一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的制作方法

[0001]
本发明设计用于芯片在线可靠性封装焊接领域。尤其涉及一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置。


背景技术：

[0002]
现有技术中的真空焊接设备大多采用升降上真空舱盖或旋转打开上真空舱盖来开合真空舱。这种开关舱盖的方式导致只能分次使用，每一次使用均需要将上真空舱盖打开放入工件，加工完毕再将上真空舱盖打开取出零件，无法形成生产流水线，耗费人力物力和时间。
[0003]
由于上真空舱盖负载重量大，以升降真空舱上盖实现频繁开合真空舱，高温环境下易导致传动与导向结构热变形，运输不平稳，易导致升降卡死，不能可靠工作。
[0004]
以旋转打开上真空舱盖以实现频繁打开真空仓室的动作，由于真空上盖较大，开门动作与幅度较大，影响设备工作温区温度的稳定性，并易造成空气的氧进入工作区，对工件造成氧化。且旋转真空舱上舱盖打开空间使用率低，需要对真空仓上舱盖打开较大角度以获得工件的通过的位置，使设备占用更多空间。


技术实现要素：

[0005]
本申请的目的在于提供一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置，可以实现流水式工作，节省人力物力和时间。
[0006]
本申请提供一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置，包括：真空焊接腔体，所述真空焊接腔体具有空腔和连通所述空腔的物料通过口；物料输送装置，所述物料输送装置向所述真空焊接腔体延伸，且所述物料输送装置的出料端延伸至所述物料通过口；所述物料输送装置用于将物料输送至所述空腔和/或将所述空腔内的物料输出。
[0007]
在上述方案中，物料通过物料输送装置输送至真空焊接腔体中进行加工，加工完成后通过物料输出装置送走，实现了真空焊接装置的工作流水式自动化工作，不需要人工辅助，大量的节省了人力物力和时间。
[0008]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接装置包括外连接部，所述外连接部位于所述真空焊接腔体的外部，且正对所述物料通过口设置；所述物料输送装置靠近真空焊接腔体的一端连接于所述外连接部。
[0009]
在上述方案中，通过连接部连接，可实现可拆卸连接、活动连接、固定连接等多种连接模式，方便使用，也方便后期维修和更换。
[0010]
在一种可能的实施方案中，所述外连接部包括设置于所述物料通过口两侧的支撑部和连接两所述支撑部的导向杆；所述物料输送装置包括间隔设置的第一输送部和第二输送部；所述第一输送部通过滑动板体可滑动的连接于所述导向杆，所述第二输送部通过固定
板体固定连接于所述导向杆。
[0011]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接装置包括调节机构；所述调节机构传动连接所述滑动板体，所述调节机构能驱动所述滑动板体沿所述导向杆滑动，以调节所述第一输送部和所述第二输送部的间距。
[0012]
在上述方案中，物料输送装置分为两个输送部，其中一个输送部或两个输送部均做成可延与之相连接的真空焊接腔体侧壁方向滑动，则可调节量输送部之间的距离，针对输送的工件进行宽窄调节，可以适应这种形状和大小的物料。
[0013]
在一种可能的实施方案中，所述调节机构包括驱动电机、丝杠和丝杠螺母；所述固定板体设置避让口，所述丝杠螺母连接于所述滑动板体；所述驱动电机连接于所述支撑部，所述丝杠连接于所述驱动电机，所述丝杠穿过所述避让口螺纹连接所述丝杠螺母。
[0014]
在上述方案中，通过电机驱动丝杠和丝杠螺母进行宽窄调节，调节便捷并且准确率高。
[0015]
在一种可能的实施方案中，所述第一输送部/第二输送部包括导向体、链轮和传动链条；所述导向体沿长度方向设置有安装槽，所述链轮安装于所述安装槽的端部；所述传动链条设置于所述安装槽内，且套设于所述链轮。
[0016]
在上述方案中，链条具有较大的可变性，配置相应的导向体可以实现各种路线的传输。
[0017]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接装置包括封闭门和门体驱动机构；所述封闭门可活动地连接于所述真空焊接腔体，所述门体驱动机构能驱动所述封闭门平移或转动以闭合或打开所述物料通过口。所述门体驱动机构包括升降气缸，所述升降气缸的升降杆连接所述封闭门。
[0018]
在上述方案中，入料通过口和出料通过口两处均设置有相应的封闭门和门体驱动机构，配合其他感应设备实现物料到达封闭门前时即打开，离开时即关闭。
[0019]
在一种可能的实施方案中，所述封闭门两侧设置有导向部，所述导向部和所述真空焊接腔体表面之间形成导向槽；所述封闭门两侧可滑动的安装在所述导向槽内。
[0020]
在上述方案中，封闭门延导向槽升降，使用时更稳定，密封性更好。
[0021]
在一种可能的实施方案中，还包括伸缩气缸和压紧块；所述伸缩气缸设置在所述支撑部上，所述压紧块连接于所述伸缩气缸的伸缩杆；所述伸缩气缸伸缩运动，带动所述压紧块压紧/释放所述封闭门。
[0022]
在上述方案中，如此防止封闭门移动，使设备更可靠的工作。
[0023]
在一种可能的实施方案中，还包括位置传感器和控制器；所述位置传感器设置于所述物料通过口一侧，用于感应物料到位信号；所述位置传感器电连接所述控制器，所述控制器电连接所述门体驱动机构；所述控制器用于在接收到所述位置传感器发送的到位信号时，控制向所述门体驱动机构发送开门/关门指令。
[0024]
在上述方案中，设置门控制机构、位置传感器和控制器，大大的增加了设备的自动
性，使设备形成流水线，节省大量人工，并大大提高工作效率。
[0025]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接腔体连接有法兰部；所述位置传感器包括光电发射部和光电接收部；所述光电接收部设置在所述固定板体上，所述光电发射部设置在所述法兰部上。
[0026]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接腔体具有第一物料通过口和第二物料通过口；所述真空焊接腔体的空腔内设置输送机构，所述输送机构的输入端延伸至所述第一物料通过口，所述输送机构的输出端延伸至所述第二物料通过口。
[0027]
在上述方案中，在真空焊接装置腔体内也实现自动化传送。
[0028]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接装置包括旋转挡板和旋转电机，所述真空焊接腔体的壳壁上设置有贯通口；所述旋转电机设置于所述真空焊接腔体外部，所述旋转电机的旋转轴穿过所述贯通口，延伸至所述空腔内；所述旋转挡板位于所述空腔内，且连接于所述旋转电机的旋转轴；所述旋转轴与所述贯通口之间安装有旋转密封接头。
[0029]
在上述方案中，加工前旋转挡板感知和/或阻挡物料，增加设备的自动性。
[0030]
本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：实现了真空焊接装置的工作自动化流水式工作，不需要人工辅助，大量的节省了人力物力和时间。
附图说明
[0031]
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍；此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0032]
图1为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的工作示意图；图2为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的结构示意图图3为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的真空焊接腔体的结构示意图；图4为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的真空焊接腔体的侧视图；图5为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的真空焊接腔体内部结构示意图；图6为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的真空焊接腔体的部分结构示意图；图7为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的真空焊接腔体的部分主视图；
图8为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的上盖体的主视图；图9为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的第三冷却装置的结构示意图；图10为本申请实施例提供的一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的第三冷却装置的第一方向剖视图，图中箭头a表示信号发射端发射信号的路线，箭头b表示冷气流动的方向；图11为本申请实施例提供的真空焊接装置的第三冷却装置的第二方向剖视图，图中箭头表示冷水流动的方向。
[0033]
附图标记：入料输送装置1、导向体13、链轮14、传动链条15、真空焊接腔体2、第一物料通过口201、第二物料通过口202、滑动板体212、驱动电机214、丝杠215、丝杠螺母216、支撑部217、旋转密封接头218、封闭门220、导向部221、封闭门升降轴222、导向轴223、封闭门拉杆224、升降气缸225、伸缩气缸226、压紧块227、位置传感器230、电发射部2301、调宽窄传动丝杠241，导向轴242，隔热内衬钣金243、加热管244、链条传动轴245、调宽窄传动丝杠动力系统247、内部传动链条248、旋转挡板251、旋转电机252、上盖体260、电动推杆262、石英管263、辐射加热管264、支架27、出料输送装置3、第一密封圈41、第一凹槽42、第一侧壁43、第一冷却通道44、冷却介质入口441、冷却介质出口442、第二侧壁45、铰接部件51、第二法兰部52、第一冷却段531、第二冷却段532、第三冷却段533、避让通槽61、水冷通道62、进水接头621、出水接头622、气冷通道63、进气接头631。
具体实施方式
[0034]
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0035]
在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
[0036]
应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0037]
需要注意的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
[0038]
本申请实施例提供了一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置，能够解决上述技术问题。
[0039]
实施例一
参见图1-5所示，本实施例提供一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置，包括真空焊接腔体2和物料输送装置，所述真空焊接腔体2具有空腔和连通所述空腔的物料通过口；所述物料输送装置向所述真空焊接腔体2延伸，且所述物料输送装置的出料端延伸至所述物料通过口；所述物料输送装置用于将物料输送至所述空腔和/或将所述空腔内的物料输出。其中，物料通过口分设在真空焊接腔体2两侧壁上的入料通过口和对侧的出料通过口，物料输送装置分为与入料通过口对接的入料输送装置1和对侧与出料通过口对接的出料输送装置3。物料通过入料输送装置1输送至真空焊接腔体中进行加工，加工完成后通过出料输送装置3送走，实现了真空焊接装置的工作流水式自动化工作，不需要人工辅助，大量的节省了人力物力和时间。其中优选地，真空焊接腔体2为矩形炉体，物料通过口设置在真空焊接腔体2的侧壁上。
[0040]
进一步地，所述真空焊接装置包括外连接部，所述外连接部位于所述真空焊接腔体2的外部，且正对所述物料通过口设置，所述物料输送装置靠近真空焊接腔体2的一端连接于所述外连接部。通过连接部连接，可实现可拆卸连接、活动连接、固定连接等多种连接模式，方便使用，也方便后期维修和更换。
[0041]
物料输送装置可以是通过连接部固定连接在真空焊接腔体2的外侧，也可以是可移动的通过连接部固定连接在真空焊接腔体2的外侧。物料输送装置分为两个输送部，其中一个输送部或两个输送部均做成可延与之相连接的真空焊接腔体2侧壁方向滑动，则可调节量输送部之间的距离，针对输送的工件进行宽窄调节，可以适应这种形状和大小的物料。优选地，所述外连接部包括设置于所述物料通过口两侧的支撑部217和连接两所述支撑部217的导向杆，所述物料输送装置包括间隔设置的第一输送部和第二输送部，所述第一输送部通过滑动板体212可滑动的连接于所述导向杆，所述第二输送部通过固定板体固定连接于所述导向杆。其中，第一输送部和第二输送部平行设置。
[0042]
进一步地，所述真空焊接装置包括调节机构；所述调节机构传动连接所述滑动板体212，所述调节机构能驱动所述滑动板体212沿所述导向杆滑动，以调节所述第一输送部和所述第二输送部的间距。调节机构可以为手动调节也可为电动调节。优选地，所述调节机构包括驱动电机214、丝杠215和丝杠螺母216；所述固定板体设置避让口，所述丝杠螺母216连接于所述滑动板体212；所述驱动电机214连接于所述支撑部217，所述丝杠215连接于所述驱动电机214，所述丝杠215穿过所述避让口螺纹连接所述丝杠螺母216。通过电机驱动丝杠215和丝杠螺母216进行宽窄调节，调节便捷并且准确率高。其中，丝杠215两端穿过相应的所述支撑部217，其中一端穿过支撑部217与所述驱动电机214连接。丝杠215与支撑部217连接处设置有旋转密封接头218，防止影响一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置的密封性。
[0043]
进一步地，所述第一输送部和第二输送部包括导向体13、链轮14和传动链条15，所述导向体13沿长度方向设置有安装槽，所述链轮14安装于所述安装槽的端部，所述传动链条15设置于所述安装槽内，且套设于所述链轮14。通过链条链轮14对物料进行传动，并对链条设置相应导向体13，链条具有较大的可变性，配置相应的导向体13可以实现各种路线的传输。其中，链条为具有长轴的链条，链条的长轴向第一输送部和第二输送部之间延伸，用于承载物料。
[0044]
在一种可能的实施方案中，所述一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装
置包括封闭门220和门体驱动机构，所述封闭门220可活动地连接于所述真空焊接腔体2，所述门体驱动机构能驱动所述封闭门220平移或转动以闭合或打开所述物料通过口。进一步地，入料通过口和出料通过口两处均设置有相应的封闭门220和门体驱动机构。驱动机构可为手动驱动机构也可为电动驱动机构，可为电动推杆262、丝杠215、凸轮中的一种，优选地，所述门体驱动机构包括升降气缸225，所述升降气缸225的升降杆连接所述封闭门220。如此可以配合其他感应设备实现物料到达封闭门220前时即打开，离开时即关闭。
[0045]
进一步地，所述封闭门220两侧设置有导向部221，所述导向部221和所述真空焊接腔体2表面之间形成导向槽，所述封闭门220两侧可滑动的安装在所述导向槽内。封闭门220延导向槽升降，使用时更稳定。
[0046]
进一步地，封闭门220通过封闭门升降轴222与封闭门拉杆224连接，封闭门拉杆224与伸缩气缸226的伸缩端连接。还包括支架27，真空焊接腔体2安装在支架27上，支架27上设置有封闭门220导向机构，封闭门220导向机构包括设置在支架27上的若干通孔及分别穿过相应通孔与封闭门220连接的若干导向轴223，支架27上还设置有导向封闭门升降轴222的通孔，封闭门升降轴222穿过该通孔。增加下部导向结构，进一步使封闭门220工作更稳定，封闭更紧密。
[0047]
进一步地，还包括压紧机构，压紧机构包括伸缩杆和压紧块227，伸缩杆可手动伸缩或电动伸缩，优选地，伸缩杆为伸缩气缸226，所述伸缩气缸226设置在所述支撑部217上，所述压紧块227连接于所述伸缩气缸的伸缩杆，所述伸缩气缸226伸缩运动，带动所述压紧块227压紧/释放所述封闭门220。如此防止封闭门220移动，使设备更可靠的工作。
[0048]
在一种可能的实施方案中，还包括位置传感器230和控制器，所述位置传感器230设置于所述物料通过口一侧，用于感应物料到位信号，所述位置传感器230电连接所述控制器，所述控制器电连接所述门体驱动机构，所述控制器用于在接收到所述位置传感器230发送的到位信号时，控制向所述门体驱动机构发送开门/关门指令。设置门控制机构、位置传感器230和控制器，大大的增加了设备的自动性，使设备形成流水线，节省大量人工，并大大提高工作效率。
[0049]
进一步地，所述真空焊接腔体2连接有法兰部，所述位置传感器230包括光电发射部2301和光电接收部，所述光电接收部设置在所述固定板体上，所述光电发射部2301设置在所述法兰部上。
[0050]
在一种可能的实施方案中，所述真空焊接腔体2具有第一物料通过口201和第二物料通过口202即为入料通过口和出料通过口；所述真空焊接腔体2的空腔内设置输送机构，所述输送机构的输入端延伸至所述第一物料通过口201，所述输送机构的输出端延伸至所述第二物料通过口202。在真空焊接装置腔体内也实现自动化传送。
[0051]
其中，输送机构从第一物料通过口201向第二物料通过口202延伸，所述输送机构一端与入料输送装置1接轨，另一端与出料输送装置3接轨，输送机构与入料输送装置1和出料输送装置3之间均留有避让封闭门220的缝隙。输送机构包括分为两个输送部，其中一个输送部或两个输送部均做成可延与之相连接的真空焊接腔体2侧壁方向滑动，可调的输送部与物料输送装置的可调输送部相匹配，则可调节量输送部之间的距离，针对输送的工件进行宽窄调节，可以适应这种形状和大小的物料。
[0052]
优选地，输送部也包括内部导向体、内部链轮和内部传动链条248，底部还设置有
链条传动轴245，使链条形成环形方便回转。其中一个输送部可滑动形成可调宽窄传输结构，输送部向下延伸形成连接板，连接板上设置丝杠螺母，一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置空腔内设置与丝杠螺母适配的调宽窄传动丝杠241，调宽窄传动丝杠241与设有物料通过口的侧壁平行，与设有物料通过口的侧壁相邻的侧壁上开设有丝杠通过孔，调宽窄传动丝杠241穿过丝杠通过孔连接有调宽窄传动丝杠动力系统247，调宽窄传动丝杠动力系统247可为电机。丝杠通过孔处设置有旋转密封接头，防止影响真空环境。连接板上还设置有导向孔，与丝杠平行的设置有导向轴242，导向轴242穿过导向孔两端与真空焊接腔体空腔内的隔热内衬板金243连接。真空焊接腔体空腔内还设置有加热管244，所述加热管244设置在输送部下方。
[0053]
进一步地，所述真空焊接装置包括旋转挡板251和旋转电机252，所述真空焊接腔体2的壳壁上设置有贯通口，所述旋转电机252设置于所述真空焊接腔体2外部，所述旋转电机252的旋转轴穿过所述贯通口，延伸至所述空腔内，所述旋转挡板251位于所述空腔内，且连接于所述旋转电机252的旋转轴，所述旋转轴与所述贯通口之间安装有旋转密封接头218。
[0054]
进一步地，真空焊接腔体2还包括可以开关真空焊接腔体2的上盖体260，所述上盖体260一侧两铰接部件51与真空焊接腔体2可转动活动铰接，与铰接侧相对的另一侧通过伸缩机构与真空焊接腔体2连接，伸缩机构可以为气缸或电机加丝杆结构或电机加链条与链轮14结构或电机加柔性绳加滑轮几种结构中的一种。优选地，伸缩机构为电动推杆262，电动推杆262伸缩端与上盖体260连接，固定端与真空焊接腔体2连接，当电动推杆262作伸缩运动时，上盖体260作开合动作。所述上盖体260内还设置有石英管263和辐射加热管264。真空焊接腔体2内也设置有加热管，且真空焊接腔体2内加热管（辐射加热）与上盖体260的辐射加热管264呈垂直分布，以保证真空仓内的温度均匀性。
[0055]
实施例中真空焊接装置的具体工作流程如下：驱动电机214启动，根据预加工的物料的宽度尺寸，驱动电机214带动丝杠215转动，该丝杠螺母216固定于滑动板体212上，则滑动板体212上在驱动电机214与传动丝杠215的带动下作左右移动以调宽窄，并达到使预加工的物料可以放在第一输送部上进行传输。当预加工的物料可以放在第一输送部时，则在第一输送部中的传动链将带动预加工的物料沿第一输送部向真空焊接腔体2运动。当预加工的物料传输至接近封闭门220时，并触发位置传感器230，系统接收物料传输至接近封闭门220的到位信号，此时封闭门220的伸缩气缸226动作，带动封闭门220打开。
[0056]
当位置传感器230检测到预加工的物料到位信号后，封闭门220的伸缩气缸226带动压紧块227拉回，则封闭门220解除压紧状态，封闭门220的升降气缸225进行拉回动作，则封闭门220在封闭门220侧边导向部221与底端导向杆的导向作用下，将封闭门220向下拉回，使真空焊接装置空腔内的传输结构得以与第一输送部上的预加工的物料接驳传输。
[0057]
当位置传感器230检测到工件后，封闭门220打开，则工件在传动链条15的持续传动下，工件进入真空焊接腔体2内部的传输链条并继续向真空舱内部传动，直至工件传输至运动设定时间或到达旋转挡板251（真空焊接装置空腔内部传输链条向真空舱内部传动工件时，旋转挡板251为与地面垂直状态）后停止，然后进入工艺生产。
[0058]
当真空生产工艺完成之后，旋转挡板251旋转为与地面平行状态，此时出口处的封
闭门220打开，将工件传输出真空舱，且由冷却区的传输链条接驳（与预热区与真空舱之间的接驳与传输结构相同，仅结构上互为镜像，不再赘述），且当位置传感器230在检测到工件（有触发信号反馈）后，并取位置传感器230下降沿信号有效（被检测光电脱离检测），出口处的封闭门220关闭，一个工件的真空加热生产周期完成。
[0059]
本实施例的真空焊接装置可以达到以下有益效果：1.实现了真空焊接装置的工作自动化流水式工作，不需要人工辅助，大量的节省了人力物力和时间。
[0060]
2.设置电动升降的封闭门，进一步实现工作的自动化，封闭门可靠的升降，并对可升降真空舱门预压紧，以实现可靠的抽真空。
[0061]
3.上真空舱可以旋转开合，便于后期使用的保养维护。
[0062]
4.增加了板到位的传感器，可以有效检测预加工物料是否到位，进一步实现工作的自动化。
[0063]
5.真空腔内部传输导轨增加了导向系统，又进一步的实现工作的自动化。
[0064]
6.真空腔尽可能体积小，可以有效节约氮气的使用量。
[0065]
实施例二参见图6-11所示，在实施例一的基础上本实施例提供一种用于芯片可靠性封装焊接领域的真空焊接装置包括真空焊接腔体2、第一密封圈41和第一冷却装置，第一密封圈41设置于所述真空焊接腔体2，且环绕所述物料通过口一周设置；第一冷却装置设置于所述真空焊接腔体2，且沿所述物料通过口周向设置，用于冷却所述第一密封圈41。
[0066]
在上述方案中，物料通过口周向设置密封圈，对炉体内部进行密封，方便形成密封环境，但是密封圈采用的材质均不能长时间受高温，若长时间经受高温，易导致密封圈老化，降低密封圈使用寿命，并不能可靠的使设备工作，在密封圈周圈设置第一冷却装置，工作时对密封圈进行降温，延长密封圈的使用寿命，并增加设备的稳定性。
[0067]
进一步地，所述真空焊接腔体2上环绕所述物料通过口一周设置第一凹槽42；所述第一冷却装置包括设置在所述真空焊接腔体2上的第一冷却通道44；所述第一冷却通道44嵌入设置于所述第一凹槽42内。物料通道口设置有开关物料通道口的封闭门220，为了不影响封闭门220的开关，将第一冷却通道44嵌入式的设置在料通道口的周圈。
[0068]
进一步地，所述真空焊接腔体2包括第一侧壁43，所述第一侧壁43上设置所述物料通过口；所述第一侧壁43的第一表面开设所述第一凹槽42，所述第一侧壁43的第二表面开设有连通所述第一冷却通道44的冷却介质入口441和冷却介质出口442。即第一冷却通道44与第一冷却通道44的冷却介质入口441和冷却介质出口442分设在第一侧壁43的两侧。其中优选地，第一表面为第一侧壁43的外表面。如此设计，第一冷却通道44设置在真空焊接装置的炉体外，这样对密封圈降温时不会影响到炉内的温度，不影响炉内的工件加工温度。并且第一冷却通道44的冷却介质入口441和冷却介质出口442设置在第一侧壁43的另一侧不会影响物料通道口的封闭门220的开关。
[0069]
所述真空焊接腔体2还包括第二侧壁45；所述第二侧壁45连接于所述第一侧壁43且将所述第一侧壁43的第二表面分割为第一壁面和第二壁面；所述物料通过口位于所述第一壁面；所述冷却介质入口441和冷却介质出口442设置于所述第二壁面。即第一侧壁43分为炉体内和炉体外两部分，冷却介质入口441和冷却介质出口442设置于炉体外的部分上，
如此设计第一冷却通道44的走线均不会经过真空焊接装置的炉体内不会影响到炉内的温度，不影响炉内的工件加工温度。
[0070]
进一步地，所述真空焊接腔体2包括两相对设置的第一侧壁43；所述物料通过口包括第一物料通过口201和第二物料通过口202，两所述物料通过口分设于两所述第一侧壁43上。即真空焊接腔体2两侧均设置有物料通过口，第一物料通过口201为未加工的物料进口，第二物料通过口202为加工好的物料出口，均设置有密封圈，也均相应设置有相同的第一冷却装置。
[0071]
在一种可能的实施方案中，还包括第二冷却装置，所述真空焊接腔体2具有上开口，所述上盖体260用于闭合/打开所述上开口；环绕所述上开口一周设置第二密封圈；所述真空焊接腔体2具有沿所述上开口一周设置的第一法兰部，所述上盖体260具有盖本体和环绕盖本体一周设置的第二法兰部52，所述第二冷却装置包括沿所述第二法兰部52周向设置的第二冷却通道。上盖体260和炉体均设置有法兰部，法兰部不耐受高温，受高温易造成不稳定，在上盖体260和/或真空焊接腔体2上的法兰部上设置第二冷却装置，可以保证法兰的稳定性，也能保证设备可靠的工作。
[0072]
进一步地，所述第二法兰部52一侧通过间隔设置的两铰接部件51连接于所述真空焊接腔体2；所述第二法兰部52上与所述铰接部件51相对一侧连接于伸缩机构的伸缩端；所述第二冷却通道包括第一冷却段531、第二冷却段532和第三冷却段533；所述第一冷却段531和第二冷却段532分别设置于所述第二法兰部52相对的两侧，且均位于所述铰接部件51和伸缩机构之间；所述第三冷却段533位于两所述铰接部件51之间。上盖体260通过两铰接部件51与真空焊接腔体2连接，第二冷却通道需要避让连接使用的铰接部件51，如此使上盖体260连接简便，打开关闭也不影响冷却装置的使用。
[0073]
在一种可能的实施方案中，还包括三冷却装置，所述位置传感器230包括光电发射部2301，所述光电发射部2301安装在所述第三冷却装置上；所述第三冷却装置对应所述光电发射部设置有避让通槽61。该冷却装置即能对光电发射部2301进行冷却，又不影响光电发射部2301的信号传输。
[0074]
进一步地，所述第三冷却装置内设置有水冷通道62和气冷通道63；所述第三冷却装置的水冷通道62包括进水接头621和出水接头622；所述进水接头621和所述出水接头622分别连接所述水冷通道62的两端；所述第三冷却装置包括进气接头631，所述进气接头631连接于所述气冷通道63的进口，所述气冷通道63的出口连通于所述避让通槽61。
[0075]
水冷通道62在所述信号传输通道周侧形成u形冷却结构；气冷通道63通过进气接头631连接信号传输通道，在进气接头631进气，在避让通槽61出气，使第三冷却装置结构更简单也更结实。
[0076]
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

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