一种等离子废气处理系统的制作方法

本发明属于废气处理技术领域，具体为一种等离子废气处理系统。

背景技术：

工业废气处理是改善大气污染问题，推动绿色、循环、低碳发展的关键，传统的废气处理采用的是天然气燃烧处理的方式，这种方式成本较高，且本身会产生大量二氧化碳温室气体的排放，尾气处理率并不理想，且对含氟等废气无法处理，有很多局限性。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于设计提供一种等离子废气处理系统的技术方案，利用等离子产生2000-12000℃火炬，通过高温对废气进行燃烧，大幅度提升处理率，处理率能达到99%，使废气分解为无污染气体，其处理高效，稳定可靠,运维成本低。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于包括反应腔,反应腔内配合设置等离子体发生器，等离子体发生器上设置工艺进气口，反应腔底部出口与初级水洗系统配合连接，初级水洗系统出口分别与次级水洗冷却系统、过滤系统配合连接；还包括水幕系统，水幕系统的水幕法兰固定安装在反应腔顶部，水幕法兰下方形成的水幕墙位于反应腔内；水幕系统、等离子体发生器、初级水洗系统、次级水洗冷却系统、过滤系统与电气控制器电控配合。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于所述的过滤系统包括依次配合连接的初级过滤系统、后段水洗过滤系统、水气颗粒吸附过滤系统，各个接口采用简易快拆抱箍配合连接。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于初级水洗系统包括初级水洗腔体，初级水洗腔体内设置左端设置横向高流量喷嘴、顶部设置纵向高流量喷嘴，横向高流量喷嘴、顶部设置纵向高流量喷嘴喷射螺旋雾状喷流。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于等离子体发生器设置四个或六个独立的工艺进气口，等离子体发生器的离子体炬长度为150-300mm。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于水幕墙的长度为500-700mm，水幕法兰内外表面喷涂特氟龙涂层。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于后段水洗过滤系统包括后段水洗过滤腔体，后段水洗过滤腔体内设置一组高流量水洗喷嘴和大量非金属拉西环，后段水洗过滤腔体内设置温度传感器一、负压监测传感器，后段水洗过滤腔体连接设置cda进气口。

所述的一种等离子废气处理系统，其特征在于次级水洗冷却系统包括次级水洗冷却腔体，次级水洗冷却腔体内设置循环换热器、温度传感器二，次级水洗冷却腔体外部设置液体泄漏监控装置，次级水洗冷却腔体内部整体喷涂特氟龙涂层。

上述一种等离子废气处理系统，为了处理生产过程产生的sih4、nh3、tma、n2o、h2、cf4、nf3、ash3、ph3、hf、hcl、sif4、sf6等各种工业废气，实现无害排放，该系统利用等离子产生2000-12000℃火炬，通过高温对废气进行燃烧，大幅度提升处理率，处理率能达到99%，使废气分解为无污染气体；其处理高效，稳定可靠,运维成本低。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的电气控制框图；

图3为本实用新型反应腔的剖面结构示意图；

图4为本实用新型初级水洗系统的结构示意图；

图5为本实用新型后段水洗过滤系统的结构示意图；

图6为本实用新型次级水洗冷却系统的结构示意图；

图中：1-等离子体发生器、101-工艺进气口；2-水幕系统、201-水幕法兰、202-水幕墙；3-反应腔、4-初级水洗系统、401-初级水洗腔体、402-横向高流量喷嘴、403-纵向高流量喷嘴；5-次级水洗冷却系统、501-次级水洗冷却腔体、502-循环换热器、503-温度传感器二、504-液体泄漏监控装置；6-过滤系统、601-初级过滤系统；602-后段水洗过滤系统、602a-cda进气口、602b-高流量水洗喷嘴、602c-后段水洗过滤腔体、602d-非金属拉西环、602e-温度传感器一、602f-负压监测传感器；603-水气颗粒吸附过滤系统、7-电气控制器。

具体实施方式

以下结合说明书附图对本实用新型作进一步说明。

如图所示，该一种等离子废气处理系统，包括反应腔3,反应腔3内配合设置等离子体发生器1，等离子体发生器1上设置工艺进气口101，反应腔3底部出口与初级水洗系统4配合连接，初级水洗系统4出口分别与次级水洗冷却系统5、过滤系统6配合连接；还包括水幕系统2，水幕系统2的水幕法兰201固定安装在反应腔3顶部，水幕法兰201下方形成的水幕墙202位于反应腔3内；水幕系统2、等离子体发生器1、初级水洗系统4、次级水洗冷却系统5、过滤系统6与电气控制器7电控配合。电气控制器7包括下位机plc控制系统的程序设计，以及人机界面hmi触摸屏的程序设计。电气控制器7会从多点温度监测、压力容器、压力监测、实时报警、历史报警、安全互锁、危险标识等多方面因素形成安全机制，保证客户安全生产。

进一步的，所述的过滤系统6包括依次配合连接的初级过滤系统601、后段水洗过滤系统602、水气颗粒吸附过滤系统603，各个接口采用简易快拆抱箍配合连接，便于进行维护。多级过滤系统依次有独特设计，保证了固体颗粒不被带入次级废气处理系统或大气中，减少pm2.5的排放。

进一步的，初级水洗系统4包括初级水洗腔体401，初级水洗腔体401内设置左端设置横向高流量喷嘴402、顶部设置纵向高流量喷嘴403，横向高流量喷嘴402、顶部设置纵向高流量喷嘴403喷射螺旋雾状喷流，与反应气体及颗粒充分混合接触，并冲洗系统管道，防止颗粒沉积，达到水洗的目的，如图5所示。

进一步的，等离子体发生器1设置四个或六个独立的工艺进气口101，工艺进气口101直接进入等离子区后被高温氧化分解；离子体炬长度为150-300mm（随氮气流量变化）；等离子体炬的中心溫度为10,000℃；使用寿命6个月以上；电极易拆便维护；整个装置设计有内置水道；保证装置的冷却；整体采用316l材质制作；电力8-20kw连续可调；氮气流量60-100slm，如图3所示。

进一步的，水幕墙202的长度为500-700mm，延长氧化颗粒滞留的时间，阻止氧化颗粒沉积附着；水幕法兰201内外表面喷涂特氟龙涂层，防止其被腐蚀。等离子体区冲离粉尘水流沿腔体内壁均匀流动，冲洗反应生成的固体颗粒，保证反应腔内壁清洁在高温区形成水蒸气水幕形成区域与等离子体炬区域相近，水幕在高温的作用下能够形成大量水蒸气，利于水溶性气体的溶解反应，提高处理效率。

进一步的，后段水洗过滤系统602包括后段水洗过滤腔体602c，后段水洗过滤腔体602c内设置一组高流量水洗喷嘴602b，能够喷出大量环形水流；还设置大量非金属拉西环602d，主要用于吸附水气。后段水洗过滤腔体602c内设置温度传感器一602e，如果检测到气流温度超过设定值，即反馈报警信号；后段水洗过滤腔体602c内负压监测传感器602f，如果负压不够，即反馈报警信号。后段水洗过滤腔体602c连接设置cda进气口602a，对出气口气体进行稀释，防止在厂务管道中发生危险，如图6所示。

进一步的，次级水洗冷却系统5包括次级水洗冷却腔体501，实现自动排水的功能。次级水洗冷却腔体501内设置循环换热器502、温度传感器二503，循环换热器502对内部循环水进行冷却，冷却管路采用cpvc材质。次级水洗冷却腔体501外部设置液体泄漏监控装置504，次级水洗冷却腔体501内部整体喷涂特氟龙涂层，防强酸腐蚀；温度传感器二503监控内部循环水温度。

本实用新型的工作过程如下所述：

工业废气通过工艺进气口101进入反应腔3，等离子体发生器1激发出火炬，产生高温，在反应腔3中通入氧气，工业废气在高温激发下发生氧化反应，分解成无害气体、水及颗粒物；经过初级水洗系统4将反应产生的生成物带入次级水冷冷却系统5，次级水洗冷却系统5实现自动排水的功能，排入废水处理系统中；反应腔3产生的废气依次经过初级过滤系统601、后段水洗过滤系统602、水气颗粒吸附过滤系统603排放至次级废气处理系统或排放掉。

起点商标作为专业知识产权交易平台，可以帮助大家解决很多问题，如果大家想要了解更多知产交易信息请点击 【在线咨询】或添加微信 【19522093243】与客服一对一沟通，为大家解决相关问题。

此文章来源于网络,如有侵权,请联系删除