限，限制操作。因此我们对此做出改进，提出一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置。


技术实现要素：

[0004]
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
[0005]
本实用新型一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置，包括镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室，且镀膜室内安装有安置架，所述安置架包括底座、定位圆环、搁置架、转动扣、支撑轴和圆盘，所述底座的表面安装有多个转动扣，且转动扣上固定连接有套座一，所述底座通过支撑轴转动安装在镀膜室内，且底座设置在定位圆环的正下方，所述支撑轴上远离底座的一端垂直连接在圆盘的圆心，且圆盘的外侧与定位圆环通过多个加固杆连接，所述定位圆环的内环处等距离开设有多个卡位槽，且卡位槽分别设置在两个加固杆之间，所述卡位槽内活动设置有套座二，且套座二的一侧设置有卡板，所述卡板与圆盘之间分别通过铰接杆连接，所述搁置架的两端分别连接在转动扣与套座二上，所述镀膜室的一侧安装有箱门。
[0006]
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述转动扣包含定位块与转接块，且定位块固定连接在底座的表面，所述转接块转动连接在底座上，所述转动扣与套座二一一对应设置。
[0007]
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述搁置架上包括主杆和固定板，且固定板沿主杆的长度方向设置，所述主杆的两端分别插入套座一和套座二上，所述套座二为圆形结构，且套座二与卡位槽的形状相匹配。
[0008]
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述卡板为弧形结构，且卡板设置在套座二的表面，所述卡板上远离套座二的一侧连接有移动板。
[0009]
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述铰接杆包含两个支杆，且支杆之间通过转轴转动连接，所述铰接杆的两端分别转动连接有安装块，且安装块分别固定连接在移动板与圆盘上。
[0010]
作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述加固杆之间分别固定连接有限位弧板，且限位弧板与移动板之间通过弹簧连接，所述弹簧设置在铰接杆的下方。
[0011]
本实用新型的有益效果是：该种磨损试验件磁控溅射镀膜装置，通过设置可拆卸搁置架的安置架，能在磨损试验件进行镀膜后，快速更换未镀膜的磨损试验件，而且可拆卸的搁置架，员工能提前对磨损试验件进行摆放，搁置架的两端分别活动连接在两个套座之间，既方便固定又能及时拆卸，顶部通过同样弧度的卡板进行顶撑，弹簧起到弹性支撑的作用，并且通过铰接杆进行限位，支撑的时候更加稳定，使移动板夹持在套座二的外侧，本装置不在需要在镀膜机内码放试验件，可将码放好试验件的搁置架防止的镀膜机内，加快上料和下料的效率。
附图说明
[0012]
图1是本实用新型一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置的结构示意图；
[0013]
图2是本实用新型一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置的安置架侧视结构示意图；
[0014]
图3是本实用新型一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置的安置架俯视结构示意图。
[0015]
图中：1、镀膜机；2、箱门；3、底座；4、支撑轴；5、套座一；6、搁置架；7、定位圆环；8、铰接杆；9、移动板；10、套座二；11、安装块；12、加固杆；13、卡板；14、弹簧；15、圆盘；16、限位弧板；17、转动扣。
具体实施方式
[0016]
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0017]
实施例：如图1-3所示，本实用新型一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置，包括镀膜机1，镀膜机1包括镀膜室，且镀膜室内安装有安置架，安置架包括底座3、定位圆环7、搁置架6、转动扣17、支撑轴4和圆盘15，底座3的表面安装有多个转动扣17，且转动扣17上固定连接有套座一5，底座3通过支撑轴4转动安装在镀膜室内，且底座3设置在定位圆环7的正下方，支撑轴4上远离底座3的一端垂直连接在圆盘15的圆心，且圆盘15的外侧与定位圆环7通过多个加固杆12连接，定位圆环7的内环处等距离开设有多个卡位槽，且卡位槽分别设置在两个加固杆12之间，卡位槽内活动设置有套座二10，且套座二10的一侧设置有卡板13，卡板13与圆盘15之间分别通过铰接杆8连接，搁置架6的两端分别连接在转动扣17与套座二10上，镀膜室的一侧安装有箱门2。
[0018]
其中，转动扣17包含定位块与转接块，且定位块固定连接在底座3的表面，转接块转动连接在底座3上，转动扣17与套座二10一一对应设置，套座二10与转动扣17对搁置架的两端进行固定连接。
[0019]
其中，搁置架6上包括主杆和固定板，且固定板沿主杆的长度方向设置，主杆的两端分别插入套座一5和套座二10上，套座二10为圆形结构，且套座二10与卡位槽的形状相匹配，套座二10能稳定的卡设在卡位槽内。
[0020]
其中，卡板13为弧形结构，且卡板13设置在套座二10的表面，卡板13上远离套座二10的一侧连接有移动板9，通过推动移动板9，从而带动卡板13的移动。
[0021]
其中，铰接杆8包含两个支杆，且支杆之间通过转轴转动连接，铰接杆8的两端分别转动连接有安装块11，且安装块11分别固定连接在移动板9与圆盘15上，铰接杆8对移动板9进行支撑。
[0022]
其中，两个加固杆12之间分别固定连接有限位弧板16，且限位弧板16与移动板9之间通过弹簧14连接，弹簧14设置在铰接杆8的下方，弹簧14对移动板9起到弹性支撑的效果。
[0023]
工作原理：使用本装置时，打开箱门2，在安置架上取出搁置架6，在取出搁置架6的时候，分别推动移动板9在定位圆环7的一侧移动，移动的时候，铰接杆8被挤压，从而移动板9带动卡板13远离套座二10，套座二10得以从卡位槽内取出，并且从搁置架6的主杆上取下来，搁置架6另一端得以活动，从套座一5上取出，搁置架6能取下来，再更换上码放好磨损试验件的搁置架6，搁置架6的一端插入套座一5内，另一端套设有套座二10，再移动套座二10，将套座二10移动到卡位槽内，放开移动板9，使移动板9在弹簧14的弹力支撑下，推动卡板13靠近套座二10，铰接杆8对卡板13的位置进行支撑，套座一5与套座二10上分别开设有圆形的槽，方便活动插入主杆。
[0024]
最后应说明的是：在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0025]
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0026]
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

起点商标作为专业知识产权交易平台，可以帮助大家解决很多问题，如果大家想要了解更多知产交易信息请点击 【在线咨询】或添加微信 【19522093243】与客服一对一沟通，为大家解决相关问题。

此文章来源于网络,如有侵权,请联系删除