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用于生长碳化硅晶锭的粉末以及碳化硅晶锭的制备方法与流程
2021-01-30本发明涉及一种包含碳化硅颗粒的用于生长碳化硅晶锭的粉末、以及使用该粉末生长碳化硅晶锭的方法等。背景技术：正在研究碳化硅(sic)，氮化镓(gan)和氮化铝(aln)等宽带半导体
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