一种ALD背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装的制作方法

一种ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装
技术领域
[0001]
本实用新型涉及一种ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，主要应用于ald原子层沉积背钝化设备的划伤问题解决，通过使用硅片配合辅助工装对铝舟的舟齿进行打磨的方式，改善提高铝舟的适用性，解决铝舟的舟齿划伤问题。


背景技术：

[0002]
ald背钝化工艺使用的铝舟在新加工或喷砂清洗后，其接触硅片的舟齿由于表面抛光工艺限制，其表面粗糙度相对较大，容易造成硅片划伤；ald背钝化工艺使用的铝舟材质为氧化铝，其莫氏硬度为9，而单晶硅的莫氏硬度为7，因此硬度较低的单晶硅直接接触氧化铝材质的舟齿时，极易造成划伤。


技术实现要素：

[0003]
实用新型目的：针对现有技术中存在的铝舟在新加工或喷砂清洗后导致的表面粗糙度过大的问题与不足，本实用新型提供一种ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，通过使用硅片配合辅助工装对铝舟的舟齿进行打磨，一方面使舟齿变得平滑，改善提高铝舟的适用性，另一方面相当于使舟齿表面有一层硅的涂层，使得舟齿表面的粗糙度和硬度达到预期。更进一步地延伸：打磨后的铝舟配合现有的工艺饱和能更好地解决铝舟舟齿划伤。
[0004]
技术方案：一种ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，包括载舟平台桌，气缸机构，顶齿机构，以及多片硅片；所述载舟平台桌的桌面用于放置铝舟，桌面上设有用于固定铝舟位置的限位件；所述载舟平台桌下部的两个侧面分别设有一个用于支撑气缸机构的支撑件，两个支撑件高度相同且平行；所述气缸机构设在载舟平台桌的桌面下方，气缸机构包括气缸、导杆和机构底座，所述气缸和导杆的下端均固定在机构底座上，机构底座两端分别设在两个支撑件上，使气缸机构水平设置在支撑件上，且机构底座可在支撑件上水平行移动，所述气缸和导杆的上端均与顶齿机构的下部连接，气缸工作状态下，上下往复式推动顶齿机构沿着导杆上下移动；所述顶齿机构的上部为梳齿状顶齿，顶齿的每个齿槽用于插接一片硅片；所述铝舟下方的桌面上设有与铝舟对应尺寸的桌孔，桌孔用于穿过顶齿，顶齿在气缸的推动下穿入铝舟内的舟齿格中，在气缸的往复式运动下，使顶齿齿槽中的每个硅片同时打磨位于一个舟齿格中的两个相对的上舟齿条中的两个相对的舟齿。
[0005]
所述顶齿齿槽中的硅片与铝舟内每个舟齿条中的舟齿一一对应。
[0006]
所述多个硅片连接为一个梳子状整体，硅片下端插接入顶齿的齿槽中，且梳子状整体通过连接件与顶齿机构连接。
[0007]
所述顶齿的两个相邻齿的间距为0.5mm。
[0008]
所述铝舟每个舟齿条包括100个舟齿，顶齿包括一百个齿槽。
[0009]
所述顶齿为peek板制成的梳齿状结构，两个相邻的齿与齿之间形成一个齿槽。
[0010]
所述舟齿格指的是，从铝舟最边缘的上舟齿条开始，铝舟内相邻两个上舟齿条之
间形成的矩形空间。
[0011]
所述限位件为四个限制铝舟四个底角的定位块。
[0012]
所述支撑件为一个支撑板，支撑板固定在载舟平台桌下部侧面的桌腿上，两个支撑板高度相同，且平行；所述支撑板上开有水平的缝隙，用于插接气缸机构的机构底座端部，且气缸机构在外力的作用下，可使机构底座沿着缝隙水平滑动。
[0013]
有益效果：原来新铝舟上线需要在线大概一周的时间去磨合，4%的划伤降级严重影响产品合格率，损失较大。与现有技术相比，本实用新型所提供的ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，能够使新加工或喷砂清洗后的铝舟在上线后的划伤降至0%，在产品良率以及产能上有比较大的提升。
附图说明
[0014]
图1为本实用新型实施例的立体结构示意图；
[0015]
图2为图1的a部放大示意图；
[0016]
图3为本实用新型实施例的主视图；
[0017]
图4为本实用新型实施例的俯视图；
[0018]
图5为本实用新型实施例的侧视图；
[0019]
图6为本实用新型实施例中硅片、顶齿机构及气缸机构安装示意图；
[0020]
图7为图6的侧视图；
[0021]
图8为顶齿中硅片与上舟齿条的对应关系图。
[0022]
其中，1、载舟平台桌，2、硅片，3、上舟齿条，4、下舟齿条，5、支撑板，6、缝隙，7、机构底座，8、定位块，9、铝舟，10、顶齿，11、导杆，12、气缸，13、舟齿格，14、连接杆。
具体实施方式
[0023]
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型。
[0024]
如图1-8所示，铝舟9的每个上舟齿条3上包括100个舟齿，ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，包括载舟平台桌1，气缸机构，顶齿机构，以及100片硅片2；载舟平台桌1的桌面用于放置铝舟9，桌面上设有四个用于固定铝舟9四个底角的定位块8；载舟平台桌1下部的两个侧面的桌腿上分别设有一个用于支撑气缸机构的支撑板5，两个支撑板5高度相同且平行，支撑板5上开有水平的缝隙6，用于插接气缸机构的机构底座7端部。
[0025]
气缸机构设在载舟平台桌1的桌面下方，气缸机构包括气缸12、导杆11和机构底座7，气缸12和导杆11的下端均固定在机构底座7上，机构底座7两端分别插接在两个支撑板5的缝隙6中，使气缸机构水平设置在支撑件上，且气缸机构在外力的作用下，可使机构底座7沿着缝隙6水平滑动，气缸12和导杆11的上端均与顶齿机构的下部连接，气缸12工作状态下，上下往复式推动顶齿机构沿着导杆11上下移动，导杆11是用于稳定气缸12的运行状态，防止气缸12抖动导致不能正常打磨。
[0026]
顶齿机构的上部为梳齿状顶齿10，顶齿10的每个齿槽用于插接一片硅片，2顶齿10齿槽中的硅片2与铝舟9内每个舟齿条中的舟齿一一对应。铝舟9下方的载舟平台桌1的桌面上设有与铝舟9对应尺寸的桌孔，桌孔用于穿过顶齿10，顶齿10在气缸12的推动下穿入铝舟9内的舟齿格13中，在气缸12的往复式运动下，使顶齿10齿槽中的每个硅片2同时打磨位于
一个舟齿格13中的两个相对的上舟齿条3中的两个相对的舟齿，如图8所示。
[0027]
如图6所示，100片硅片2连接为一个梳子状整体，硅片2下端插接入顶齿10的齿槽中，且梳子状整体通过连接件14与顶齿机构的下部连接，如图5所示。
[0028]
顶齿10包括一百个齿槽，用于分别插入一百个硅片2；顶齿10为peek板制成的梳齿状结构，两个相邻的齿与齿之间形成一个齿槽；顶齿10的两个相邻齿的间距为0.5mm。
[0029]
如图1所示，舟齿格13指的是，从铝舟9最边缘的上舟齿条3开始，铝舟9内相邻两个上舟齿条3之间形成的矩形空间。
[0030]
工作原理：ald背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装是利用硅片2与铝舟9舟齿的摩擦，使舟齿表面光滑，同时在舟齿表面形成一层硅材质的外层。工作过程为：把铝舟9放置在打磨工装上，在工装的齿槽内插入100片硅片2，启动控制顶齿10上下运动的气缸12，使得硅片2与舟齿来回摩擦；每个舟齿格13打磨时间为30min，打磨之后，取下顶齿10，移动气缸机构，换下一格，定位，然后安装上顶齿10，继续打磨；完成打磨后再将铝舟9利用ald背钝化设备进行600圈的饱和，使舟齿表面硬度达到预期。
[0031]
通过顶齿10承托硅片2与舟齿摩擦，每次打磨100个舟齿；直到所有舟齿打磨完成；工装简易灵活性高，可针对性打磨任意槽位。打磨完成后饱和600圈。
[0032]
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

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