节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统的制作方法

[0001]
本实用新型是关于一种节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，涉及一种当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温之现象，甚至导致停机的情形发生，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。


背景技术：

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目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(voc)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(voc)的处理设备，以避免挥发性有机气体(voc)直接排入空气中而造成空气污染。
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但是近年来，国内外都对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上制定了有关大气质量标准，同时将依国际管制趋势发展，逐期检讨。
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因此，本实用新型鉴于上述缺陷，提出一种具有提升有机废气处理效率的节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，使用户可轻易操作组装，是发明人潜心研思、设计组制，为使用者提供了便利性。


技术实现要素：

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本实用新型的主要目的，在于提供一种节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，主要用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(to)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第一冷侧输送管路、一吸附转轮及一烟囱，并通过在脱附浓缩气体管路与第一冷侧输送管路之间或在脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过冷侧比例风门来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的实用性。
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本实用新型的另一个目的，在于提供一种节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，通过在脱附浓缩气体管路与第一冷侧输送管路之间所增设的冷侧比例风门，当第一冷侧输送管路内的挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该冷侧比例风门来该脱附浓缩气体管路内的部份脱附浓缩气体输送到第一冷侧输送管路内，使第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体能与脱附浓缩气体管路内的部份脱附浓缩气体再一次的混合，使温度较低的脱附浓缩气体管路内的部份脱附浓缩气体能让温度较高的第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体进行降温，因此，具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的使用性。
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本实用新型的另一个目的，在于提供一种节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，通过在该脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，而冷侧比例风门的另一端供外气进入，其中外气可为新鲜空气或是其他气体，以当由该吸附转轮的脱附区所产生的脱附浓缩
气体在进入脱附浓缩气体管路后，且脱附浓缩气体管路内的温度变得较高或是浓度变得较高时，可通过该冷侧比例风门的另一端所输入外气来进行调节，使脱附浓缩气体管路内的脱附浓缩气体能达到降温的效果或是浓度降低的效果，进而增加整体的操作性。
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为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，附图仅用于参考与说明，不用于限制本实用新型。
附图说明
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图1为本实用新型的第一热交换器设在第二热交换器右边的系统架构示意图。
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图2为本实用新型的第一热交换器设在第二热交换器左边的系统架构示意图。
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图3为本实用新型的第一热交换器设在第二热交换器右边的另一系统架构示意图。
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图4为本实用新型的第一热交换器设在第二热交换器左边的另一系统架构示意图。
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附图标记：
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10：直燃式焚烧炉(to)；101：炉头；102：炉膛；11：入口；12：出口；20：第一热交换器；21：第一冷侧管路；22：第一热侧管路；23：第一冷侧输送管路；30：第二热交换器；31、第二冷侧管路；32、第二热侧管路；60：吸附转轮；601：吸附区；602：冷却区；603：脱附区；61：废气进气管路；611：废气连通管路；6111：废气连通控制阀门；62：净气排放管路；621：净气连通管路；6211：净气连通控制阀门；63：冷却气进气管路；64：冷却气输送管路；65：热气输送管路；66：脱附浓缩气体管路；661：风机；80：烟囱；901：冷侧比例风门；904：冷侧比例风门。
具体实施方式
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请参阅图1至图4，图1至图4为本实用新型实施例的的示意图。而本实用新型的节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统的最佳实施方式的运用在半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
[0016]
而本实用新型的节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，主要包括有一直燃式焚烧炉(to)10、一第一热交换器20、一第二热交换器30、一第一冷侧输送管路23、一吸附转轮60及一烟囱80的组合设计(如图1及图4所示)，其中第一热交换器20设有第一冷侧管路21及第一热侧管路22，第二热交换器30设有第二冷侧管路31及第二热侧管路32。直燃式焚烧炉(to)10设有一炉头101及一炉膛102，炉头101与炉膛102相通，且第一热交换器20及第二热交换器30分别设在直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102内，而直燃式焚烧炉(to)10设有入口11及出口12(如图1及图4所示)，且入口11设在炉头101处，并入口11与第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端连接，再者，出口12则设在炉膛102处，而出口12连接至烟囱80，藉此，使有机废气能由入口11来进入炉头101内进行燃烧，再让经过燃烧后的气体能穿过炉膛102并由出口12来排出至烟囱80处进行排放，以具有节省能源的效能。
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且上述第一热交换器20具有两种实施方式，其中第一种实施方式是将第一热交换器20设在第二热交换器30右边(如图1及图3所示)，使直燃式焚烧炉(to)10的炉头101能将
经过焚烧的高温气体先输送到第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧以进行热交换，之后再由第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，最后由第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧来输送到炉膛102的出口12(如图1及图2所示)，再由炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以通过烟囱80来进行排放。
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再者，第二种实施方式是将第一热交换器20设在第三热交换器40左边(如图2及图4所示)，使直燃式焚烧炉(to)10的炉头101能将经过焚烧的高温气体先输送到第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，且由第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧以进行热交换，之后再由第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到炉膛102的出口12(如图3及图4所示)，再由炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以通过烟囱80来进行排放。
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本实用新型的吸附转轮60设有吸附区601、冷却区602及脱附区603，吸附转轮60连接有一废气进气管路61、一净气排放管路62、一冷却气进气管路63、一冷却气输送管路64、一热气输送管路65及一脱附浓缩气体管路66，(如图1及图4所示)。其中吸附转轮60为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮。
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其中废气进气管路61的一端连接至吸附转轮60的吸附区601的一侧，使废气进气管路61能将有机废气输送到吸附转轮60的吸附区601的一侧，而净气排放管路62的一端与吸附转轮60的吸附区601的一侧连接，净气排放管路62的一端来与烟囱80连接，且净气排放管路62设有一风机621(如图3及图4所示)，使能通过风机621来将净气排管路62内的经过吸附后的气体推拉到烟囱80内以进行排放。
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吸附转轮60的冷却区602的一侧连接冷却气进气管路63，以供气体进入吸附转轮60的冷却区602来进行冷却使用(如图1及图4所示)，而吸附转轮60的冷却区602的一侧连接冷却气输送管路64的一端，冷却气输送管路64的一端则与第二热交换器30的第二冷侧管路31的一端连接，以将进入吸附转轮60的冷却区602后的气体输送到第二热交换器30内进行热交换(如图1及图4所示)，再者，热气输送管路65的一端与吸附转轮60的脱附区603的一侧连接，且热气输送管路65的一端与第二热交换器30的第二冷侧管路31的一端连接，以能将经由第二热交换器30进行热交换的高温热气通过热气输送管路65来输送到吸附转轮60的脱附区603来进行脱附使用。
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而上述吸附转轮60的冷却区602设有两种实施方式，其中第一种实施方式为吸附转轮60的冷却区602的一侧所连接的冷却气进气管路63是供新鲜空气或外气进入(如图1所示)，通过新鲜空气或外气来提供吸附转轮60的冷却区602降温用。第二种实施方式废气进气管路61设有一废气连通管路611，而废气连通管路611的一端与冷却气进气管路63连接(如图2及图4所示)，以能通过废气连通管路611来将废气进气管路61内的废气输送到吸附转轮60的冷却区602以进行降温使用，废气连通管路611设有一废气连通控制阀门6111，以控制废气连通管路611的风量。
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脱附浓缩气体管路66的一端与吸附转轮60的脱附区603的一侧连接，而脱附浓缩气体管路66的一端与第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端连接，其中第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端与第一冷侧输送管路23的一端连接，而第一冷侧输送管路23的一
端则与直燃式焚烧炉(to)10的入口11连接，以能将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体能通过脱附浓缩气体管路66来输送到第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端内，且由第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端来输送到直燃式焚烧炉(to)10的入口11内(如图1及图4所示)，使能让直燃式焚烧炉(to)10的炉头101来进行高温裂解，以能减少挥发性有机化合物。脱附浓缩气体管路66设有一风机661，以能将脱附浓缩气体来推拉进入第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端内。
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再者，本实用新型的节能型单转轮冷侧旁通过温控制系统，主要是有二种的实施例，而二种的实施例中的直燃式焚烧炉(to)10、第一热交换器20、第二热交换器30、第一冷侧输送管路23、吸附转轮60及烟囱80是采相同的设计，因此，上述的直燃式焚烧炉(to)10、第一热交换器20、第二热交换器30、第一冷侧输送管路23、吸附转轮60及烟囱80内容不在重复，请参考上述的说明内容。
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其中第一种实施例(如图1及图2所示)的差异为在脱附浓缩气体管路66与第一冷侧输送管路23之间增设一冷侧比例风门901，而冷侧比例风门901的一端与脱附浓缩气体管66路连接，且冷侧比例风门901的一端与第一冷侧输送管路23连接，以通过冷侧比例风门901来调控脱附浓缩气体管路66与第一冷侧输送管路23的风量，因此，当第一冷侧输送管路23内的挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过冷侧比例风门901来将脱附浓缩气体管路66内的部份脱附浓缩气体输送到第一冷侧输送管路23内，使第一冷侧输送管路23内的脱附浓缩气体能与脱附浓缩气体管路66内的部份脱附浓缩气体再一次的混合，使温度较低的脱附浓缩气体管路66内的部份脱附浓缩气体能让温度较高的第一冷侧输送管路23内的脱附浓缩气体进行降温，藉此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过冷侧比例风门901来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)10不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
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第二种实施例(如图3及图4所示)的差异是在脱附浓缩气体管路66上增设一冷侧比例风门904，而冷侧比例风门904的一端供外气进入，其中外气可为新鲜空气或是其他气体，以通过冷侧比例风门904来调控脱附浓缩气体管路66的风量。外，在脱附浓缩气体管路66设有风机661时，冷侧比例风门904是设在风机661的上游，即风机661的入口处，以形成负压状态，才能让外气由冷侧比例风门904来进入。因此，当由吸附转轮60的脱附区603所产生的脱附浓缩气体在进入脱附浓缩气体管路66后，且脱附浓缩气体管路66内的温度变得较高或是浓度变得较高时，可通过冷侧比例风门904的一端所输入外气来进行调节，使脱附浓缩气体管路66内的脱附浓缩气体能达到降温的效果或是浓度降低的效果。
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根据以上详细说明，可使熟知本领域技术的人员明白本实用新型可达到上述目的，符合专利法的规定。
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上述内容仅为本实用新型的可选实施例，不能以此限定本实用新型实施的范围，因此本实用新型申请专利范围及创作说明书内容所作的简单的等效变化与改进，皆应属本实用新型专利申请的保护范围内。

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