一种热处理工艺的管式退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，特别涉及一种热处理工艺的管式退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。退火一般用于改善物质的塑性和韧性，同时将其软化，使化学成分均匀化，去除残与应力，退火工艺是将物质加热到一定温度，保持一定时间后，以一定的速度冷却。

退火过程中，退火炉内部会产生大量的热量，而当前的退火炉没有很好的热量回收装置，导致产生的热量大量散失，导致能量的损耗，不利于环保，而且在将工件放入炉膛前需要对较潮湿的工件预先烘干，而烘干工件需要消耗较多的能量，增大操作的成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种热处理工艺的管式退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热处理工艺的管式退火炉，所述炉体的一侧设置有热量回收装置，所述热量回收装置由出风管组成，所述炉体的一侧固定连接有风机，所述风机的进风端套接有抽风管，所述抽风管的一端贯穿炉体的顶部一侧，且所述抽风管的一端延伸至炉体的内腔中，所述风机的出风端套接有出风管，所述出风管的中部套接有单向阀，所述炉体的一侧设置有干燥箱，所述出风管的一端贯穿干燥箱延伸至干燥箱的内腔中，所述干燥箱的内壁上方固定卡接有滤网，所述滤网的顶部设置有干燥剂包，所述干燥箱的内壁下方两侧对称固定连接有固定块，两个所述固定块之间通过滑槽滑动连接有滑板，所述滑板的一端与干燥箱的一侧滑动穿插连接。

优选的，所述炉体的一侧固定连接有承载盒，所述承载盒的内壁一侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器传动连接有转杆，所述转杆的一端贯穿炉体的一侧延伸至炉腔的内部，且所述转杆的一端通过轴承与炉腔的内壁一侧转动连接，所述转杆的外壁固定套接有滚筒，所述滚筒的一侧设置有筒盖，所述筒盖的一侧设置有锁定机构，所述滚筒的内壁固定连接有防磨垫。

优选的，所述干燥箱的顶部一侧固定穿插连接有出气管。

优选的，所述炉体的内壁固定连接有耐火砖，所述炉体的内侧设置有炉腔，所述炉体与炉腔之间设置有保温层，所述炉腔的内壁中设有多个电热丝，多个所述电热丝等距间隔设置，多个所述电热丝通过外接开关与外部电源电性连接。

优选的，所述炉体的顶部一侧通过合页铰接有炉门，所述炉门的一侧固定连接有密封垫，所述炉体的底部固定连接有支撑座。

优选的，所述驱动电机通过外接开关与外部电源电性连接。

本实用新型的技术效果和优点：

（1）本实用新型通过干燥箱、干燥剂包和滑板的配合使用，实现了将退火炉内部产生的热量回收，并且用于对需要进行退火的管材进行干燥的目的，降低了能量的损耗，提高了装置的实用性；

（2）本实用新型通过滚筒的设置，将管材放入滚筒中进行转动，管材的受热更加均匀，从而提高了管材的退火效果。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图。

图2为本实用新型正面剖视结构示意图。

图3为本实用新型炉体侧面剖视结构示意图。

图中：1、炉体；101、承载盒；2、炉腔；201、电热丝；3、保温层；4、驱动电机；5、转杆；6、滚筒；7、筒盖；8、风机；9、出风管；901、单向阀；10、干燥箱；11、干燥剂包；12、固定块；13、滑板；14、出气管；15、炉门；16、支撑座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种热处理工艺的管式退火炉，包括炉体1，炉体1的一侧设置有热量回收装置，热量回收装置由出风管9组成，炉体1的一侧固定连接有风机8，风机8通过外接开关与外部电源电性连接，风机8的进风端套接有抽风管，抽风管的一端贯穿炉体1的顶部一侧，且抽风管的一端延伸至炉体1的内腔中，风机8的出风端套接有出风管9，出风管9的中部套接有单向阀901，设有单向阀901避免气体产生回流的现象，炉体1的一侧设置有干燥箱10，出风管9的一端贯穿干燥箱10延伸至干燥箱10的内腔中，干燥箱10的内壁上方固定卡接有滤网，滤网的顶部设置有干燥剂包11，设有干燥剂包11对炉体1内部产生的气体所含有的水汽进行吸收，避免水汽进入干燥箱10的下方导致待退火的管材变潮湿，导致退火操作产生危险，干燥箱10的内壁下方两侧对称固定连接有固定块12，两个固定块12之间通过滑槽滑动连接有滑板13，滑板13的一端与干燥箱10的一侧滑动穿插连接将管材放置在滑板13上，将其送入干燥箱10进行干燥；

炉体1的一侧固定连接有承载盒101，承载盒101的内壁一侧固定连接有驱动电机4，驱动电机4的输出轴外壁固定套接有减速器，驱动电机4通过外接开关与外部电源电性连接，驱动电机4的输出轴通过联轴器传动连接有转杆5，转杆5的一端贯穿炉体1的一侧延伸至炉腔2的内部，且转杆5的一端通过轴承与炉腔2的内壁一侧转动连接，转杆5的外壁固定套接有滚筒6，滚筒6的一侧设置有筒盖7，滚筒6的内壁固定连接有防磨垫，驱动电机4带动滚筒6转动，使管材各处均匀受热，提高退火的效果，干燥箱10的顶部一侧固定穿插连接有出气管14，出气管14的一侧设置有阀门，以控制干燥箱10内部的气压，出气管14与外部空气相连通，从而使干燥箱10内部的压强保持平衡，炉体1的内壁固定连接有耐火砖，炉体1的内侧设置有炉腔2，炉体1与炉腔2之间设置有保温层3，炉腔2的内壁中设有多个电热丝201，多个电热丝201等距间隔设置，多个电热丝201对炉体1的内部进行加热，以便于退火操作的进行，多个电热丝201通过外接开关与外部电源电性连接，炉体1的顶部一侧通过合页铰接有炉门15，炉门15的顶部固定连接有拉手，方便将炉门15打开，炉门15的一侧固定连接有密封垫，设置密封垫保证炉内密封，提高退火的效果，炉体1的底部固定连接有支撑座16支撑座16对炉体1进行支撑，使退火炉保持稳定放置。

本实用新型工作原理：使用时，先打开炉门15和筒盖7将管材放入滚筒6的内部，关闭筒盖7和炉门15，打开电热丝201的开关，电热丝201对炉腔2的内部进行加热，打开驱动电机4的开关，驱动电机4的输出轴转动带动转杆5转动，转杆5带动滚筒6转动，从而带动管材转动，使其均匀受热，拉动滑板13，将滑板13拉出，将管材放在滑板13上，然后将滑板13推入干燥箱10的内部，打开风机8的开关，风机8将炉体1的内部产生的热量吸入干燥箱10的内部，干燥剂包11将热量中含有的水汽进行吸收干燥，干燥后的气体对管材进行烘干。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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