节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统的制作方法

[0001]
本实用新型有关于一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，涉及一种当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。


背景技术：

[0002]
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(voc)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(voc)的处理设备，以避免挥发性有机气体(voc)直接排入空气中而造成空气污染。
[0003]
但是近年来，国家对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上制定了有关大气质量标准，同时将根据国际管制趋势发展，逐期检讨。
[0004]
因此，本实用新型有鉴于上述问题，希望能提出一种具有提升有机废气处理效率的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，使用户可轻易操作组装，为使用者提供便利，为本实用新型研发的目的。


技术实现要素：

[0005]
本实用新型的主要目的，在于提供一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，主要用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(to)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，并透过在该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间或是在该第一脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的实用性。
[0006]
本实用新型的另一目的，在于提供一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，透过在该第一脱附浓缩气体管路与该第一冷侧输送管路之间所增设的冷侧比例风门，以当该第一冷侧输送管路内的挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门来将该第一脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体输送到该第一冷侧输送管路内，使该第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体能与该第一脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体再一次的混合，使温度较低的该第一脱附浓缩气体管路内的部分脱附浓缩气体能让温度较高的该第一冷侧输送管路内的脱附浓缩气体进行降温，因此，以具有调节热回收量或浓度之效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的使用性。
[0007]
本实用新型的次一目的，在于提供一种节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，透过在该第一脱附浓缩气体管路上增设一冷侧比例风门，而该冷侧比例风门的另一端供外气
进入，其中该外气可为新鲜空气或是其他气体，以当由该第一吸附转轮的脱附区所产生的脱附浓缩气体在进入该第一脱附浓缩气体管路后，且该第一脱附浓缩气体管路内的温度变得较高或是浓度变得较高时，可透过该冷侧比例风门的另一端所输入外气来进行调节，使该第一脱附浓缩气体管路内的脱附浓缩气体能达到降温的效果或是浓度降低的效果，进而增加整体的操作性。
[0008]
为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参照以下有关本实用新型的详细说明与附图，另所附附图仅用以提供参考与说明，并非用以限制本实用新型。
附图说明
[0009]
图1为本实用新型的第一热交换器设在该第二热交换器旁边的第一种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
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图2为本实用新型的第一热交换器设在该第二热交换器旁边的第二种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
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图3为本实用新型的第一热交换器设在该第三热交换器旁边的第一种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图；
[0012]
图4为本实用新型的第一热交换器设在该第三热交换器旁边的第二种实施态样的冷侧比例风门的系统架构示意图。
[0013]
附图符号说明：
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直燃式焚烧炉(to)10；炉头101；炉膛102；入口1；出口12；第一热交换器20；第一冷侧管路21；第一热侧管路22；第一冷侧输送管路23；第二热交换器30；第二冷侧管路31；第二热侧管路32；第三热交换器40；第三冷侧管路41；第三热侧管路42；第一吸附转轮60；吸附区601；冷却区602；脱附区603；废气进气管路61；废气连通管路611；废气连通控制阀门6111；第一净气排放管路62；第一净气连通管路621；第一净气连通控制阀门6211；第一冷却气进气管路63；第一冷却气输送管路64；第一热气输送管路65；第一脱附浓缩气体管路66；风机661；第二吸附转轮70；吸附区701；冷却区702；脱附区703；第二净气排放管路71；风机711；第二冷却气进气管路72；第二冷却气输送管路73；第二热气输送管路74；第二脱附浓缩气体管路75；风机751；烟囱80；冷侧比例风门901；冷侧比例风门904
具体实施方式
[0015]
请参照图1至图4，为本实用新型实施例的示意图。而本实用新型的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统的较佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
[0016]
而本实用新型的实施架构的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，主要包括有一直燃式焚烧炉(to)10、一第一热交换器20、一第二热交换器30、一第三热交换器40、一第一冷侧输送管路23、一第一吸附转轮60、一第二吸附转轮70及一烟囱80的组合设计(如图1至图4所示)，其中该第一热交换器20设有第一冷侧管路21及第一热侧管路22，该第二热交换
器30设有第二冷侧管路31及第二热侧管路32，该第三热交换器40设有第三冷侧管路41及第三热侧管路42。另该直燃式焚烧炉(to)10设有一炉头101及一炉膛102，该炉头101与该炉膛102相通，且该第一热交换器20、第二热交换器30及第三热交换器40分别设在该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102内，而该直燃式焚烧炉(to)10设有入口11及出口12(如图1至图4所示)，且该入口11设在该炉头101处，另该出口12则设在该炉膛102处，而该出口12连接至该烟囱80，因此，使该有机废气能由该入口11来进入该炉头101内进行燃烧，再让经过燃烧后的气体能穿过该炉膛102并由该出口12来排出至烟囱80处进行排放，以具有节省能源的效能。
[0017]
且该上述第一热交换器20具有两种实施方式，其中第一种实施方式是将第一热交换器20设在该第二热交换器30旁边(如图1及图2所示)，使该直燃式焚烧炉(to)10的炉头101能将经过焚烧的高温气体先输送到该第三热交换器40的第三热侧管路42的一侧以进行热交换，再由该第三热交换器40的第三热侧管路42的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧以进行热交换，之后再由该第二热交换器30的第二热侧管路32的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，最后由该第一热交换器20的第一热侧管路22的另一侧来输送到该炉膛102的出口12(如图1及图2所示)，再由该炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以透过该烟囱80来进行排放。
[0018]
再者，另第二种实施方式是将第一热交换器20设在该第三热交换器40旁边(如图3及图4所示)，使该直燃式焚烧炉(to)10的炉头101能将经过焚烧的高温气体先输送到该第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，且由该第一热交换器20的第一热侧管路22的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第三热交换器40的第三热侧管路42的一侧以进行热交换，再由该第三热交换器40的第三热侧管路42的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧以进行热交换，之后再由该第二热交换器30的第二热侧管路32的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该炉膛102的出口12(如图3及图4所示)，再由该炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以透过该烟囱80来进行排放。
[0019]
另本实用新型的第一吸附转轮60设有吸附区601、冷却区602及脱附区603，该第一吸附转轮60连接有一废气进气管路61、一第一净气排放管路62、一第一冷却气进气管路63、一第一冷却气输送管路64、一第一热气输送管路65及一第一脱附浓缩气体管路66，(如图1至图4所示)而该第二吸附转轮70设有吸附区701、冷却区702及脱附区703，该第二吸附转轮70连接有一第二净气排放管路71、一第二冷却气进气管路72、一第二冷却气输送管路73、一第二热气输送管路74及一第二脱附浓缩气体管路75。其中该第一吸附转轮60与该第二吸附转轮70分别为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮。
[0020]
其中该废气进气管路61的一端连接至该第一吸附转轮60的吸附区601的一侧，使该废气进气管路61能将有机废气输送到该第一吸附转轮60的吸附区601的一侧，而该第一净气排放管路62的一端与该第一吸附转轮60的吸附区601的另一侧连接，且该第一净气排放管路62的一端连接至该第二吸附转轮70的吸附区701的一侧，以让该有机废气能经该第一吸附转轮60的吸附区601进行吸附有机物后再由该第一净气排放管路62来输送到该第二吸附转轮70的吸附区701内(如图1至图4所示)。另该第二吸附转轮70的吸附区701的另一侧连接该设第二净气排放管路71，以透过该第二净气排放管路71的另一端来与该烟囱80连
接，且该第二净气排放管路71设有一风机711(如图2及图4所示)，使能透过该风机711来将该第二净气排管路71内的经过吸附后的气体推拉到该烟囱80内以进行排放。
[0021]
另该第一吸附转轮60的冷却区602的一侧连接该第一冷却气进气管路63，以供气体进入该第一吸附转轮60的冷却区602来进行冷却使用(如图1至图4所示)，而该第一吸附转轮60的冷却区602的另一侧连接该第一冷却气输送管路64的一端，该第一冷却气输送管路64的另一端则与该第三热交换器40的第三冷侧管路41的一端连接，以将进入该第一吸附转轮60的冷却区602后之气体输送到该第三热交换器40内进行热交换(如图1至图4所示)，再者，该第一热气输送管路65的一端与该第一吸附转轮60的脱附区603的另一侧连接，且该第一热气输送管路65的另一端与该第三热交换器40的第三冷侧管路41的另一端连接，以能将经由该第三热交换器40进行热交换的高温热气透过该第一热气输送管路65来输送到该第一吸附转轮60的脱附区603来进行脱附使用。
[0022]
而上述该第一吸附转轮6的冷却区602设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第一吸附转轮60的冷却区602的一侧所连接的第一冷却气进气管路63是供新鲜空气或外气进入(如图1所示)，透过该新鲜空气或外气来提供该第一吸附转轮60的冷却区602降温用。另第二种实施方式该废气进气管路61设有一废气连通管路611，而该废气连通管路611的另一端与该第一冷却气进气管路63连接(如图2所示)，以能透过该废气连通管路611来将该废气进气管路61内的废气输送到该第一吸附转轮60的冷却区602以进行降温使用，另该废气连通管路611设有一废气连通控制阀门6111，以控制该废气连通管路611的风量。
[0023]
另该第二吸附转轮70的冷却区702的一侧连接该第二冷却气进气管路72，以供气体进入该第二吸附转轮70的冷却区702来进行冷却使用(如图1至图4所示)，而该第二吸附转轮70的冷却区702的另一侧连接该第二冷却气输送管路73的一端，该第二冷却气输送管路73的另一端则与该第二热交换器30的第二冷侧管路31的一端连接，以将进入该第二吸附转轮70的冷却区702后的气体输送到该第二热交换器30内进行热交换(如图1至图4所示)，再者，该第二热气输送管路74的一端与该第二吸附转轮70的脱附区703的另一侧连接，且该第二热气输送管路74的另一端与该第二热交换器30的第二冷侧管路31的另一端连接，以能将经由该第二热交换器30进行热交换的高温热气透过该第二热气输送管路74来输送到该第二吸附转轮70的脱附区703来进行脱附使用。
[0024]
而上述该第二吸附转轮70的冷却区702设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第二吸附转轮70的冷却区702的一侧所连接的第二冷却气进气管路72是供新鲜空气或外气进入(如图1所示)，透过该新鲜空气或外气来提供该第二吸附转轮70的冷却区702降温用。另第二种实施方式该第一净气排放管路62设有一第一净气连通管路621，而该第一净气连通管路621的另一端与该第二冷却气进气管路72连接(如图2至图4所示)，以能透过该第一净气连通管路621来将该第一净气排放管路62内的气体输送到该第二吸附转轮70的冷却区702以进行降温使用，另该第一净气连通管路621设有一第一净气连通控制阀门6211，以控制该第一净气连通管路621的风量。
[0025]
另该第一脱附浓缩气体管路66的一端与该第一吸附转轮60的脱附区603的一侧连接，而该第一脱附浓缩气体管路66的另一端与该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端连接(如图1至图4所示)，其中该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端与该第一冷侧输送管路23的一端连接，而该第一冷侧输送管路23的另一端则与该直燃式焚烧炉(to)10的
入口11连接，以能将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体能透过该第一脱附浓缩气体管路66来输送到该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端内，且由该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端来输送到该第一冷侧输送管路23的一端内，并由该第一冷侧输送管路23的另一端来输送到该直燃式焚烧炉(to)10的入口11内(如图1至图4所示)，使能让该直燃式焚烧炉(to)10的炉头101来进行高温裂解，以能减少挥发性有机化合物。另该第一脱附浓缩气体管路66设有一风机661，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端内。
[0026]
另该第二脱附浓缩气体管路75的一端与该第二吸附转轮70的脱附区703的一侧连接，其中该第二脱附浓缩气体管路75的另一端有两种实施方式，而第一种实施方式是该第二脱附浓缩气体管路75的另一端与该废气进气管路61相连接(如图1至图2所示)，使该浓缩气体能再经由该废气进气管路61来进入该第一吸附转轮60的吸附区601内，以进行再次吸附。另第二种实施方式是该第二脱附浓缩气体管路75的另一端与该第一冷却气进气管路63相连接(如图3及图4所示)，使该浓缩气体能再经由该第一冷却气进气管路63来进入该第一吸附转轮60的冷却区602内，以供进行冷却使用。再者，该第二脱附浓缩气体管路75设有一风机751(如图2及图4所示)，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该废气进气管路61或该第一冷却气进气管路63内。使经由第二吸附转轮70的脱附区703所产生的脱附气体能进入该第一吸附转轮60的吸附区601 601或是该第一吸附转轮60的冷却区602来进行循环利用，以使有机废气的处理效率能提升。
[0027]
再者，本实用新型的节能型双转轮冷侧旁通过温控制系统，主要是有两种的实施态样，而该两种的实施态样中的直燃式焚烧炉(to)10、第一热交换器20、第二热交换器30、第三热交换器40、第一冷侧输送管路23、第一吸附转轮60、第二吸附转轮70及烟囱80是采相同的设计，因此，上述的直燃式焚烧炉(to)10、第一热交换器20、第二热交换器30、第三热交换器40、第一冷侧输送管路23、第一吸附转轮60、第二吸附转轮70及烟囱80内容不再重复，请参考上述的说明内容。
[0028]
其中第一种实施态样(如图1至图3所示)的差异在于该第一脱附浓缩气体管路66与该第一冷侧输送管路23之间增设一冷侧比例风门901，而该冷侧比例风门901的一端与该第一脱附浓缩气体管66路连接，且该冷侧比例风门901的另一端与该第一冷侧输送管路23连接，以透过该冷侧比例风门901来调控该第一脱附浓缩气体管路66与该第一冷侧输送管路23的风量，因此，当该第一冷侧输送管路23内的挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门901来将该第一脱附浓缩气体管路66内的部分脱附浓缩气体输送到该第一冷侧输送管路23内，使该第一冷侧输送管路23内的脱附浓缩气体能与该第一脱附浓缩气体管路66内的部分脱附浓缩气体再一次的混合，使温度较低的该第一脱附浓缩气体管路66内的部分脱附浓缩气体能让温度较高的该第一冷侧输送管路23内的脱附浓缩气体进行降温，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能透过该冷侧比例风门901来调控风量的大小，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)10不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
[0029]
另，第二种实施态样(如图2及图4所示)的差异是在该第一脱附浓缩气体管路66上增设一冷侧比例风门904，而该冷侧比例风门904的另一端供外气进入，其中该外气可为新鲜空气或是其他气体，以透过该冷侧比例风门904来调控该第一脱附浓缩气体管路66的风
量。因此，当由该第一吸附转轮60的脱附区603所产生的脱附浓缩气体在进入该第一脱附浓缩气体管路66后，且该第一脱附浓缩气体管路66内的温度变得较高或是浓度变得较高时，可透过该冷侧比例风门904的另一端所输入外气来进行调节，使该第一脱附浓缩气体管路66内的脱附浓缩气体能达到降温的效果或是浓度降低的效果。
[0030]
通过以上详细说明，可使熟知本实用新型的技术人员清楚本实用新型的确可以达成前述目的，确实符合专利法的规定，因此，提出本实用新型专利申请。
[0031]
以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围；因此，凡是根据本实用新型申请保护范围及实用新型说明书内容所作的简单的等同替换与改进，都应仍属本实用新型涵盖的保护范围内。

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