一种多晶硅硅芯的制备方法及其结构与流程
2021-01-30本发明涉及多晶硅生产技术领域,特别是涉及一种多晶硅硅芯的制备方法及其结构。背景技术:目前多晶硅的生产方法主要还是采用改良西门子法,即在化学气相沉积(cvd)反应器内安装多根多晶
掺氮P型硅母合金及制备方法、掺氮多晶硅锭及制备方法与流程
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