本实用新型涉及一种进气装置，尤其涉及一种高真空环境控制压力的进气装置。背景技术：近年来，随着航天器深空探测的发展，对空间环境模拟试验设备的要求越来越高。低气压试验是空间环境模拟

• 分子泵
• 调节阀
• 真空环境
• 控制环境

查看详情

本实用新型属于航天器测试试验技术领域，具体涉及一种超静真空测试装置。背景技术：真空热试验主要用于航天发射前在地面模拟太空中的环境，考核航天器在太空冷黑背景及高低温环境中正常工作

• 分子泵
• 低温泵
• 真空环境
• 真空阀

查看详情

本发明属于吸气式电推进领域，具体涉及一种可为低空间轨道吸气式电推力器捕获、存储、提供稀薄大气工质的装置。背景技术：吸气式电推进系统具有传统电推进系统不具备的优点和技术难点：相对

• 分子泵
• 大气压力

查看详情

本实用新型涉及一种液相提拉晶体生长过程中的放肩过程的晶体形貌调节，特别涉及一种锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置。背景技术：锑化铟晶体在所有已知ⅲ-ⅴ族化合物半导体中具有最

• 分子泵
• 晶体生长
• 晶体
• 高温阀门
• 过程控制

查看详情

[0001]本发明涉及真空薄膜制备技术领域，尤其是一种薄膜生长系统及方法。背景技术：[0002]真空蒸镀与原子层沉积都为目前先进的薄膜沉积技术。真空蒸镀是将有机或无机化合物加热

• 分子泵
• 原子层沉积
• 前驱体

查看详情

本发明涉及等离子体与器壁材料相互作用技术领域，特别是涉及一种直线等离子体实验装置。背景技术：受控核聚变能有希望成为未来社会最主要的能量来源，托卡马克是最主要的受控核聚变装置。等

• 石英玻璃
• 分子泵
• 天线
• 物理
• 等离子体

查看详情