一种石墨舟震舟装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及光伏制造技术领域，尤其涉及一种石墨舟震舟装置。


背景技术：

[0002]
随着科技的进步，我国已成为全世界最大的光伏制造及光伏应用国。光伏制造涉及多种装置和设备，其中，石墨舟是太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放置于石墨舟中高温烧结成型。现有的石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、湿膜隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟的卡点上，每个舟片上可放置固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在pecvd真空镀膜设备的腔体内，采用pecvd工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0003]
但是，在将硅片放在石墨舟的卡点上时，硅片会存在不同程度的翘曲或者插不到位的情况，因此需要人工进行拍舟并进行检查，劳动强度大，且生产效率低。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的在于提供一种石墨舟震舟装置，以解决现有技术中存在的采用人工进行拍舟并进行检查，劳动强度大，且生产效率低的问题。
[0005]
如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：
[0006]
一种石墨舟震舟装置，位于石墨舟上方，所述石墨舟震舟装置包括：
[0007]
支撑结构；
[0008]
驱动结构，设置于所述支撑结构；
[0009]
连接结构，包括连接架及能够转动地设置于所述连接架上的滚轴，所述滚轴的外周上设置有缓冲层，所述驱动结构被配置为能够带动所述连接架上升或下降，以使所述滚轴与所述石墨舟分离或接触；
[0010]
震动器，设置于所述滚轴或所述连接架，所述震动器的震动频率可调。
[0011]
进一步地，所述连接架包括第一连接板和两个相对设置于所述第一连接板上的第二连接板，所述滚轴能够转动地设置于两个所述第二连接板之间，所述震动器设置于所述第一连接板，所述第一连接板连接于所述驱动结构。
[0012]
进一步地，所述石墨舟震舟装置还包括检测感应器，所述检测感应器设置于所述连接架，所述检测感应器被配置为检测所述连接架下方是否具有所述石墨舟。
[0013]
进一步地，所述驱动结构为气缸，所述连接结构还包括设置于所述连接架上的连接块，所述驱动结构为气缸，所述气缸的气缸杆滑动地穿设于所述连接块，所述气缸杆靠近所述连接架的一端设有限位件，所述限位件能与所述连接块抵接，以阻止所述气缸杆与所述连接块分离；
[0014]
所述石墨舟震舟装置还包括锁紧结构，所述锁紧结构被配置为能够将所述气缸杆和所述连接块的相互位置锁定或解锁。
[0015]
进一步地，所述气缸杆上套设有弹性件，所述弹性件的两端分别与所述限位件所述连接块抵接。
[0016]
进一步地，所述锁紧结构包括两个锁紧件，两个锁紧件分别为第一锁紧件和第二锁紧件，所述第一锁紧件固设于所述连接块，所述第二锁紧件能滑动设置于所述连接块以具有夹紧位置和解锁位置，当所述第二锁紧件位于所述夹紧位置时，所述第二锁紧件和所述第一锁紧件将所述气缸杆夹紧；当所述第二锁紧件位于所述解锁位置时，所述第二锁紧件与所述气缸杆分离。
·
[0017]
进一步地，所述连接块包括两个半环结构，两个所述半环结构均可拆卸地连接于所述连接架，且两个所述半环结构连接后能够形成阶梯孔，所述阶梯孔包括连通的第一孔和第二孔，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述气缸杆滑动穿设于所述第二孔，所述限位件位于所述第一孔，且所述限位件能与所述第一孔和所述第二孔间的台阶面抵接。
[0018]
进一步地，所述气缸设置有至少两个，至少两个所述气缸间隔设置于所述支撑结构。
[0019]
进一步地，所述石墨舟震舟装置还包括导向结构，所述导向结构包括设置于所述支撑结构的直线轴承及与所述直线轴承滑动配合的导杆，所述导杆连接于所述连接架。
[0020]
进一步地，所述缓冲层的材质为橡胶或聚氨酯。
[0021]
本实用新型的有益效果为：
[0022]
本实用新型提出的石墨舟震舟装置，通过设置驱动结构、连接架、滚轴和震动器，驱动结构驱动连接架上升或下降，震动器带动滚轴振动，且滚轴在振动的同时能够转动，不仅能够有效地传递震动到石墨舟，对硅片进行整理，提高生产效率，而且滚轴与石墨舟的接触面积小，能够有效地的降低石墨舟和滚轴之间的磨损。
附图说明
[0023]
图1是本实用新型提供的石墨舟震舟装置的正视图；
[0024]
图2是本实用新型提供的石墨舟震舟装置的局部剖视图。
[0025]
图中：
[0026]
1、支撑结构；2、气缸；21、气缸本体；22、气缸杆；221、限位件；31、连接架；311、第一连接板；312、第二连接板；32、滚轴；33、连接块；331、阶梯孔；34、弹性件；35、锁紧件；4、震动器；51、直线轴承；52、导杆；6、检测感应器；7、石墨舟。
具体实施方式
[0027]
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。
[0028]
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内
部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0029]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0031]
如图1和图2所示，本实施例提供一种石墨舟震舟装置，该石墨舟震舟装置位于石墨舟7上方，能够在石墨舟7上方对石墨舟7内的硅片进行归整。具体地，该石墨舟震舟装置包括支撑结构1、驱动结构、连接结构和震动器4。其中，连接结构包括连接架31及能够转动地设置于连接架31上的滚轴32，滚轴32的外周面上设置有缓冲层，驱动结构能够带动连接架31上升或下降，以使滚轴32与石墨舟7分离或接触。震动器4设置于滚轴32或连接架31，且震动器4的震动频率可调，震动器4为现有技术中常见的结构，在此不再赘述。
[0032]
可以理解的是，震动器4可设置在滚轴32内，从而直接带动滚轴32震动，震动器4也可以设置在连接架31上，此时震动器4通过连接架31带动滚轴32震动。而且滚轴32在震动的同时能够转动，不仅能够有效地传递震动到石墨舟7，对硅片进行整理，提高生产效率，而且滚轴32与石墨舟7的接触面积小，能够有效地的降低石墨舟7和滚轴32之间的磨损，
[0033]
进一步地，如图1所示，连接架31包括第一连接板311和两个相对设置于第一连接板311上的第二连接板312，滚轴32能够转动地设置于两个第二连接板312之间。具体地，两个第二连接板312之间设置有连接轴，上述滚轴32能够转动地套设于连接轴上。在本实施例中，上述震动器4设置于第一连接板311，第一连接板311连接于驱动结构，驱动结构能够驱动连接结构和震动器4同步上升和下降。
[0034]
进一步地，在本实施例中，上述缓冲层的材质为橡胶或聚氨酯，当然，在其他实施例中，缓冲层的材质还可以为硅胶等其他具有弹性的材料。
[0035]
再次参照图1，本实施例提供的石墨舟震舟装置还包括检测感应器6，检测感应器6设置于连接架31，检测感应器6用于检测连接架31下方是否具有石墨舟7。具体地，在本实施例中，检测感应器6优选为红外感应器，如果检测到连接架31下方具有石墨舟7，可传递第一信号到pecvd真空镀膜设备的控制系统，便于控制驱动结构带动连接架31下降，以进行震舟动作。
[0036]
进一步地，在本实施例中，驱动结构为气缸2，气缸2包括气缸本体21和气缸杆22，气缸本体21连接于支撑结构1，气缸杆22连接于连接架31。进一步优选地，上述气缸2设置有多个，多个气缸2间隔设置于支撑结构1。
[0037]
可选地，在本实施例中，连接结构还包括设置于连接架31上的连接块33，气缸2的气缸杆22滑动穿设于连接块33，气缸杆22靠近连接架31的一端设有限位件221，限位件221
能与连接块33抵接，以阻止气缸杆22与连接块33分离。该石墨舟震舟装置还包括锁紧结构，锁紧结构能够将气缸杆22和连接块33的相互位置锁定或解锁，具体地，锁紧结构包括两个锁紧件35，将两个锁紧件35分别定义为第一锁紧件和第二锁紧件，第一锁紧件固设于连接块33，第二锁紧件滑动设置于连接块33，以具有夹紧位置和解锁位置，当第二锁紧件位于夹紧位置时，第二锁紧件和第一锁紧件将气缸杆22夹紧，当第二锁紧件位于解锁位置时，第二锁紧件与气缸杆22分离。
[0038]
进一步地，气缸杆22上套设有弹性件34，弹性件34的两端分别与限位件221和连接块33抵接。弹性件34优选为弹簧。
[0039]
可以理解的是，当需要气缸2带动连接架31上升或下降时，可通过两个锁紧件35连接气缸杆22和连接块33，当气缸2带动连接架31下降到预设位置后，可通过两个锁紧件35使得气缸杆22和连接块33脱离连接。如此设置，在震动器4带动连接架31和滚轴32振动时，可以通过弹性件34减弱气缸杆22在竖直方向上的震动，从而避免震动过多传递至支撑结构1。当然，还可以在气缸杆22和阶梯孔331的内壁之间设置弹性圈，以减弱气缸杆22在水平方向的震动，从而对气缸2、支撑结构1进行保护。上述滑动设置于连接块33上的锁紧件35连接于第一驱动件，第一驱动件能够驱动该锁紧件35向另一锁紧件35靠近或远离，第一驱动件可以为设置于连接架31上的气缸、电推杆等结构。
[0040]
为了对滚轴32的位置进行较为准确的控制，在通过两个锁紧件35对气缸杆22进行锁紧时，可使气缸杆22先向气缸本体21内回缩以充分压缩弹性件34，随后通过两个锁紧件35将气缸杆22夹紧，连接气缸杆22和连接块33，在后续两个锁紧件35接触对气缸杆22的锁紧后，连接架31不会再向下运动，从而保证滚轴32处于所需位置。
[0041]
可选地，在实施例中，连接块33包括两个半环结构，两个半环结构均可拆卸地连接于连接架31，且两个半环结构连接后能够形成阶梯孔331。阶梯孔331包括连通的第一孔和第二孔，第一孔的孔径大于第二孔的孔径，气缸杆22滑动穿设于第二孔，限位件221位于第一孔，且限位件221能与第一孔和第二孔的台阶面抵接。可以理解的是，每个半环结构均具有呈阶梯式的内腔，当两个半环结构对接后，形成上述具有阶梯孔331的连接块33。具体地，连接块33可通过螺栓固定在连接架31上，当然在其他实施例中，两个半环结构还可分别连接于一第二驱动件，第二驱动件分别驱动两个半环结构相互靠近或远离，或者其中一个半环结构连接于第二驱动件，另一个半环结构固设于连接架31上，第二驱动件可以为设置于连接架31上的气缸、电推杆等结构。
[0042]
可选地，如图1所示，本实施例提供的石墨舟震舟装置还包括导向结构，导向结构包括设置于支撑结构1上的直线轴承51及与支线轴承51滑动配合的导杆52，导杆52连接于连接架31。通过设置导向结构，保证连接架31在上升或下降过程中的路劲精度，从而保证滚轴32能够充分与石墨舟7接触，提高震动效果，进一步优选地，导向结构设置有至少两个。
[0043]
综上，本实施例提供的石墨舟震舟装置，通过设置驱动结构、连接架31、滚轴32和震动器4，驱动结构驱动连接架31上升或下降，震动器4带动滚轴32振动，且滚轴32在振动的同时能够转动，不仅能够有效地传递震动到石墨舟7，对硅片进行整理，提高生产效率，而且滚轴32与石墨舟7的接触面积小，能够有效地的降低石墨舟7和滚轴32之间的磨损。
[0044]
以上实施方式只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施方式限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，
这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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