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[0001]本实用新型涉及靶材镀膜领域,具体涉及一种靶材气相沉积镀膜夹具。背景技术:[0002]在半导体靶材焊接加工过程中,为了保证焊接强度,会在待焊接表面形成一层金属膜层。[
[0001]本实用新型涉及物理气相沉积技术零件镀膜领域,具体涉及用于物理气相沉积的球体零件镀膜夹具。背景技术:[0002]物理气相沉积(简称pvd)是将金属、合金或化合物放在真
[0001]本发明涉及一种高载流子浓度炭膜材料的制备方法,属于表面加工、涂层技术领域。背景技术:[0002]石墨是传统的燃料电池双极板材料,导电性和耐腐蚀性俱佳,并且与气体扩散
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