一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备的制作方法

[0001]
本实用新型属于磁控溅射技术领域，具体涉及一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备。


背景技术：

[0002]
随着科学技术的发展，真空镀膜技术得到了飞速的发展。薄膜技术可以改变工件表面性能，提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能，从而延长工件的使用寿命。薄膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备，具有很高的经济价值。磁控溅射技术可以制备各种超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜以及各种具有特殊功能的薄膜，在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。
[0003]
经过检索发现，在授权公告号为cn208701195u的中国专利中公开了一种真空溅射镀膜设备，包括密闭腔体，所述密闭腔体内设有基板及安装所述基板的托盘，还包括位于基板上方的靶材，所述靶材内设有提供磁场的永磁铁，所述靶材将靶材材料沉积在基板上的沉积范围为溅射范围，所述靶材的数量大于等于2个，各个靶材的溅射范围部分重叠或全部重叠。
[0004]
但是上述技术方案由于只能为基材表面简单的镀上一层膜，无法为基材表面镀上一些不同形状的膜，而且该设备同时只能对一个基材进行镀膜，从而降低了生产效率。


技术实现要素：

[0005]
本实用新型的目的在于提供一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜设备，旨在解决现有技术中的无法为基材表面镀上一些不同形状的膜的问题和只能同时对一个基材进行镀膜的问题。
[0006]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括一个密闭舱体，所述密闭舱体顶部内壁分别焊接有两个喷码组件，所述密闭舱体两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体内部和两侧，所述传送装置顶部外壁分别焊接有两个基座。
[0007]
为了使得靶材的更换和对喷码组件内部的清理变得方便，作为本实用新型一种优选的，所述喷码组件包括保护壳、顶盖、永磁铁、支撑板、靶材、靶材固定柱和喷码头，所述保护壳的顶部外壁焊接于密闭舱体的顶部内壁上，所述顶盖通过合页固定于保护壳的顶部内壁，所述支撑板通过螺丝固定于保护壳两侧内壁，所述永磁铁通过螺纹固定于支撑板顶部外壁，所述靶材固定柱为中空结构，所述靶材固定柱底部外壁焊接于保护壳底部内壁，所述靶材通过螺纹固定于靶材固定柱顶部外壁，所述喷码头通过螺纹固定于靶材固定柱底部外壁。
[0008]
为了避免传送装置因某些原因产生晃动之后影响镀膜的准确性，作为本实用新型一种优选的，所述所述传送装置包括第一支撑架、第二支撑架、第三支撑架、六个转动电机、三个传送带和过渡感应板，所述第二支撑架底部通过螺丝固定于密闭舱体底部内壁，六个
所述转动电机分别通过螺丝固定于第一支撑架的顶部侧壁、第二支撑架的顶部侧壁和第三支撑架的顶部侧壁，所述三个传送带分别套接于六个转动电机的输出轴上，所述过渡感应板焊接于第二支撑架顶部外壁。
[0009]
为了当设备内部出现一些问题时，可以及时发现及时处理，避免出现一些不必要的损失，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体一侧外壁通过卡槽和密封条固定有钢化玻璃。
[0010]
为了让密闭舱体内部变得明亮，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体顶部内壁通过螺丝固定有照明灯。
[0011]
为了有效保护密闭舱体内的真空环境，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体相对两侧外壁开口处分别焊接有第一过渡仓和第二过渡仓。
[0012]
为了让工作人员更好的了解密闭舱体内的气压情况，作为本实用新型一种优选的，所述密闭舱体一侧外壁焊接有气泵，所述气泵一侧外壁通过螺丝固定有指示灯，所述密闭舱体一侧外壁通过螺丝固定有压力表。
[0013]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
[0014]
1、通过设置喷码组件，可以让镀膜设备对基材进行不同形状的镀膜，提升了镀膜设备的实用性。
[0015]
2、通过在镀膜设备内部设置多个喷码组件和对应基座，通过传送装置的带动，可以让镀膜设备同时对多个基材进行镀膜，加快了工作效率。
[0016]
3、通过设置有过渡仓，避免了密闭舱体内真空环境直接与外界进行接触，从而保证了镀膜工作所需要的环境，提高了镀膜的质量。
附图说明
[0017]
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
[0018]
图1为本实用新型中的主视结构示意图；
[0019]
图2为本实用新型中的侧视结构示意图；
[0020]
图3为本实用新型中的密闭舱体剖视图；
[0021]
图4位本实用新型中的喷码组件剖视图；
[0022]
图中：1-密闭舱体；2-顶盖；3-第一过渡仓；4-基座；5-转动电机；6
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第二支撑架；7-压力表；8-指示灯；9-气泵；10-第二过渡仓；11-传送带； 12-钢化玻璃；13-照明灯；14-喷码组件；15-喷码头；16-第一支撑架；17
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靶材；18-支撑板；19-永磁铁；20-靶材固定柱；21-保护壳；22-过渡感应板； 23-第二密封门；24-第一密封门；25-第三支撑架。
具体实施方式
[0023]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0024]
请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种内置喷码组件的靶材溅射镀膜
设备，包括一个密闭舱体1，所述密闭舱体1两侧外壁分别焊接有第一密封门24和第二密封门23，所述密闭舱体1顶部内壁分别焊接有两个喷码组件14，所述密闭舱体1两侧外壁分别设有开口，所述密闭舱体1两侧外壁开口处焊接有传送装置，所述传送装置分别设置于密闭舱体1内部和两侧，所述传送装置顶部外壁分别焊接有两个基座4。
[0025]
在本实用新型的具体实施例中，当传送装置将基座4传送到与喷码组件 14上下对应位置时，喷码组件14可同时对两个基座4上的基材进行镀膜，镀膜结束后可通过传送装置将基材传送出密闭舱体1，此时另外两个基座也已经通过传送装置传送至与喷码组件14上下对应位置，然后喷码组件14继续进行镀膜工作，这样就形成了流水线作业，加快了工作效率，同时可以对喷码装置14进行相应设置，让喷码装置14可以对基材进行不同形状的镀膜作业。
[0026]
具体的，所述喷码组件14包括保护壳21、顶盖2、永磁铁19、支撑板 18、靶材17、靶材固定柱20和喷码头15，所述保护壳21的顶部外壁焊接于密闭舱体1的顶部内壁上，所述顶盖2通过合页固定于保护壳21的顶部内壁，所述支撑板18通过螺丝固定于保护壳21两侧内壁，所述永磁铁19通过螺纹固定于支撑板18顶部外壁，所述靶材固定柱20为中空结构，所述靶材固定柱20底部外壁焊接于保护壳21底部内壁，所述靶材17通过螺纹固定于靶材固定柱20顶部外壁，所述喷码头15通过螺纹固定于靶材固定柱20底部外壁。
[0027]
本实施例中：当需要为基材镀上各种形状的镀膜时，可以通过更换喷码头15来实现镀膜的形状变换，永磁铁19可以提供喷码组件14所需要的磁场，当需要对喷码组件内部进行清理和更换靶材时，可通过打开顶盖2来完成对喷码组件14内部进行清理和更换靶材的工作，从而使靶材的更换和对喷码组件14内部的清理变得方便。
[0028]
具体的，所述传送装置包括第一支撑架16、第二支撑架6、第三支撑架 25、六个转动电机5、三个传送带11和过渡感应板22，所述第一支撑架16 底部外壁通过螺丝固定于地面，所述第二支撑架6底部通过螺丝固定于密闭舱体1底部内壁，所述第三支撑架25通过螺丝固定于地面，六个所述转动电机5分别通过螺丝固定于第一支撑架16的顶部侧壁、第二支撑架6的顶部侧壁和第三支撑架25的顶部侧壁，所述三个传送带11分别套接于六个转动电机5的输出轴上，所述过渡感应板22焊接于第二支撑架6顶部外壁。
[0029]
本实施例中：当传送装置开始传送基座4进入密闭舱体1时，通过支撑架与地面之间的固定连接，让整个传送装置运行起来更加的稳定，不易产生晃动，避免了传送装置因某些原因产生晃动之后影响了镀膜的准确性。
[0030]
具体的，所述密闭舱体1一侧外壁通过卡槽和密封条固定有钢化玻璃12。
[0031]
本实施例中：当镀膜设备进行工作时，可通过钢化玻璃12对设备内部进行查看，当设备内部出现一些问题时，可以及时发现及时处理，避免出现一些不必要的损失。
[0032]
具体的，所述密闭舱体1顶部内壁通过螺丝固定有照明灯13。
[0033]
本实施例中：当镀膜设备运作时，可以打开照明灯13对密闭舱体1内部进行照明，让密闭舱体内部变得明亮，从而方便工作人员对密闭舱体内进行观察。
[0034]
具体的，所述密闭舱体1一侧外壁焊接有气泵9，所述气泵9一侧外壁通过螺丝固定有指示灯8，所述密闭舱体1一侧外壁通过螺丝固定有压力表7。
[0035]
本实施例中：可通过压力表7来了解密闭舱体1内的气压，当密闭舱体1 内部气压正常时，指示灯8亮绿灯，当气压到达警戒线时，指示灯8会亮起红灯提醒工作人员，此时工
作人员可以操控气泵9对密闭舱体1内进行抽气，从而维持密闭仓体1内的真空环境，通过设置了指示灯8和压力表7，可以让工作人员更好的了解密闭舱体1内的气压情况。
[0036]
具体的，所述密闭舱体1相对两侧外壁开口处分别焊接有第一过渡仓3 和第二过渡仓10。
[0037]
本实施例中：当基材通过传送装置处送出密闭舱体1时，为了保持密闭舱体1内部的真空环境，所述第一密封门24感应到在第一支撑架上的基座4 接近时，第一密封门24会打开，此时基座4会进入第二支撑架6的顶部传送带11，此时第一密封门关闭，此时打开气泵9让密闭舱体1变成真空状态，此时设备对基座上的基材进行镀膜，镀膜结束后通过第二支撑架上的传送带 11将基座传送至过渡感应板22上方，此时过渡感应板22感应到基座4，然后第二密封门23通过过渡感应板22的提示打开，此时基座4通过过渡感应板进入第三支撑架25上方的传送带11，然后第二密封门23关闭，通过这些操作，不会让密闭舱体1内的真空立刻与外界进行接触，从而有效保护了密闭舱体1内的真空环境。
[0038]
本实用新型的工作原理及使用流程：当传送装置将基座4传送到与喷码组件14上下对应位置时，喷码组件14可同时对两个基座4上的基材进行镀膜，镀膜结束后可通过传送装置将基材传送出密闭舱体1，此时另外两个基座也已经通过传送装置传送至与喷码组件14上下对应位置，然后喷码组件14 继续进行镀膜工作，这样就形成了流水线作业，加快了工作效率，同时可以对喷码装置14进行相应设置，让喷码装置14可以对基材进行不同形状的镀膜作业，当需要为基材镀上各种形状的镀膜时，可以通过更换喷码头15来实现镀膜的形状变换，永磁铁19可以提供喷码组件14所需要的磁场，当需要对喷码组件内部进行清理和更换靶材时，可通过打开顶盖2来完成对喷码组件14内部进行清理和更换靶材的工作，从而使靶材的更换和对喷码组件14 内部的清理变得方便，当传送装置开始传送基座4进入密闭舱体1时，通过支撑架与地面之间的固定连接，让整个传送装置运行起来更加的稳定，不易产生晃动，避免了传送装置因某些原因产生晃动之后影响了镀膜的准确性，当镀膜设备进行工作时，可通过钢化玻璃12对设备内部进行查看，当设备内部出现一些问题时，可以及时发现及时处理，避免出现一些不必要的损失，当镀膜设备运作时，可以打开照明灯13对密闭舱体1内部进行照明，让密闭舱体内部变得明亮，从而方便工作人员对密闭舱体内进行观察，可通过压力表7来了解密闭舱体1内的气压，当密闭舱体1内部气压正常时，指示灯8 亮绿灯，当气压到达警戒线时，指示灯8会亮起红灯提醒工作人员，此时工作人员可以操控气泵9对密闭舱体1内进行抽气，从而维持密闭仓体1内的真空环境，通过设置了指示灯8和压力表7，可以让工作人员更好的了解密闭舱体1内的气压情况，当基材通过传送装置处送出密闭舱体1时，为了保持密闭舱体1内部的真空环境，所述第一密封门24感应到在第一支撑架上的基座4接近时，第一密封门24会打开，此时基座4会进入第二支撑架6的顶部传送带11，此时第一密封门关闭，此时打开气泵9让密闭舱体1变成真空状态，此时设备对基座上的基材进行镀膜，镀膜结束后通过第二支撑架上的传送带11将基座传送至过渡感应板22上方，此时过渡感应板22感应到基座4，然后第二密封门23通过过渡感应板22的提示打开，此时基座4通过过渡感应板进入第三支撑架25上方的传送带11，然后第二密封门23关闭，通过这些操作，不会让密闭舱体1内的真空立刻与外界进行接触，从而有效保护了密闭舱体1内的真空环境。
[0039]
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本
实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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