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一种薄膜生长系统及方法与流程
2021-01-30[0001]本发明涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种薄膜生长系统及方法。背景技术：[0002]真空蒸镀与原子层沉积都为目前先进的薄膜沉积技术。真空蒸镀是将有机或无机化合物加热
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