一种溅射镀膜上料系统的制作方法

[0001]
本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜上料系统。


背景技术：

[0002]
目前，真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备，其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室的进料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，可利用物理气相沉积(以下简称“pvd”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。随着生活水平的提高，人们对于具有更加广泛用途和性能的涂层需求也越来越大。
[0003]
目前真空室的进料口设置在一高洁净度的洁净室内，在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程，现在需要把上料架上的镀膜成品卸下来然后搬运到洁净室内贴上镀膜基片后送入进料口，工序复杂且需要耗费大量的人力物力。


技术实现要素：

[0004]
有鉴于此，为了解决真空室的进料口设置在一高洁净度的洁净室内，在洁净室内完成镀膜基片的贴片过程，现在需要把上料架上的镀膜成品卸下来然后搬运到洁净室内贴上镀膜基片后送入进料口，工序复杂且需要耗费大量的人力和时间的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜上料系统，通过将机片架运输到平移架上，通过控制箱体内的电机控制走位链条的运动从而带动平移架沿平移轨道运行，方便搬运，且底板架的上表面设有人行道，当搬运的同时操作员站在人行道上进行需要镀膜产品的上料工作，同时上框架为中空结构，可进行两边同时上料，节省了大量的时间。
[0005]
一种溅射镀膜上料系统，包括上料室1，其特征在于：上料室1包括：出架口2、进料口3和机片平移架4，所述出架口2为一个敞开的矩形口，机片平移架4包括机片架41和平移架42，机片架41上设有传送轨道412，平移架42上设有传动轨道425，当需要上料的时候，机片架41从出架口2进入上料室1，同时平移架42移动到出架口2，机片架41上的传送轨道412与平移架42上的传动轨道425匹配连接，传动轨道425的远离出架口2的一端设有光电感应器426，传动轨道425的靠近出架口2的一端设有传动齿轮427，传送轨道412内设有与传动齿轮427相匹配的第一齿条414，传送轨道412 外壁两侧设有数个间隔相同的轨道轮413，通过机片架41上的第一齿条414 的齿与平移架42导轨上的齿轮啮合，同时带动轨道轮413沿平移架42的传动轨道425两侧上壁滚动，当机片架41传送到平移架42的设有光电感应器 426的一端时停止运动，平移架42下方两侧设有相对称的两条平移轨道5，两条平移轨道5相互平行，当镀膜基片上料结束后平移架42沿平移轨道5运行至进料口3，进料口3设有上料门31，上料门31打开，将机片架41输送至镀膜机内进行溅射镀膜。
[0006]
进一步的，出架口2与进料口3在同一平面上且出架口2和进料口3相互平行。
[0007]
进一步的，两条平移轨道5与出架口2和进料口3所在的平面平行。
[0008]
进一步的，平移架42上的传动轨道425与出架口2的下端面垂直且平移架42上的传
动轨道425与进料口3下端面垂直。
[0009]
进一步的，机片架41底部两端设有机片架支脚411，机片架支脚411固定在传送轨道412上部两端，机片架41位于传送轨道412上方且与传送轨道 412可拆卸连接。
[0010]
进一步的，平移架42包括上框架421、控制箱体422和底板架423，底板架423上方设有控制箱体422，控制箱体422上方设有上框架421。
[0011]
进一步的，平移架42的上框架421为中空结构，当机片架41与平移架 42配合使用时，上框架421的中空结构使得机片架41两边能够同时上料，节省了大量的时间。
[0012]
进一步的，平移架42的底板架423的上表面设有人行道424，人行道424 表面设有凸起的纹路，增大上表面与操作人员鞋底之间的摩擦，当操作人员在移动的上料平移架42上安置镀膜基片时不易打滑摔跤。
[0013]
进一步的，上料门31的上端和下端均设有传动装置32，所述传动装置 32包括第二齿轮321、第二齿条322和气缸323，气缸323上设有推杆，推杆的一端与气缸323固定连接，推杆的另一端与第二齿条322的一端固定连接，第二齿条322的带齿面与第二齿轮321啮合，通过气缸323推动第二齿条322向前或者向后运动从而带动第二齿轮321运转来实现齿轮轴上的上料门31的打开或者闭合。
[0014]
本实用新型的有益效果：本实用新型提出一种溅射镀膜上料系统，通过将机片架41运输到平移架42上，通过控制箱体422内的电机控制走位链条的运动从而带动平移架42沿平移轨道5运行，方便搬运，且底板架423的上表面设有人行道424，当搬运的同时操作员站在人行道424上进行需要镀膜产品的上料工作，同时上框架421为中空结构，可进行两边同时上料，节省了大量的时间。
附图说明
[0015]
图1为本实用新型的溅射镀膜上料系统的结构示意图。
[0016]
图2为本实用新型的溅射镀膜上料系统的传动装置结构示意图。
[0017]
图3为本实用新型的溅射镀膜上料系统的出架口结构示意图。
[0018]
图4为本实用新型的溅射镀膜上料系统的机片平移架结构示意图。
[0019]
图5为本实用新型的溅射镀膜上料系统的平移架细节结构示意图。
[0020]
图6为本实用新型的溅射镀膜上料系统的机片架细节结构示意图。
[0021]
主要元件符号说明
[0022][0023][0024]
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
[0025]
如图1所示，为本实用新型的溅射镀膜上料系统的结构示意图；如图2 所示，为本实用新型的溅射镀膜上料系统的进料口结构示意图；如图3所示，为本实用新型的溅射镀膜上料系统的出架口结构示意图；如图4所示，为本实用新型的溅射镀膜上料系统的机片平移架结构示意图；如图5所示，为本实用新型的溅射镀膜上料系统的细节平移架结构示意图；如图6所示，为本实用新型的溅射镀膜上料系统的机片架细节结构示意图。
[0026]
一种溅射镀膜上料系统，包括上料室1，其特征在于：上料室1包括：出架口2、进料口3和机片平移架4，所述出架口2为一个敞开的矩形口，机片平移架4包括机片架41和平移架42，机片架41上设有传送轨道412，平移架42上设有传动轨道425，当需要上料的时候，机片架41从出架口2进入上料室1，同时平移架42移动到出架口2，机片架41上的传送轨道412与平移架42上的传动轨道425匹配连接，传动轨道425的远离出架口2的一端设有光电感应
器426，传动轨道425的靠近出架口2的一端设有传动齿轮427，传送轨道412内设有与传动齿轮427相匹配的齿条，传送轨道412外壁两侧设有数个间隔相同的轨道轮413，通过机片架41上的齿条的齿与平移架42 导轨上的齿轮啮合，同时带动轨道轮413沿平移架42的传动轨道425两侧上壁滚动，当机片架41传送到平移架42的设有光电感应器426的一端时停止运动，平移架42下方两侧设有相对称的两条平移轨道5，两条平移轨道5相互平行，当镀膜基片上料结束后平移架42沿平移轨道5运行至进料口3，进料口3设有上料门31，上料门31打开，将机片架41输送至镀膜机内进行溅射镀膜。
[0027]
所述出架口2与进料口3在同一平面上且出架口2和进料口3相互平行。
[0028]
所述两条平移轨道5与出架口2和进料口3所在的平面平行。
[0029]
所述平移架42上的传动轨道425与出架口2的下端面垂直且平移架42 上的传动轨道425与进料口3下端面垂直。
[0030]
所述机片架41底部两端设有机片架支脚411，机片架支脚411固定在传送轨道412上部两端，机片架41位于传送轨道412上方且与传送轨道412可拆卸连接。
[0031]
所述平移架42包括上框架421、控制箱体422和底板架423，底板架423 上方设有控制箱体422，控制箱体422上方设有上框架421。
[0032]
所述平移架42的上框架421为中空结构，当机片架41与平移架42配合使用时，上框架421的中空结构使得机片架41两边能够同时上料，省了大量的时间。
[0033]
所述平移架42的底板架423的上表面设有人行道424，人行道424表面设有凸起的纹路，增大上表面与操作人员鞋底之间的摩擦，当操作人员在移动的上料平移架42上安置镀膜基片时不易打滑摔跤。
[0034]
所述上料门31的上端和下端均设有传动装置32，所述传动装置32包括第二齿轮321、第二齿条322和气缸323，气缸323上设有推杆，推杆的一端与气缸323固定连接，推杆的另一端与第二齿条322的一端固定连接，第二齿条322的带齿面与第二齿轮321啮合，通过气缸323推动第二齿条322向前或者向后运动从而带动第二齿轮321运转来实现齿轮轴上的上料门31的打开或者闭合。
[0035]
本实用新型的有益效果：本实用新型提出一种溅射镀膜上料系统，通过将机片架41运输到平移架42上，通过控制箱体422内的电机控制走位链条的运动从而带动平移架42沿平移轨道5运行，方便搬运，且底板架423的上表面设有人行道424，当搬运的同时操作员站在人行道424上进行需要镀膜产品的上料工作，同时上框架421为中空结构，可进行两边同时上料，节省了大量的时间。
[0036]
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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