药液回收装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及一种回收装置，尤指一种应用于工业制程并用以调整药液的离子浓度，使药液可回收使用的药液回收装置。


背景技术：

[0002]
现有蚀薄铜的制程，是利用药液与铜材产生化学反应，让铜材形成铜离子并溶解在药液中，藉此减少铜材的厚度。此后将含有铜离子的药液抽出并降温，使药液析出部份的硫酸铜结晶，以降低药液中的铜离子浓度。接着再将药液抽回主槽以回收使用。
[0003]
现有的药液是在低温状态下被抽回主槽再行加热，然而药液在流动过程中仍会因为低温而持续析出金属盐类结晶，当金属盐类结晶进入帮浦中时，会造成扇叶的摩擦与损坏，进而产生药液泄漏、帮浦空转等问题。此外，当金属盐类结晶进入主槽时，也可能附着在铜材上阻碍化学反应而形成铜面零星凸起，此会影响成品的良率。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型提供一种药液回收装置，用以减少药液流动过程中的结晶现象，可避免药液回收装置的损坏并能提升成品的良率。
[0005]
本实用新型的药液回收装置，包括主槽、回收槽、预加热槽、加热器以及回流组件。主槽装载药液。回收槽连通主槽。预加热槽连通回收槽。加热器配置于预加热槽中。回流组件分别连通预加热槽与主槽。预加热槽位于回收槽及回流组件之间，且主槽的部分药液适于流入回收槽以进行降温，降温回收金属盐后的部分药液适于流入预加热槽，且加热器对于预加热槽中的部分药液加热，回流组件将加热后的部分药液送入主槽以完成药液的循环。
[0006]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，上述的预加热槽具有溢流管，连通回收槽，当回收槽的药液累积至液面高度时，药液通过溢流管流入回收槽。
[0007]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，上述的回流组件包括回流管、回流帮浦以及液体阀，回流管分别连通预加热槽与主槽，回流帮浦连通回流管，液体阀连接回流管且位在回流帮浦与预加热槽之间。
[0008]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，还包括抽取帮浦分别连通主槽与回收槽，用以将主槽内的部份药液抽取至回收槽。
[0009]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，还包括浓度传感器，配置在该主槽内且耦接该抽取帮浦，用以检测该主槽内的药液浓度，当药液浓度大于定值时，该抽取帮浦抽取该主槽内的该药液。
[0010]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，上述的回收槽具有致冷器，配置在回收槽的内部空间或是外壁面上，致冷器用以降温部份药液。
[0011]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，还包括温度传感器，配置在回收槽内且耦接抽取帮浦，用以检测回收槽内的药液温度，当药液温度大于定值时，抽取帮浦停
止抽取主槽内的药液。
[0012]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，上述的加热器垂直穿设于预加热槽，加热器用以加热部份药液。
[0013]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，上述的加热器斜向穿设于预加热槽，加热器用以加热部份药液。
[0014]
在根据本实用新型的实施例的药液回收装置中，上述的加热器包括耦接部与热管部，耦接部突伸在预加热槽外并用以耦接电源，热管部穿设于预加热槽中并用以接触部份药液。
[0015]
基于上述，本实用新型的药液回收装置，适用于金属的蚀薄制程，将待加工的板材置入主槽并浸泡于药液中，以进行金属蚀薄，当药液的金属离子浓度大于定值时，部分药液将被抽取至回收槽以进行降温并析出金属盐类结晶。接着降温回收金属盐后的部分药液将流入预加热槽并受到加热器的加热而升温，升温后的部分药液可避免金属盐类结晶现象。
[0016]
因此，当回流组件抽取升温后的药液时，可避免金属盐类结晶造成回流组件的摩擦损坏，也可避免细小的附着在铜材上阻碍化学反应而形成铜面零星凸起。
附图说明
[0017]
包含附图以便进一步理解本实用新型，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本实用新型的实施例，并与描述一起用于解释本实用新型的原理。
[0018]
图1a为本实用新型一实施例的一种药液回收装置的方块示意图；
[0019]
图1b为图1a的药液回收装置的平面示意图；
[0020]
图1c为图1a的药液回收装置采用另一加热器的平面示意图。
[0021]
附图标号说明
[0022]
100、100a:药液回收装置；
[0023]
110:主槽；
[0024]
120:回收槽；
[0025]
130:预加热槽；
[0026]
131:溢流管；
[0027]
140、140a:加热器；
[0028]
141、141a:耦接部；
[0029]
142、142a:热管部；
[0030]
150:回流组件；
[0031]
151:回流管；
[0032]
152:回流帮浦；
[0033]
153:液体阀；
[0034]
160:抽取帮浦；
[0035]
170:浓度传感器；
[0036]
180:致冷器；
[0037]
190:温度传感器；
[0038]
200:药液；
[0039]
300:板材；
[0040]
is:内部空间；
[0041]
vh:垂直高度；
[0042]
lh:液面高度。
具体实施方式
[0043]
现将详细地参考本实用新型的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同组件符号在图式和描述中用来表示相同或相似部分。
[0044]
图1a为本实用新型一实施例的一种药液回收装置的方块示意图。图1b为图1a的药液回收装置的平面示意图。图1c为图1a的药液回收装置采用另一加热器的平面示意图。
[0045]
参考图1a及图1b，本实用新型的药液回收装置100适用于金属蚀薄制程，本实施例的工件例如是金属板材、印刷电路板或是其它具有金属层的材质。
[0046]
本实用新型的药液回收装置100，包括主槽110、回收槽120、预加热槽130、加热器140以及回流组件150。
[0047]
主槽110具有内部空间is并用以装载药液200(例如是酸性溶液，如硫酸、氢氟酸或盐酸等)及板材300，于本实施例中板材300例如是铜材，当铜材浸泡于药液200时，铜材会形成铜离子并溶解在药液200中。回收槽120连通主槽110。预加热槽130连通回收槽120。加热器140配置于预加热槽130中。回流组件150分别连通预加热槽130与主槽110。
[0048]
其中预加热槽130位于回收槽120及回流组件150之间，且主槽110的部分药液200适于流入回收槽120以进行降温，使得药液200析出金属盐类结晶并下沉至回收槽120的底部。降温回收金属盐后后的部分药液200适于流入预加热槽130，且透过加热器140对于预加热槽130中的部分药液200加热以提升其温度，藉此避免部分药液200在预加热槽130中持续析出金属盐类结晶。回流组件150将加热后的部分药液200送入主槽110以完成药液200的循环，让药液200继续进行铜材蚀薄制程。
[0049]
参考图1b及图1c，预加热槽130具有溢流管131，连通回收槽120。溢流管131斜向延伸在预加热槽130的外壁面上且溢流管131相对回收槽120底部的垂直高度vh朝外渐增。当回收槽120的药液200相对回收槽120底部累积至液面高度lh时(液面高度lh大于垂直高度vh)，部份的药液200将通过溢流管131而流入回收槽120，此为重力的导引。
[0050]
加热器140垂直穿设于预加热槽130，加热器140的功效在于将电能转换为热能，并用以加热部份药液200以达到升温的功效。详细而言，加热器140包括耦接部141与热管部142。耦接部141突伸在预加热槽130外并用以耦接电源。热管部142穿设于预加热槽130中并用以接触部份药液200，简言之，外部的电源提供电流至耦接部141，再通过热管部142，使得热管部142发出热能。补充而言，热管部142例如是金属管结构且内部安装电热丝并耦接于耦接部141。
[0051]
参考图1c，本实施例的药液回收装置100a与图1b的药液回收装置100相似，差别在于加热器140a斜向穿设于预加热槽130a，加热器140a用以加热部份药液200。加热器140a包括耦接部141a与热管部142a。耦接部141a突伸在预加热槽130a外并用以耦接电源。
[0052]
在其它实施例中，加热器例如是采用热交换管(包含油管或气管)系统、弹筒式电热管、板型加热器、硅胶加热器、非接触式加热器、带状加热器、加热带。其中，加热器的加热
方式可采用电磁加热、红外线加热与电阻加热。
[0053]
电磁加热是透过交变磁场在物体表面的金属部分产生交变电流(即涡流)，透过交变电流使使金属部位的铁原子互相碰撞、摩擦以产生热能。
[0054]
红外线是辐射传热，透过电磁波传递能量。当红外线照射到待加热物体时，一部分射线被反射，另一部分射线穿透过物体。当穿透物体的红外线波长和待加热物体的吸收波长相符合时，物体将会吸收红外线，此时，物体内部分子和原子产生强烈的共振、旋转，使得物体温度升高。
[0055]
电阻加热是利用电流通过电热体放出热量的加热方法。常见的电阻丝加热，陶瓷加热器，以及电阻圈加热，石英管加热等等。
[0056]
参考图1b，回流组件150包括回流管151、回流帮浦152以及液体阀153。回流管151分别连通预加热槽130与主槽110。回流帮浦152连通回流管151并用以抽取预加热槽130中的部份药液200。液体阀153连接回流管151且位在回流帮浦152与预加热槽130之间。
[0057]
进一步而言，液体阀153可切换为开启状态或关闭状态。在开启状态下，液体阀153可让药液200通过且回流帮浦152可将部份药液200抽取至主槽110。在关闭状态下，液体阀153可阻止药液200通过回流帮浦152而抽取至主槽110。
[0058]
参考图1a及图1b，药液回收装置100包括抽取帮浦160以及浓度传感器170。抽取帮浦160透过两抽取管p而分别连通主槽110与回收槽120，用以将主槽110内的部份药液200抽取至回收槽120。浓度传感器170配置在主槽110内且耦接抽取帮浦160。浓度传感器170用以检测主槽110内的药液浓度(铜离子或其它金属离子浓度)，当药液浓度大于定值时，浓度传感器170将发送讯号以启动抽取帮浦160抽取主槽110内的药液200至回收槽120。补充而言，当药液200的金属离子浓度过高时，将不利于板材300的蚀薄制程，故需要将药液200依序抽取至回收槽120并透过降温方式以析出金属盐类结晶。
[0059]
药液回收装置100包括致冷器180以及温度传感器190。致冷器180配置在回收槽120的内部空间或是外壁面上，致冷器180用以降温位在回收槽120中的部份药液200。温度传感器190配置在回收槽120内且耦接抽取帮浦160，用以检测回收槽120内的药液温度。当药液温度大于定值时，温度传感器190将发送讯号关闭抽取帮浦160，使抽取帮浦160停止抽取主槽110内的药液200。补充而言，当药液200的温度过高时，将不利于析出金属盐类结晶，故需要停止抽取药液200，待药液200的温度低于特定温度并析出适量的金属盐类结晶后，再继续抽取。于本实例中药液200温度例如是低于20度。
[0060]
于本实施例中，致冷器例如是致冷芯片、散热片、风扇或是水冷系统，其中致冷芯片为主动式冷却装置，散热片、风扇与水冷系统为被动式散热装置。
[0061]
其中，本实施例以致冷芯片为例，致冷芯片由具有上下两陶瓷基板，中间层由多组热电材料及导电铜电极所组成。当致冷芯片通电时，电流从电极流入热电材料或是由热电材料流入电极时，在两陶瓷基板与热电材料的接合处会分别产生吸热与放热之现象，一般而言，会将吸热端贴附在待降温的物体上并将吸收的热量传递至放热端以达到散热之功效，此外亦可提高致冷芯片的两基板的热传导性，也可提高致冷芯片降温效能。
[0062]
综上所述，本实用新型的药液回收装置，适用于金属的蚀薄制程，将待加工的板材置入主槽并浸泡于药液中，以进行金属蚀薄，当药液的金属离子浓度大于定值时，部分药液将被抽取至回收槽以进行降温并析出金属盐类结晶。接着降温回收金属盐后的部分药液将
流入预加热槽并受到加热器的加热而升温，升温后的部分药液可避免金属盐类结晶现象。
[0063]
因此，当回流组件抽取升温后的药液时，可避免金属盐类结晶造成回流组件的摩擦损坏，也避免细小的金属盐类结晶附着在铜材上阻碍化学反应而形成铜面零星凸起。

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