用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌ZnS薄膜的腐蚀液及腐蚀方法与流程

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液及腐蚀方法。

背景技术：

红外焦平面探测技术具有光谱响应波段宽、可获得更多地面目标信息、能昼夜工作等显著优点，广泛应用于农牧业、森林资源的调查、开发和管理、气象预报、地热分布、地震、火山活动，太空天文探测等领域。

碲镉汞红外探测器是红外探测技术的代表产品之一，探测器制备过程中首先需要在碲镉汞材料表面生长一层zns薄膜将碲镉汞材料与外部环境隔离并起到绝缘作用，然后再根据后续工艺需要在特定位置将碲镉汞材料表面的zns膜层通过湿法腐蚀的工艺去除。但是，在实际操作过程中，湿法腐蚀zns膜层工艺通常存在腐蚀速率过快、需要冰浴、生成大量气体影响腐蚀均匀性等问题。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液及腐蚀方法，用以解决现有技术中湿法腐蚀zns膜均匀性差的问题。

根据本发明实施例的用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液，包括：作为溶剂的水h2o、以及溶于h2o的溶质，溶质包括碘化钾ki和氢氧化钾koh。

根据本发明的一些实施例，

ki的含量大于等于1克且小于等于10克；

koh的含量大于等于0.1克且小于等于1克；

h2o的含量大于等于50毫升且小于等于150毫升。

根据本发明的一些实施例，

ki的含量为2.5克；

koh的含量为0.1克；

h2o的含量为70毫升。

根据本发明的一些实施例，

溶质还包括：碘溶质i2。

根据本发明的一些实施例，

i2的含量大于等于1克且小于等于10克。

根据本发明的一些实施例，

i2的含量为2.5克。

根据本发明实施例的碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀方法，包括：

制备腐蚀液，腐蚀液为如上的用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液；

将表面具有zns薄膜的碲镉汞放置在腐蚀液中静置预设时间段后取出。

采用本发明实施例，腐蚀液可以与zns在常温下发生化学反应，实现对碲镉汞表面的zns薄膜的常温腐蚀，整个反应过程速率慢、且无发热，可以实现对腐蚀度的精确控制，腐蚀液的配置简单且成分便宜、容易获取，大大降低了腐蚀成本，而且腐蚀后也容易清洗。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本发明的示例性实施例。虽然附图中显示了本发明的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本发明，并且能够将本发明的范围完整的传达给本领域的技术人员。

第一实施例

根据本发明实施例的用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液，包括：作为溶剂的水h2o、以及溶于h2o的溶质，溶质包括碘化钾ki和氢氧化钾koh。

采用本发明实施例，腐蚀液可以与zns在常温下发生化学反应，实现对碲镉汞表面的zns薄膜的常温腐蚀，整个反应过程速率慢、且无发热，可以实现对腐蚀度的精确控制，腐蚀液的配置简单且成分便宜、容易获取，大大降低了腐蚀成本，而且腐蚀后也容易清洗。

第二实施例

根据本发明实施例的用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液，包括：作为溶剂的水h2o、以及溶于h2o的溶质，溶质包括碘化钾ki和氢氧化钾koh。其中，ki的含量大于等于1克且小于等于10克；koh的含量大于等于0.1克且小于等于1克；h2o的含量大于等于50毫升且小于等于150毫升。

第三实施例

根据本发明实施例的用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液，包括：作为溶剂的水h2o、以及溶于h2o的溶质，溶质包括碘化钾ki和氢氧化钾koh。其中，ki的含量为2.5克；koh的含量为0.1克；h2o的含量为70毫升。

第四实施例

与第三实施例不同的是，在本实施例中，溶质还包括：碘溶质i2。

第五实施例

与第三实施例不同的是，在本实施例中，溶质还包括：碘溶质i2。i2的含量大于等于1克且小于等于10克。

第六实施例

与第三实施例不同的是，在本实施例中，溶质还包括：碘溶质i2。i2的含量为2.5克。

根据本发明实施例的碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀方法，包括：

制备腐蚀液，腐蚀液为如上的用于腐蚀碲镉汞表面硫化锌zns薄膜的腐蚀液；

将表面具有zns薄膜的碲镉汞放置在腐蚀液中静置预设时间段后取出。

在碱性环境下，zns可以与腐蚀液发生化学反应，反应式如下：

该化学反应在碱性环境下进行，其中，koh用于为反应提供碱性环境。

通过调节腐蚀液浓度和koh含量，可以提高腐蚀速率。

采用本发明实施例，腐蚀液可以与zns在常温下发生化学反应，实现对碲镉汞表面的zns薄膜的常温腐蚀，整个反应过程速率慢、且无发热，可以实现对腐蚀度的精确控制，腐蚀液的配置简单且成分便宜、容易获取，大大降低了腐蚀成本，而且腐蚀后也容易清洗。

需要说明的是，尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

起点商标作为专业知识产权交易平台，可以帮助大家解决很多问题，如果大家想要了解更多知产交易信息请点击 【在线咨询】或添加微信 【19522093243】与客服一对一沟通，为大家解决相关问题。

此文章来源于网络,如有侵权,请联系删除