蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法与流程

[0001]
本发明涉及一种蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法，尤指一种用来将燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不用经过该烟囱来进行排放，使有机废气的处理效率提升，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。


背景技术：

[0002]
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体((voc))，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体((voc))的处理设备，以避免挥发性有机气体((voc))直接排入空气中而造成空气污染。而目前经由该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。
[0003]
因此，本发明人有鉴于上述缺失，期待能提出一种具有提升有机废气处理效率的蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法，令使用者可轻易操作组装，于是潜心研究思考、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研发的发明动机。


技术实现要素：

[0004]
本发明的主要目的，在于提供一种蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法，主要是将蓄热式焚烧炉的加热室的热气提供给该热交换器来进行热交换，且该蓄热式焚烧炉的排气经由该回收热交换器或是该冷却器来进行热交换，并于进行热交换后或是冷却后再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，进而增加整体的实用性。
[0005]
本发明的另一目的，在于提供一种蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法，并通过将该蓄热式焚烧炉的加热室的热气由该加热室的热气出口来输出，且经由与该加热室的热气出口所连接的蓄热气体回收管路来输送到该热交换器的热侧管路内，再经由与该热交换器的热侧管路的一端所连接的该热气回收管路来输送该脱附浓缩气体管路内，让经过该热交换器来进行热交换后的气体经由该脱附浓缩气体管路再回到该蓄热式焚烧炉内进行燃烧，使具有再循环利用的效能，进而增加整体的使用性。
[0006]
本发明的再一目的，在于提供一种蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法，当该蓄热式焚烧炉为旋转式蓄热焚烧炉或是当该蓄热式焚烧炉内设有至少三蓄热床以上时，该蓄热式焚烧炉设有扫气((purge))管路，且该扫气((purge))管路的另一端与该加热室连接，而该蓄热式焚烧炉的加热室的热气由该加热室的热气出口来输出，且经由与该加热室的热气出口所连接的蓄热气体回收管路来输送到该热交换器的热侧管路内，再经由与该热交换器的热侧管路的一端所连接的该热气回收管路来输送该扫气((purge))管路内，让经过该热交换器来进行热交换后的气体经由该扫气((purge))管路再回到该加热室内，使具有再循环利用的效能，进而增加整体的操作性。
[0007]
为了能够更进一步了解本发明的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，惟所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本发明。
附图说明
[0008]
图1为本发明的第一种实施方式的主要步骤流程图；
[0009]
图2为本发明的第一种实施方式的主要架构示意图；
[0010]
图3为本发明的第一种实施方式的二蓄热床的第一架构示意图；
[0011]
图4为本发明的第一种实施方式的二蓄热床的第二架构示意图；
[0012]
图5为本发明的第一种实施方式的三蓄热床的第一架构流程图；
[0013]
图6为本发明的第一种实施方式的三蓄热床的第二架构示意图；
[0014]
图7为本发明的第二种实施方式的主要步骤流程图；
[0015]
图8为本发明的第二种实施方式的主要架构示意图；
[0016]
图9为本发明的第二种实施方式的二蓄热床的第一架构示意图；
[0017]
图10为本发明的第二种实施方式的二蓄热床的第二架构示意图；
[0018]
图11为本发明的第二种实施方式的三蓄热床的第一架构流程图；
[0019]
图12为本发明的第二种实施方式的三蓄热床的第二架构示意图。
[0020]
上述附图中，附图标记含义如下：
[0021]
a、一侧
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b、另一侧
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10、蓄热式焚烧炉
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101、蓄热床
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101、第一蓄热床
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102、第二蓄热床
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103、第三蓄热床
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11、加热室
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111、热气出口
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12、进气管路
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13、出气管路
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14、扫气(purge)管路
[0027]
20、吸附转轮
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201、吸附区
[0028]
202、冷却区
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203、脱附区
[0029]
21、废气进气管路
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22、净气排放管路
[0030]
221、风机
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222、净气旁通管路
[0031]
2221、净气旁通控制阀门
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23、冷却气进气管路
[0032]
231、气体旁通管路
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24、冷却气输送管路
[0033]
241、冷却气控制阀门
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25、热气输送管路
[0034]
251、热气控制阀门
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26、脱附浓缩废气管路
[0035]
261、风机
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27、连通管路
[0036]
271、连通控制阀门
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30、热交换器
[0037]
301、冷侧管路
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302、热侧管路
[0038]
31、热气回收管路
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32、蓄热气体回收管路
[0039]
40、回流热交换器
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401、回流冷侧管路
[0040]
402、回流热侧管路
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41、回流热气回收管路
[0041]
42、回流回收管路
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421、风机
[0042]
50、冷却器
[0043]
51、冷却回流热气回收管路
[0044]
52、冷却回流回收管路
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521、风机
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53、冷却水管路
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60、除尘设备
[0046]
70、烟囱
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71、烟囱排放管路
[0047]
711、风机
[0048]
s100、吸附区吸附
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s110、冷却区冷却
[0049]
s120、脱附区脱附
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s130、蓄热气体输送
[0050]
s140、排出气体回收输送
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s150、经过回流回收管路
[0051]
s200、吸附区吸附
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s210、冷却区冷却
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s220、脱附区脱附
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s230、蓄热气体输送
[0053]
s240、排出气体回收输送
[0054]
s250、经过冷却回流回收管路
具体实施方式
[0055]
请参阅图1～12，为本发明实施例的示意图，而本发明的蓄热回流高效率有机废气处理系统及其方法的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是将燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区，且不经过该烟囱来进行排放，使有机废气的处理效率提升。
[0056]
而本发明第一种实施方式的蓄热回流高效率有机废气处理系统，主要设有一蓄热式焚烧炉(rto)10、一吸附转轮20、一热交换器30及一回流热交换器40(如图2至图6所示)，其中该热交换器30设有冷侧管路301及热侧管路302，该热交换器30连接有一热气回收管路31及一蓄热气体回收管路32，该回流热交换器40设有回流冷侧管路401及回流热侧管路402，该回流热交换器40连接有一回流热气回收管路41及一回流回收管路42，另该蓄热式焚烧炉(rto)10内设有蓄热床101，该蓄热床101可以设有二蓄热床(如图2至图4所示)、三蓄热床(如图5及图6所示)、四蓄热床(图未示)或是五蓄热床(图未示)等实施形态，且该蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11、至少一进气管路12及至少一出气管路13，该加热室11设有一热气出口111(如图2至图6所示)。另外该蓄热式焚烧炉((rto))10也可为旋转式蓄热焚烧炉((图未示))。
[0057]
当本发明的蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11及至少三蓄热床101时(如图5及图6所示)，该三蓄热床101分别设为第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013，而该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013皆与加热室11相通，且通过该蓄热床101来进行蓄、放热使用，以回收高温排气的热能，来供预热低温进气使用，并且该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012或第三蓄热床1013之间互相进行切换使用。另外该蓄热式焚烧炉((rto))10的加热室11组设有一燃烧机(如图2至图6所示)，而该燃烧机引入燃料气体或燃料液体来进行燃烧，并将燃烧时的热气传递给蓄热式焚烧炉(rto)10的加热室11使用，再者，该燃烧机设有一空气管路，且该空气管路设有一风机，通过该风机以将该空气管路内的空气推送至该燃烧机内以帮助燃烧以及产生升温。
[0058]
而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20设有一废气进气管路21、一净气排放
管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩废气管路26(如图2至图6所示)，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201的一侧a，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧b连接，让该废气经该吸附转轮20的吸附区201净化后再由该净气排放管路22来输送。
[0059]
另外，该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧a连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形态，其中第一种实施形态为该冷却气进气管路23是供外气进入(如图3及图5所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用来输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形态为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图4及图6所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231来将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0060]
另外，该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧b连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该热交换器30的冷侧管路301的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该热交换器30内进行热交换(如图2至图6所示)，另外该热交换器30的冷侧管路301的另一端与该热气输送管路25的另一端连接，而该热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧b连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧a与该脱附浓缩气体管路26的一端连接(如图2至图6所示)，使将经由该热交换器30所提升的热气通过该热气输送管路25来传输到该吸附转轮20的脱附区203来进行脱附使用，并将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26来传输运送，且该脱附浓缩气体管路26的另一端与该蓄热式焚烧炉10的至少一进气管路12连接，让该脱附浓缩气体进入该蓄热式焚烧炉10来进行燃烧。另外该脱附浓缩气体管路26设有一风机261，以将该脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。
[0061]
另外，本发明第一种实施方式中的该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门(如图3至图6所示)，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另外第二实施设计为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，由此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门25的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，皆能调整控制风力的大小，让该热气输送管路25内的温度保持一定高温来提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0062]
另外，该热交换器30连接有一热气回收管路31及一蓄热气体回收管路32，其中该蓄热气体回收管路32的一端与该蓄热式焚烧炉10的加热室11的热气出口111连接(如图2至图6所示)，该蓄热气体回收管路32的另一端与该热交换器30的热侧管路302的另一端连接，该热气回收管路31的一端与该热交换器30的热侧管路302的一端连接。由此，通过该脱附浓缩气体输送管路26来将脱附浓缩气体输送到该蓄热式焚烧炉10的至少一进气管路12，再将
经过该蓄热式焚烧炉10所燃烧后的气体由该加热室11的热气出口111来通过该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收，并再经由该热气回收管路31来进行输送。
[0063]
而上述的热气回收管路31设有两种连接的路径，其中第一种路径为该热气回收管路31的另一端与该脱附浓缩气体管路26连接(如图2至图4所示)，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该脱附浓缩气体管路26内，再经由该脱附浓缩气体管路26来输送到该蓄热式焚烧炉10内重复燃烧，使具有再循环利用的效能。
[0064]
第二种路径为当该蓄热式焚烧炉10内设有至少三蓄热床101以上或是蓄热式焚烧炉10为旋转式蓄热焚烧炉(图未示)时，该蓄热式焚烧炉10的蓄热床101设有扫气((purge))管路14(如图5及图6所示)，而该扫气((purge))管路14的另一端与该加热室11连接，让当该蓄热床101不是为进气使用或是出气使用时，可以通过该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内，因此，该热气回收管路31的另一端与该扫气((purge))管路14连接，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该扫气((purge))管路14内，再经由该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内。
[0065]
另外，该回流热交换器40连接有一回流热气回收管路41及一回流回收管路42，该回流热交换器40的回流冷侧管路401的一端与该净气排放管路22的另一端连接，该回流热气回收管路41的一端与该回流热交换器40的回流热侧管路402的一端连接，该回流热气回收管路41的另一端与该蓄热式焚烧炉10的出气管路13连接(如图2至图6所示)，该回流回收管路42的一端与该回流热交换器40的回流热侧管路402的另一端连接，该回流回收管路42的另一端与该废气进气管路21连接。再者，该回流热交换器40的回流热气回收管路41及该回流回收管路42可以同时各设有一除尘设备60来使用(如图6所示)，或是只在该回流热交换器40的回流回收管路42上来单独设有一除尘设备60来使用(如图3及图5所示)，或是只在该回流热交换器40的回流热气回收管路41上来单独设有一除尘设备60来使用(如图4所示)，让经过该回流热气回收管路41内的气体或是经过该回流回收管路42的气体可以通过该除尘设备60进行过滤，其中该除尘设备60为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中任一，且该回流热交换器40的回流回收管路42设有一风机421(如图2至图6所示)，以将该回流回收管路42内的气体推向该废气进气管路21内。由此，将经过该蓄热式焚烧炉10所燃烧后的气体由该回流热气回收管路41来输送到该回流热交换器40的回流热侧管路402进行热回收，再通过该回流回收管路42来输送到该除尘设备60内以进行粉尘或二氧化硅((sio2))等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备60所输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201，而不经过该烟囱70来进行排放，让该烟囱70的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0066]
该回流热交换器40连接一烟囱70，该烟囱70设有一烟囱排放管路71(如图2至图6
所示)，该烟囱排放管路71的一端与该烟囱70连接，该烟囱排放管路71的另一端与该回流热交换器40的回流冷侧管路401的另一端连接，让经由该净气排放管路22所排出净化后气体进入该回流热交换器40的回流冷侧管路401内进行热交换，再经由该烟囱排放管路71来输送到烟囱70来进行排放，且该烟囱排放管路71设有一风机711(如图4及图6所示)，以将该烟囱排放管路71内的气体推向该烟囱70内。另该净气排放管路22设有一风机221(如图3至图6所示)，以将该净气排放管路22内的气体推向该回流热交换器40的回流冷侧管路401内。而上述的净气排放管路22旁设有一净气旁通管路222，而该净气旁通管路222的一端与该净气排放管路22连接(如图2至图6所示)，且该净气旁通管路222的另一端与该烟囱排放管路71连接，让该净气排放管路22在输送所排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器40的回流冷侧管路401进行热交换外，还通过与该净气排放管路22所连接的该净气旁通管路222来进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路71再经由该烟囱70进行排放。另外，该净气旁通管路222设有一净气旁通控制阀门2221，以通过该净气旁通控制阀门2221来调节由该净气排放管路22所输送过来的净化后气体的风量，以形成调节控制的效能。
[0067]
本发明第一种实施方式的蓄热回流高效率有机废气处理方法，其主要用于该有机废气处理系统，包括有一蓄热式焚烧炉(rto)10、一吸附转轮20、一热交换器30及一回流热交换器40(如图2至图6所示)，其中该热交换器30设有冷侧管路301及热侧管路302，该热交换器30连接有一热气回收管路31及一蓄热气体回收管路32，该回流热交换器40设有回流冷侧管路401及回流热侧管路402，该回流热交换器40连接有一回流热气回收管路41及一回流回收管路42，另该蓄热式焚烧炉(rto)10内设有蓄热床101，该蓄热床101可以设有二蓄热床(如图2至图4所示)、三蓄热床(如图5及图6所示)、四蓄热床(图未示)或是五蓄热床(图未示)等实施形态，且该蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11、至少一进气管路12及至少一出气管路13，该加热室11设有一热气出口111(如图2至图3所示)。另外该蓄热式焚烧炉((rto))10亦可为旋转式蓄热焚烧炉((图未示))。
[0068]
当本发明的蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11及至少三蓄热床101时(如图5及图6所示)，该三蓄热床101分别设为第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013，而该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013皆与加热室11相通，且通过该蓄热床101来进行蓄、放热使用，以回收高温排气的热能，来供预热低温进气使用，并且该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012或第三蓄热床1013之间互相进行切换使用。另外该蓄热式焚烧炉((rto))10的加热室11组设有一燃烧机(如图2至图6所示)，而该燃烧机引入燃料气体或燃料液体以来进行燃烧，并将燃烧时的热气传递给蓄热式焚烧炉(rto)10的加热室11使用，再者，该燃烧机设有一空气管路，且该空气管路设有一风机，通过该风机以将该空气管路内的空气推送至该燃烧机内以帮助燃烧以及产生升温。
[0069]
该处理方法的主要步骤(如图1所示)包括：步骤s100吸附区吸附：将废气通过该废气进气管路21的另一端来送入该吸附转轮20的吸附区201的一侧a进行吸附，再将吸附后的气体通过该净气排放管路22的另一端来输送到该回流热交换器40的回流冷侧管路401的一端。而完成上述步骤s100后即进行下一步骤s110。
[0070]
其中上述的步骤s100中该回流热交换器40连接一烟囱70，该烟囱70设有一烟囱排放管路71(如图2至图6所示)，该烟囱排放管路71的一端与该烟囱70连接，该烟囱排放管路
71的另一端与该回流热交换器40的回流冷侧管路401的另一端连接，让经由该净气排放管路22所排出净化后气体进入该回流热交换器40的回流冷侧管路401内进行热交换，再经由该烟囱排放管路71来输送到烟囱70来进行排放，且该烟囱排放管路71设有一风机711(如图4及图6所示)，以将该烟囱排放管路71内的气体推向该烟囱70内。另该净气排放管路22设有一风机221(如图3至图6所示)，以将该净气排放管路22内的气体推向该回流热交换器40的回流冷侧管路401内。而上述的净气排放管路22旁设有一净气旁通管路222(如图3至图6所示)，而该净气旁通管路222的一端与该净气排放管路22连接，且该净气旁通管路222的另一端与该烟囱排放管路71连接，让该净气排放管路22在输送所排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器40的回流冷侧管路401进行热交换外，还通过与该净气排放管路22所连接的该净气旁通管路222来进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路71再经由该烟囱70进行排放。另外该净气旁通管路222设有一净气旁通控制阀门2221(如图3至图6所示)，以通过该净气旁通控制阀门2221来调节由该净气排放管路22所输送过来的净化后气体的风量，以形成调节控制的效能。
[0071]
另外，下一步进行的步骤s110冷却区冷却：通过该冷却气进气管路23的另一端来输送冷却气至该吸附转轮20的冷却区202进行冷却，再通过该冷却气输送管路24的另一端来将经过冷却区202的冷却气输送到该热交换器30的冷侧管路301的一端。而完成上述步骤s110后即进行下一步骤s120。
[0072]
其中上述的步骤s110中该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧a连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形态，其中第一种实施形态为该冷却气进气管路23是供外气进入(如图3及图5所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用来输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形态为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图4及图6所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231来将部份的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0073]
另外，下一步进行的步骤s120脱附区脱附：通过与该热交换器30的冷侧管路301的另一端所连接的热气输送管路24来将热气体输送到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附，再通过该脱附浓缩气体管路26的另一端来将脱附浓缩气体输送到该蓄热式焚烧炉10的至少一进气管路12。而完成上述步骤s120后即进行下一步骤s130。
[0074]
其中该上述的步骤s120中该脱附浓缩气体管路26设有一风机261(如图4及图6所示)，以将该脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。另该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门(如图3至图6所示)，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另外第二实施设计为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，由此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，皆能调整控制风力的大小，让该热气输送管路25内的温度保持一定高
温来提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0075]
另外，下一步进行的步骤s130蓄热气体输送：将该蓄热式焚烧炉10的加热室11的气体，通过与该热气出口111所连接的蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302的一端，再经由该热交换器30的热侧管路302的另一端所连接的热气回收管路31来进行输送。而完成上述步骤s130后即进行下一步骤s140。
[0076]
其中该上述的步骤s130中该热气回收管路31设有两种连接的路径，其中第一种路径为该热气回收管路31的另一端与该脱附浓缩气体管路26连接(如图2至图4所示)，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该脱附浓缩气体管路26内，再经由该脱附浓缩气体管路26来输送到该蓄热式焚烧炉10内重复燃烧，使具有再循环利用的效能。
[0077]
第二种路径为当该蓄热式焚烧炉10内设有至少三蓄热床101以上或是蓄热式焚烧炉10为旋转式蓄热焚烧炉(图未示)时，该蓄热式焚烧炉10的蓄热床101设有扫气((purge))管路14(如图5及图6所示)，而该扫气((purge))管路14的另一端与该加热室11连接，让当该蓄热床101不是为进气使用或是出气使用时，可以通过该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内，因此，该热气回收管路31的另一端与该扫气((purge))管路14连接，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该扫气((purge))管路14内，再经由该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内。
[0078]
另外，下一步进行的步骤s140排出气体回收输送：将该蓄热式焚烧炉10的出气管路13所排出的气体经由该回流热气回收管路41来输送到该回流热交换器40的回流热侧管路402的一端。而完成上述步骤s140后即进行下一步骤s150。
[0079]
另外，下一步进行的步骤s150经过回流回收管路：将输送到该回流热交器40的回流热侧管路402的气体，再经由与回流热交换器40的回流热侧管路402的另一端所连接的回流回收管路42来输送到该废气进气管路21的一端。
[0080]
其中该上述的步骤s150中的回流热交换器40连接有一回流热气回收管路41及一回流回收管路42，该回流热交换器40的回流冷侧管路401的一端与该净气排放管路22的另一端连接，该回流热气回收管路41的一端与该回流热交换器40的回流热侧管路402的一端连接(如图2至图6所示)，该回流热气回收管路41的另一端与该蓄热式焚烧炉10的出气管路13连接，该回流回收管路42的一端与该回流热交换器40的回流热侧管路402的另一端连接，该回流回收管路42的另一端与该废气进气管路21连接。再者，该回流热交换器40的回流热气回收管路41及该回流回收管路42可以同时各设有一除尘设备60来使用(如图6所示)，或是只在该回流热交换器40的回流回收管路42上来单独设有一除尘设备60来使用(如图3及图5所示)，或是只在该回流热交换器40的回流热气回收管路41上来单独设有一除尘设备60来使用(如图4所示)，让经过该回流热气回收管路41内的气体或是经过该回流回收管路42的气体可以通过该除尘设备60进行过滤，其中该除尘设备60为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除
尘器的其中任一，且该回流热交换器40的回流回收管路42设有一风机421(如图3至图6所示)，以将该回流回收管路42内的气体推向该废气进气管路21内。由此，将经过该蓄热式焚烧炉10所燃烧后的气体由该回流热气回收管路41来输送到该回流热交换器40的回流热侧管路402进行热回收，再通过该回流回收管路42来输送到该除尘设备60内以进行粉尘或二氧化硅((sio2))等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备60所输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201，而不经过该烟囱70来进行排放，让该烟囱70的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0081]
本发明第二种实施方式的蓄热回流高效率有机废气处理系统，主要设有一蓄热式焚烧炉(rto)10、一吸附转轮20、一热交换器30及一冷却器50(如图8至图12所示)，其中该热交换器30设有冷侧管路301及热侧管路302，该热交换器30连接有一热气回收管路31及一蓄热气体回收管路32，该冷却器50连接有一冷却回流热气回收管路51及一冷却回流回收管路52，另该蓄热式焚烧炉(rto)10内设有蓄热床101，该蓄热床101可以设有两蓄热床(如图8至图10所示)、三蓄热床(如图11及图12所示)、四蓄热床(图未示)或是五蓄热床(图未示)等实施形态，且该蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11、至少一进气管路12及至少一出气管路13，该加热室11设有一热气出口111(如图8至图12所示)。另该蓄热式焚烧炉((rto))10也可为旋转式蓄热焚烧炉((图未示))。
[0082]
当本发明的蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11及至少三蓄热床101时(如图11及图12所示)，该三蓄热床101分别设为第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013，该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013皆与加热室11相通，且通过该蓄热床101来进行蓄、放热使用，以回收高温排气的热能，来供预热低温进气使用，并且该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012或第三蓄热床1013之间互相进行切换使用。另外该蓄热式焚烧炉((rto))10的加热室11组设有一燃烧机(如图8至图12所示)，而该燃烧机引入燃料气体或燃料液体来进行燃烧，并将燃烧时的热气传递给蓄热式焚烧炉(rto)10的加热室11使用，再者，该燃烧机设有一空气管路，且该空气管路设有一风机，通过该风机以将该空气管路内的空气推送至该燃烧机内以帮助燃烧以产生升温。
[0083]
该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20设有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩废气管路26(如图8至图12所示)，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201的一侧a，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧b连接，让该废气经该吸附转轮20的吸附区201净化后再由该净气排放管路22来输送。
[0084]
另外该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧a连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形态，其中第一种实施形态为该冷却气进气管路23是供外气进入(如图8及图9所示)，该外气为新鲜空气，以将该外气用来输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外第二种实施形态为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图10所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231来将部份的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0085]
另外该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧b连接，该冷却气输送管路24的另一端与该热交换器30的冷侧管路301的一端连接，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该热交换器30内进行热交换(如图8至图12所示)，另该热交换器30的冷侧管路301的另一端与该热气输送管路25的另一端连接，而该热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧b连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧a与该脱附浓缩气体管路26的一端连接，使将经由该热交换器30所提升的热气通过该热气输送管路25来传输到该吸附转轮20的脱附区203来进行脱附使用，并将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26来传输运送，且该脱附浓缩气体管路26的另一端与该蓄热式焚烧炉10的至少一进气管路12连接，让该脱附浓缩气体进入该蓄热式焚烧炉10来进行燃烧。另外该脱附浓缩气体管路26设有一风机261(如图10及图12所示)，以将该脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。
[0086]
另外，本发明第一种实施方式中的该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门(如图9至图12所示)，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计乃为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另第二实施设计乃为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，由此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门25的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，皆能调整控制风力的大小，让该热气输送管路25内的温度保持一定高温来提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0087]
另外，该热交换器30连接有一热气回收管路31及一蓄热气体回收管路32，其中该蓄热气体回收管路32的一端与该蓄热式焚烧炉10的加热室11的热气出口111连接(如图8至图12所示)，该蓄热气体回收管路32的另一端与该热交换器30的热侧管路302的另一端连接，该热气回收管路31的一端与该热交换器30的热侧管路302的一端连接。由此，通过该脱附浓缩气体输送管路26来将脱附浓缩气体输送到该蓄热式焚烧炉10的至少一进气管路12，再将经过该蓄热式焚烧炉10所燃烧后的气体由该加热室11的热气出口111来通过该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收，并再经由该热气回收管路31来进行输送。
[0088]
上述的热气回收管路31设有两种连接的路径，其中第一种路径为该热气回收管路31的另一端与该脱附浓缩气体管路26连接(如图8至图10所示)，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该脱附浓缩气体管路26内，再经由该脱附浓缩气体管路26来输送到该蓄热式焚烧炉10内重复燃烧，使具有再循环利用的效能。
[0089]
第二种路径为当该蓄热式焚烧炉10内设有至少三蓄热床101以上或是蓄热式焚烧炉10为旋转式蓄热焚烧炉(图未示)时，该蓄热式焚烧炉10的蓄热床101设有扫气((purge))管路14(如图11及图12所示)，而该扫气((purge))管路14的另一端与该加热室11连接，让当该蓄热床101不是为进气使用或是出气使用时，可以通过该扫气((purge))管路14来输送到
该加热室11内，因此，该热气回收管路31的另一端与该扫气((purge))管路14连接，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该扫气((purge))管路14内，再经由该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内。
[0090]
另外，该冷却器50内设有冷却水管路53(如图8至图12所示)，以一进一出的方式来将流经该冷却器50的高温热气进行降温，且该冷却器50为壳管式冷却器、鳍管式冷却器或板式热交换器冷却器的其中任一，该冷却器50连接有一冷却回流热气回收管路51及一冷却回流回收管路52，该冷却回流热气回收管路51的一端与该冷却器50的一端连接，该冷却回流热气回收管路51的另一端该蓄热式焚烧炉10的出气管路13连接，该冷却回流回收管路52的一端与该冷却器50的另一端连接，该冷却回流回收管路52的另一端与该废气进气管路21连接。再者，该冷却器50的冷却回流热气回收管路51及该冷却回流回收管路52可以同时各设有一除尘设备60来使用(如图12所示)，或是只在该冷却器50的冷却回流回收管路52上来单独设有一除尘设备60来使用(如图9及图11所示)，或是只在该冷却器50的冷却回流热气回收管路51上来单独设有一除尘设备60来使用(如图10所示)，让经过该冷却回流热气回收管路51内的气体或是经过该冷却回流回收管路52的气体可以通过该除尘设备60进行过滤，其中该除尘设备60为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中任一，且该冷却器50的冷却回流回收管路52设有一风机521(如图8至图12所示)，以将该冷却回流回收管路52内的气体推向该废气进气管路21内。
[0091]
由此，将经过该蓄热式焚烧炉10所燃烧后的气体由连接的冷却回流热气回收管路51来输送到该冷却器50内与该冷却水管路53进行热交换，再通过该冷却回流回收管路52来输送到该除尘设备60内以进行粉尘或二氧化硅((sio2))等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备60所输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱70来进行排放，让该烟囱70的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0092]
本发明第二种实施方式的蓄热回流高效率有机废气处理方法，其主要用于该有机废气处理系统，包括有一蓄热式焚烧炉(rto)10、一吸附转轮20、一热交换器30及一冷却器50(如图8至图12所示)，其中该热交换器30设有冷侧管路301及热侧管路302，该热交换器30连接有一热气回收管路31及一蓄热气体回收管路32，该冷却器50连接有一冷却回流热气回收管路51及一冷却回流回收管路52，另该蓄热式焚烧炉(rto)10内设有蓄热床101，该蓄热床101可以设有两蓄热床(如图8至图10所示)、三蓄热床(如图11及图12所示)、四蓄热床(图未示)或是五蓄热床(图未示)等实施形态，且该蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11、至少一进气管路12及至少一出气管路13，该加热室11设有一热气出口111(如图8至图12所示)。另该蓄热式焚烧炉((rto))10也可为旋转式蓄热焚烧炉((图未示))。
[0093]
当本发明的蓄热式焚烧炉(rto)10设有一加热室11及至少三蓄热床101时(如图11及图12所示)，该三蓄热床101分别设为第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床
1013，而该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012及第三蓄热床1013皆与加热室11相通，且通过该蓄热床101来进行蓄、放热使用，以回收高温排气的热能，来供预热低温进气使用，并且该第一蓄热床1011、第二蓄热床1012或第三蓄热床1013之间互相进行切换使用。另外该蓄热式焚烧炉((rto))10的加热室11组设有一燃烧机(如图8至图12所示)，而该燃烧机引入燃料气体或燃料液体来进行燃烧，并将燃烧时的热气传递给蓄热式焚烧炉(rto)10的加热室11使用，再者，该燃烧机设有一空气管路，且该空气管路设有一风机，通过该风机以将该空气管路内的空气推送至该燃烧机内以帮助燃烧以及产生升温。
[0094]
该处理方法的主要步骤(如图7所示)包括：步骤s200吸附区吸附：将废气通过该废气进气管路21的另一端来送入该吸附转轮20的吸附区201的一侧进行吸附，再将吸附后的气体通过该净气排放管路22的另一端来进行输送。而完成上述步骤s200后即进行下一步骤s210。
[0095]
其中上述的步骤s200中该净气排放管路22的另一端连接一烟囱70(如图8至图12所示)，让经由该净气排放管路22所排出净化后气体输送到烟囱70来进行排放。另该净气排放管路22设有一风机221，以将该净气排放管路22内的气体推向该烟囱70。
[0096]
另外，下一步进行的步骤s210冷却区冷却：通过该冷却气进气管路23的另一端来输送冷却气至该吸附转轮20的冷却区202进行冷却，再通过该冷却气输送管路24的另一端来将经过冷却区202的冷却气输送到该热交换器30的冷侧管路301的一端。而完成上述步骤s210后即进行下一步骤s220。
[0097]
其中上述的步骤s210中该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧a连接，而该冷却气进气管路23有两种实施态样，其中第一种实施态样为该冷却气进气管路23乃是供外气进入(如图8及图9所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用来输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另第二种实施形态为该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图10所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231来将部分的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
[0098]
另外，下一步进行的步骤s220脱附区脱附：通过与该热交换器30的冷侧管路301的另一端所连接的热气输送管路25来将热气体输送到该吸附转轮20的脱附区203进行脱附，再通过该脱附浓缩气体管路26的另一端来将脱附浓缩气体输送到该蓄热式焚烧炉10的至少一进气管路12。而完成上述步骤s220后即进行下一步骤s230。
[0099]
其中该上述的步骤s220中该脱附浓缩气体管路26设有一风机261(如图9至图12所示)，以将该脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。另外该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门(如图9至图12所示)，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25的间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另外第二实施设计为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25的间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，由此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀
门241的设计的比例风门，皆能调整控制风力的大小，让该热气输送管路25内的温度保持一定高温来提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
[0100]
另外，下一步进行的步骤s230蓄热气体输送：将该蓄热式焚烧炉10的加热室11的气体，通过与该热气出口111所连接的蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302的一端，再经由该热交换器30的热侧管路302的另一端所连接的热气回收管路31来进行输送。而完成上述步骤s230后即进行下一步骤s240。
[0101]
其中该上述的步骤s230中该热气回收管路31设有两种连接的路径，其中第一种路径为该热气回收管路31的另一端与该脱附浓缩气体管路26连接(如图8至图10所示)，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该脱附浓缩气体管路26内，再经由该脱附浓缩气体管路26来输送到该蓄热式焚烧炉10内重复燃烧，使具有再循环利用的效能。
[0102]
而第二种路径为当该蓄热式焚烧炉10内设有至少三蓄热床101以上或是蓄热式焚烧炉10为旋转式蓄热焚烧炉((图未示))时，该蓄热式焚烧炉10的蓄热床101设有扫气((purge))管路14(如第11图及第12图所示)，而该扫气((purge))管路14的另一端与该加热室11连接，让当该蓄热床101不是为进气使用或是出气使用时，可以通过该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内，因此，该热气回收管路31的另一端与该扫气((purge))管路14连接，让由该蓄热气体回收管路32来输送到该热交换器30的热侧管路302内进行热回收后的气体，由该热气回收管路31来输送到该扫气((purge))管路14内，再经由该扫气((purge))管路14来输送到该加热室11内。
[0103]
另外，下一步进行的步骤s240排出气体回收输送：将该蓄热式焚烧炉10的出气管路13所排出的气体经由该冷却回流热气回收管路51来输送到该冷却器50的一端。而完成上述步骤s240后即进行下一步骤s250。
[0104]
另外，下一步进行的步骤s250经过冷却回流回收管路：将输送到该冷却器50的气体，再经由与该冷却器50的另一端所连接的冷却回流回收管路52来输送到该废气进气管路21的一端。
[0105]
其中该上述的步骤s250中的该冷却器50内设有冷却水管路53(如图8至图12所示)，以一进一出的方式来将流经该冷却器50的高温热气进行降温，且该冷却器50为壳管式冷却器、鳍管式冷却器或板式热交换器冷却器的其中任一，而该冷却器50的冷却回流热气回收管路51及该冷却回流回收管路52可以同时各设有一除尘设备60来使用(如图12所示)，或是只在该冷却器50的冷却回流回收管路52上来单独设有一除尘设备60来使用(如图9及图11所示)，或是只在该冷却器50的冷却回流热气回收管路51上来单独设有一除尘设备60来使用(如图10所示)，让经过该冷却回流热气回收管路51内的气体或是经过该冷却回流回收管路52的气体可以通过该除尘设备60进行过滤，其中该除尘设备60为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中任一，且该冷却器50的冷却回流回收管路52设有一风机521(如图8至图12所示)，以将该冷却回流回收管路52内的气体推向该废气进气管路21内。由此，将经过
该蓄热式焚烧炉10所燃烧后的气体由连接的冷却回流热气回收管路51来输送到该冷却器50内与该冷却水管路53进行热回收，再通过该冷却回流回收管路52来输送到该除尘设备60内以进行粉尘或二氧化硅((sio2))等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备60所输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱70来进行排放，让该烟囱70的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
[0106]
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

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