一种晶圆运输用板车的制作方法

本实用新型涉及晶圆运输设备技术领域，具体是一种晶圆运输用板车。

背景技术：

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。晶圆的衬底材料有硅、锗等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有技术中，晶圆在车间生产加工过程中，往往需要工作人员使用板车将晶圆半成品运输至下一道工序的车间进行再加工，在此运输过程中，晶圆放置在板材上，如遇到震动，晶圆发生碰撞，会严重影响晶圆的品质，严重的会直接导致晶圆半成品报废，因此运输晶圆半成品的板车需要有很好的防震性能。

技术实现要素：

为了解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种晶圆运输用板车。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆运输用板车，包括握把、轮架、轮架弹簧和轮，所述握把下方设置有左右对称的两个所述轮架，所述轮架底部设置有所述轮架弹簧和轮；所述握把底部焊接固定在放置平板上端面且焊接处左右两侧对称焊接有加强筋，提高焊接处的强度；所述放置平板滑动安装在连接框的轨道内，所述连接框上方加工有限位板，起到限位作用，保证所述放置平板不会从所述轨道内脱落；所述连接框底部焊接固定有所述轮架；所述连接框内部为空腔，所述放置平板下端面和所述连接框底部内壁间通过减震器连接，起到二级减震的技术效果，振动发生时所述放置平板在所述轨道内上下滑动，且通过所述减震器达到减震效果；所述放置平板下端面中心处焊接固定有连接板，所述连接板下端面焊接固定有数量大于二的减震板，所述减震板通过固定扣固定在一起，底部所述减震板左右两端通过固定脚固定在所述连接框底部内壁，所述减震板形变可以起到三级减震的技术效果。

作为本实用新型的进一步方案:所述减震器包括上部板、滑杆、减震器弹簧、下部板，所述上部板上端面焊接固定在所述放置平板下端面，所述上部板下端面焊接固定有所述滑杆，所述滑杆底部滑动安装在所述下部板内，所述滑杆上套有所述减震器弹簧，所述下部板底面焊接固定在所述连接框底部内壁。

作为本实用新型的进一步方案:所述固定脚包括转动连接件、滑块、固定脚弹簧，所述转动连接件顶部焊接固定在所述减震板上，所述滑块上部转动安装在所述转动连接件上，所述滑块下部滑动安装在滑槽内，所述滑槽开设于所述连接框底部内壁，所述滑块下部与所述滑槽的空隙处放置有固定脚弹簧，起到固定所述减震板的作用，同时所述减震板发生形变时保证所述减震板的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

板车运输过程中，除了所述轮架弹簧可以进行减震，所述减震器可以进行二级减震，所述减震板可以进行三级减震，同时保证轮架的稳定性不受影响，且所述减震器和所述减震板安装在所述放置平板和所述连接框之间，处于密封环境，使用寿命长，稳定性好，不易损坏。本实用新型通过设置所述减震器和所述减震板，进一步提高了板车运输过程中的减震效果，使运送过程中晶圆半成品不会发生震动造成碰撞，对企业提高经济效益有积极意义。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1中a部分的放大图。

图3为图1中b部分的放大图。

图中：1-握把，2-轮架，3-轮架弹簧，4-加强筋，5-放置平板，6-连接框，7-轨道，8-减震器，9-上部板，10-滑杆，11-减震器弹簧，12-下部板，13-连接板，14-减震板，15-固定扣，16-固定脚，17-转动连接件，18-滑块，19-滑槽，20-固定脚弹簧，21-限位板，22-轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，一种晶圆运输用板车，包括握把1、轮架2、轮架弹簧3和轮22，所述握把1下方设置有左右对称的两个所述轮架2，所述轮架2底部设置有所述轮架弹簧3和轮22；所述握把1底部焊接固定在放置平板5上端面且焊接处左右两侧对称焊接有加强筋4，提高焊接处的强度；所述放置平板5滑动安装在连接框6的轨道7内，所述连接框6上方加工有限位板21，起到限位作用，保证所述放置平板5不会从所述轨道7内脱落；所述连接框6底部焊接固定有所述轮架2；所述连接框6内部为空腔，所述放置平板5下端面和所述连接框6底部内壁间通过减震器8连接，起到二级减震的技术效果，振动发生时所述放置平板5在所述轨道7内上下滑动，且通过所述减震器8达到减震效果；所述减震器8包括上部板9、滑杆10、减震器弹簧11、下部板12，所述上部板9上端面焊接固定在所述放置平板5下端面，所述上部板9下端面焊接固定有所述滑杆10，所述滑杆10底部滑动安装在所述下部板12内，所述滑杆10上套有所述减震器弹簧11，所述下部板12底面焊接固定在所述连接框6底部内壁；所述放置平板5下端面中心处焊接固定有连接板13，所述连接板13下端面焊接固定有数量大于二的减震板14，所述减震板14通过固定扣15固定在一起，底部所述减震板14左右两端通过固定脚16固定在所述连接框6底部内壁，所述减震板14形变可以起到三级减震的技术效果；

所述固定脚16包括转动连接件17、滑块18、固定脚弹簧20，所述转动连接件17顶部焊接固定在所述减震板14上，所述滑块18上部转动安装在所述转动连接件17上，所述滑块18下部滑动安装在滑槽19内，所述滑槽19开设于所述连接框6底部内壁，所述滑块18下部与所述滑槽19的空隙处放置有固定脚弹簧20，起到固定所述减震板14的作用，同时所述减震板14发生形变时保证所述减震板14的稳定性。

本实用新型的工作原理是:板车运输过程中，除了所述轮架弹簧3可以进行减震，所述减震器8可以进行二级减震，所述减震板14可以进行三级减震，同时保证轮架的稳定性不受影响，且所述减震器8和所述减震板14安装在所述放置平板5和所述连接框6之间，处于密封环境，使用寿命长，稳定性好，不易损坏。本实用新型通过设置所述减震器8和所述减震板14，进一步提高了板车运输过程中的减震效果，使运送过程中晶圆半成品不会发生震动造成碰撞，对企业提高经济效益有积极意义。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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