一种磁控镀膜仪的制作方法

[0001]
本实用新型涉及一种磁控镀膜仪。


背景技术：

[0002]
溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。现有的磁控镀膜仪体型较大且比较重，当磁控镀膜仪安装完毕后就很不容易移动，这给磁控镀膜仪的使用造成了不便。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的在于提供一种磁控镀膜仪，用于解决现有技术中磁控镀膜仪不方便移动的技术问题。
[0004]
为了实现上述目的，本实用新型提供了一种磁控镀膜仪，采用如下的技术方案：
[0005]
一种磁控镀膜仪包括仪器箱体，所述仪器箱体的底部设置有收纳腔，所述收纳腔内上下导向滑移装配有导向板，所述导向板的底部设置有多个支撑腿，所述仪器箱体的箱底面上一一对应设置有供支撑腿伸出的伸出孔，所述导向板和仪器箱体的箱底之间还设置有多个顶推机构，所述顶推机构用于驱动导向板上行或下行、以实现各支撑腿的伸出或回缩；所述仪器箱体的底部还设置有多个滚动轮。
[0006]
进一步地，各顶推机构均位于对应滚动轮的上方。
[0007]
进一步地，所述顶推机构为液压伸缩缸。
[0008]
进一步地，所述滚动轮包括外圈滚轮和中心滚轮，所述外圈滚轮沿着周向方向间隔设置，所述中心滚轮位于外圈滚轮的内部。
[0009]
进一步地，所述伸出孔位于外圈滚轮的内侧。
[0010]
进一步地，所述收纳腔的高度小于导向板和支撑腿的高度总和。
[0011]
进一步地，所述支撑腿为棱柱状。
[0012]
本实用新型实施例一种磁控镀膜仪与现有技术相比，其有益效果在于：通过采用本实用新型的磁控镀膜仪，当需要移动时，通过顶推机构向上顶推导向板，导向板会带动各支撑腿上行并直至各支撑腿的底部高于各滚动轮的底部，此时各滚动轮与地面接触，然后通过推动磁控镀膜仪即可实现移动；当移动到位后，再次通过顶推机构向下拉拽导向板，导向板会带动各支撑腿从伸出孔处伸出并直至将各滚动轮顶起，此时即实现磁控镀膜仪的固定。本实用新型的磁控镀膜仪方便了移动，给仪器的使用带来了便利。
附图说明
[0013]
图1是本实用新型实施例的磁控镀膜仪的固定状态示意图；
[0014]
图2是本实用新型实施例的磁控镀膜仪的移动状态示意图；
[0015]
图3是本实用新型实施例的磁控镀膜仪的导向板和支撑腿结构示意图。
[0016]
图中，1-仪器箱体，2-收纳腔，3-导向板，4-支撑腿，5-顶推机构，6-滚动轮。
具体实施方式
[0017]
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0018]
如图1至图3所示，本实用新型实施例优选实施例的一种磁控镀膜仪。磁控镀膜仪包括仪器箱体1，所述仪器箱体1的底部设置有收纳腔2，所述收纳腔2内上下导向滑移装配有导向板3，所述导向板3的底部设置有多个支撑腿4，所述仪器箱体1的箱底面上一一对应设置有供支撑腿4伸出的伸出孔，所述导向板3和仪器箱体1的箱底之间还设置有多个顶推机构5，所述顶推机构5用于驱动导向板3上行或下行、以实现各支撑腿4的伸出或回缩；所述仪器箱体1的底部还设置有多个滚动轮6。
[0019]
根据本实用新型的一个实施例，各顶推机构5均位于对应滚动轮6的上方。具体而言，本实施例中各顶推机构5的下方均设置有一个滚动轮6，这样滚动轮6可以起到支撑作用，从而避免了顶推机构5伸展时容易造成仪器箱体1的底部变形的情况。
[0020]
根据本实用新型的一个实施例，所述顶推机构5为液压伸缩缸。具体而言，液压伸缩缸具有自锁功能，当顶推机构5伸展后可以实现对导向板3位置的固定。
[0021]
根据本实用新型的一个实施例，所述滚动轮6包括外圈滚轮和中心滚轮，所述外圈滚轮沿着周向方向间隔设置，所述中心滚轮位于外圈滚轮的内部。具体而言，这样的布置能够全面的对仪器箱体1的底部进行支撑，避免了局部不能支撑而容易造成底部变形的情况。
[0022]
根据本实用新型的一个实施例，所述伸出孔位于外圈滚轮的内侧。
[0023]
根据本实用新型的一个实施例，所述收纳腔2的高度小于导向板3和支撑腿4的高度总和。具体而言，这样的结构设计使得支撑腿4并不能完全收纳至收纳腔2内，支撑腿4始终有一部分会从伸出孔处伸出，从而起到封堵伸出孔的作用，避免了外界杂物从伸出孔处进入收纳腔2的情况。
[0024]
根据本实用新型的一个实施例，所述支撑腿4为棱柱状。具体而言，本实施例中支撑腿4为四棱柱状，对应的，各伸出孔也为矩形孔。本实施例中在导向板3的底部共设置有四个支撑腿4，具体如图3所示。
[0025]
综上，本实用新型实施例提供一种磁控镀膜仪，其通过采用本实用新型的磁控镀膜仪，当需要移动时，通过顶推机构5向上顶推导向板3，导向板3会带动各支撑腿4上行并直至各支撑腿4的底部高于各滚动轮6的底部，此时各滚动轮6与地面接触，然后通过推动磁控镀膜仪即可实现移动；当移动到位后，再次通过顶推机构5向下拉拽导向板3，导向板3会带动各支撑腿4从伸出孔处伸出并直至将各滚动轮6顶起，此时即实现磁控镀膜仪的固定。本实用新型的磁控镀膜仪方便了移动，给仪器的使用带来了便利。
[0026]
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

起点商标作为专业知识产权交易平台，可以帮助大家解决很多问题，如果大家想要了解更多知产交易信息请点击 【在线咨询】或添加微信 【19522093243】与客服一对一沟通，为大家解决相关问题。

此文章来源于网络,如有侵权,请联系删除