一种防丝线断裂的退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种防丝线断裂的退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

在目前所使用的退火炉时，拉丝机将金属丝线拉拔成型后，需要用到过线轮来收卷金属丝线，然而传统的过线轮组收卷丝线时，通常会使金属丝线大幅度摆动，才能实现收卷，尤其在生产超细金属丝线过程中，由于超细金属丝线强度不高，收卷过程中的大幅度摆动容易带来断裂的风险，影响正常作业。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种防丝线断裂的退火炉，具备可以防止丝线断裂，增加退火炉的使用寿命优点，解决了拉丝机在拉线过程中容易导致丝线断裂的问题。

（二）技术方案

为实现上述可以防止丝线断裂，增加退火炉的使用寿命目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防丝线断裂的退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体的内部固定安装有耐火砖墙，所述耐火砖墙的内部固定安装有电阻丝，所述退火炉本体的内部分别开设有插槽与凹槽，所述插槽的内部活动安装有退火托盘，所述凹槽的内部活动安装有凸块，所述凸块的顶部固定安装有炉盖，所述炉盖的底部固定安装有密封圈，所述退火炉本体的底部固定安装有固定块，所述固定块的顶部分别固定安装有螺纹盒与第一电机，所述螺纹盒的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的顶部固定安装有下限位套筒，所述下限位套筒的顶部固定安装有支撑杆，所述支撑杆的一侧固定安装有第二电机，所述支撑杆的顶部固定安装有支撑块，所述支撑块的内部活动安装有转动轴，所述转动轴的外侧固定安装有过线轮，所述支撑块的顶部固定安装有连接杆，所述连接杆的左侧固定安装有上限位套筒。

优选的，所述第一电机的输出轴与螺纹杆的左侧固定连接，方便第一电机转动时能够带动螺纹杆一起转动。

优选的，所述第二电机的输出轴与转动轴的左侧固定连接，方便第二电机转动能够带动转动轴一起转动。

优选的，所述第一电机的底部与第二电机的底部均固定安装有底板，方便第一电机与第二电机的固定安装。

优选的，所述上限位套筒与下限位套筒的形状大小一致，且关于过线轮中心对称分布，防止丝线经过过线轮时上下浮动。

优选的，所述固定块的顶部开设有与螺纹块相匹配的滑动槽，方便螺纹杆转动能够带动螺纹块移动。

优选的，所述电阻丝等距离均匀分布在耐火砖墙的内部，防止电阻丝损坏退火炉本体，防止退火炉本体变形。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种防丝线断裂的退火炉，具备以下有益效果：

1、该防丝线断裂的退火炉，通过当退火炉中的丝线出来经过过线轮时第二电机开始顺时针转动，第二电机将会通过转动轴带动过线轮转动，过线轮的顶部固定安装有上限位套筒与底部固定安装有下限位套筒，而且当丝线向右侧晃动时，第一电机顺时针转动，第一电机将会通过螺纹杆带动螺纹块向右侧运动，反之丝线向左侧运动时第一电机逆时针转动，通过第一电机、上限位套筒与下限位套筒的相互配合使用，从而达到防止丝线断裂。

2、该防丝线断裂的退火炉，通过电阻丝固定安装有耐火墙体的内部，而且退火托盘活动安装在插槽的内部，炉盖将会通过底部固定安装的凸块与密封圈与凹槽配合使用，这样可以达到退火炉本体内部的热量不会散失，而且电阻丝也将不会损坏退火炉本体，从而可以达到增加退火炉本体的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构俯视图；

图3为本实用新型结构图2的仰视图。

图中：1-退火炉本体、2-耐火砖墙、3-电阻丝、4-插槽、5-退火托盘、6-凹槽、7-凸块、8-炉盖、9-密封圈、10-固定块、11-螺纹盒、12-上限位套筒、13-第一电机、14-螺纹杆、15-螺纹块、16-下限位套筒、17-支撑杆、18-支撑块、19-第二电机、20-转动轴、21-连接杆、22-过线轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种防丝线断裂的退火炉，包括退火炉本体1，退火炉本体1的内部固定安装有耐火砖墙2，耐火砖墙2的内部固定安装有电阻丝3，电阻丝3等距离均匀分布在耐火砖墙2的内部，防止电阻丝3损坏退火炉本体1，防止退火炉本体1变形，退火炉本体1的内部分别开设有插槽4与凹槽6，插槽4的内部活动安装有退火托盘5，凹槽6的内部活动安装有凸块7，凸块7的顶部固定安装有炉盖8，炉盖8的底部固定安装有密封圈9，退火炉本体1的底部固定安装有固定块10，固定块10的顶部分别固定安装有螺纹盒11与第一电机13（电机型号采用dl-89824bmc无刷直流电机），螺纹盒11的内部螺纹连接有螺纹杆14，第一电机13的内部固定安装有plc控制器，当螺纹块15向右运动或向左运动至螺纹盒11处时，第一电机13停止转动，第一电机13的输出轴与螺纹杆14的左侧固定连接，方便第一电机13转动时能够带动螺纹杆14一起转动，螺纹杆14的外侧螺纹连接有螺纹块15，固定块10的顶部开设有与螺纹块15相匹配的滑动槽，方便螺纹杆14转动能够带动螺纹块15移动，螺纹块15的顶部固定安装有下限位套筒16，下限位套筒16的顶部固定安装有支撑杆17，支撑杆17的一侧固定安装有第二电机19（电机型号采用c10-43b010hp7.5kw电机），支撑杆17的顶部固定安装有支撑块18，支撑块18的内部活动安装有转动轴20，第二电机19的输出轴与转动轴20的左侧固定连接，方便第二电机19转动能够带动转动轴20一起转动，第一电机13的底部与第二电机19的底部均固定安装有底板，方便第一电机13与第二电机19的固定安装，转动轴20的外侧固定安装有过线轮22，支撑块18的顶部固定安装有连接杆21，连接杆21的左侧固定安装有上限位套筒12，上限位套筒12与下限位套筒16的形状大小一致，且关于过线轮22中心对称分布，防止丝线经过过线轮22时上下浮动。

工作原理:通过当退火炉中的丝线出来经过过线轮22时第二电机19开始顺时针转动，第二电机19将会通过转动轴20带动过线轮22转动，过线轮22的顶部固定安装有上限位套筒12与底部固定安装有下限位套筒16，而且当丝线向右侧晃动时，第一电机13顺时针转动，第一电机13将会通过螺纹杆14带动螺纹块15向右侧运动，反之丝线向左侧运动时第一电机13逆时针转动，通过第一电机13、上限位套筒12与下限位套筒16的相互配合使用，从而达到防止丝线断裂，而且通过电阻丝3固定安装有耐火墙体2的内部，而且退火托盘5活动安装在插槽4的内部，炉盖8将会通过底部固定安装的凸块7与密封圈9与凹槽6配合使用，这样可以达到退火炉本体1内部的热量不会散失，而且电阻丝3也将不会损坏退火炉本体1，从而可以达到增加退火炉本体1的使用寿命。

综上所述，该防丝线断裂的退火炉，通过当退火炉中的丝线出来经过过线轮22时第二电机19开始顺时针转动，第二电机19将会通过转动轴20带动过线轮22转动，过线轮22的顶部固定安装有上限位套筒12与底部固定安装有下限位套筒16，而且当丝线向右侧晃动时，第一电机13顺时针转动，第一电机13将会通过螺纹杆14带动螺纹块15向右侧运动，反之丝线向左侧运动时第一电机13逆时针转动，通过第一电机13、上限位套筒12与下限位套筒16的相互配合使用，从而达到防止丝线断裂，该防丝线断裂的退火炉，通过电阻丝3固定安装有耐火墙体2的内部，而且退火托盘5活动安装在插槽4的内部，炉盖8将会通过底部固定安装的凸块7与密封圈9与凹槽6配合使用，这样可以达到退火炉本体1内部的热量不会散失，而且电阻丝3也将不会损坏退火炉本体1，从而可以达到增加退火炉本体1的使用寿命。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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