输送手及输送机器人的制作方法

本发明涉及输送手、及具备输送手的输送机器人。

背景技术：

以往，为了输送作为输送物品的半导体基板等板状物(以下，作为“板状物”以“基板”为例进行说明)使用机器人。作为与这种机器人相关的在先技术，例如，有通过将工件从一只手换到另一只手的动作来进行定位与输送的装置(例如，参照专利文献1)。

另外，作为其他在先技术，有把持不同的大小、形状的工件的手(例如，参照专利文献2)。该手在沿着直线轴接近或远离的一组滑动部具备把持部。把持部具备供末端部分所具备的把持爪旋转的关节部。

专利文献1：日本特开2012-196768号公报

专利文献2：日本特开2012-176461号公报

然而，为了对多个基板进行连续的处理，有时使用将多个基板以整齐的状态堆叠的基板储存部。该基板储存部通常具有分离配置的一对支承部件，在支承部件以恒定间距形成有多个支承槽。半导体基板通过插入于形成于一对支承部件的支承槽，从而周缘部被支承于支承部件。

但是，上述在先技术关于对上述那样的基板储存部搬入及搬出基板的手的结构没有任何公开。例如，未公开通过沿着支承槽滑动而搬入或搬出基板的手的结构。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供能够进行伴随着物品的滑动移动的输送的输送手及输送机器人。

为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的输送手把持物品来进行输送，输送手具备：第一把持部，其在第一方向把持物品；和第二把持部，其在与所述第一方向不同的第二方向把持上述物品，上述第一把持部以使被把持的上述物品滑动移动的方式动作，上述第二把持部把持通过上述第一把持部进行了滑动移动的上述物品。

另外，本发明的一个方式所涉及的输送机器人具备：第一臂，其具备本发明的一个方式所涉及的输送手的第一手；第二臂，其具备本发明的一个方式所涉及的输送手的第二手；以及控制装置，其控制上述第一臂的动作和上述第二臂的动作。

另外，本发明的一个方式所涉及的输送机器人具备：臂，其具备本发明的一个方式所涉及的输送手；和控制装置，其控制上述臂及上述输送手的动作。

根据本发明，能够利用输送手进行伴随着物品的滑动移动的输送。

附图说明

图1是表示实施方式1所涉及的输送机器人的立体图。

图2是表示实施方式1所涉及的第一手的俯视图。

图3是图2所示的第一手的主视图。

图4是图2所示的第一手的侧视图。

图5是图2所示的v-v向视剖视图。

图6是表示实施方式1所涉及的第二手的俯视图。

图7是图6所示的第二手的侧视图。

图8是表示图6所示的第四把持部的动作的viii向视侧视图。

图9是表示使用图2所示的第一手和图6所示的第二手来从第一基板储存部输送基板之前的状态的俯视图。

图10是表示为了从图9所示的状态拉出基板而进行把持的状态的俯视图。

图11是表示将基板从图10所示的状态拉出至规定位置的状态的俯视图。

图12是图11所示的xii-xii向视剖视图。

图13是表示通过图11所示的第二手从宽度方向把持基板的状态的俯视图。

图14是表示通过第二手把持基板的状态的输送机器人的俯视图。

图15是表示通过图14所示的输送机器人向试验装置输送基板的动作的俯视图。

图16是表示通过图15所示的输送机器人切换试验装置的基板的状态的俯视图。

图17是表示通过图16所示的输送机器人将从试验装置取下的基板储存于第二基板储存部之前的状态的俯视图。

图18是表示将图17所示的基板换到第二手的状态的俯视图。

图19是表示通过图18所示的第二手变更了基板的朝向的状态的俯视图。

图20是图19所示的xx向视侧视图。

图21是表示将图19所示的状态的基板储存于第二基板储存部的状态、和取出被储存的基板的状态的侧视图。

图22是表示通过输送机器人的第二手将基板拉出，并变更基板的朝向来储存于第一基板储存部之前的状态的俯视图。

图23是表示通过图22所示的第二手将基板储存于第一基板储存部之前的状态的俯视图。

图24是表示通过图23所示的第二手将基板储存于第一基板储存部的状态的俯视图。

图25是能够进行图2所示的第一手的基板抵接部与第三把持部的位置调节的例子的俯视图。

图26是图25的侧视图。

图27是表示实施方式2所涉及的输送机器人的立体图。

图28是表示实施方式2所涉及的输送机器人的俯视图。

图29是表示实施方式2所涉及的输送手的立体图。

图30是表示右臂的输送手相对于第一基板储存部的输送对象的基板被定位的状态的俯视图。

图31是图30的侧视图。

图32是表示第一基板储存部的输送对象的基板相对于右臂的输送手被顶出的状态的俯视图。

图33是图32的侧视图。

图34是表示右臂的输送手的第一把持部把持被顶出的基板的状态的俯视图。

图35是图34的侧视图。

图36是表示图34及图35中的第一把持部的第一致动器的状态的侧视图。

图37是表示右臂的输送手的第一把持部将把持的基板从第一基板储存部拉出的状态的俯视图。

图38是图37的侧视图。

图39是表示图37及图38中的第一把持部的第二致动器的状态的侧视图。

图40是表示图39的第一把持部解除对被拉出的基板的把持的状态的侧视图。

图41是表示右臂的输送手的第二把持部把持被拉出的基板的状态的俯视图。

图42是图41的侧视图。

图43是表示实施方式2所涉及的试验装置的基板载置部的侧视图。

图44是表示实施方式2所涉及的试验装置的基板载置部的俯视图。

图45是表示将基板载置于基板载置部时的第一把持部的第二缸的状态的俯视图。

具体实施方式

首先，本发明的各种方式所涉及的输送手及输送机器人如下。例如，本发明的一个方式所涉及的输送手把持物品来进行输送，具备：第一把持部，其在第一方向把持物品；和第二把持部，其在与上述第一方向不同的第二方向把持上述物品，上述第一把持部以使被把持的上述物品滑动移动的方式动作，上述第二把持部把持通过上述第一把持部而进行了滑动移动的上述物品。

根据上述结构，第二把持部在与第一把持部的把持方向不同的方向把持通过第一把持部进行了滑动移动的物品。由此，输送手能够在使物品滑动移动之后进行把持来输送。由此，输送手能够进行伴随着物品的滑动移动的输送。另外，第二把持部由于在与第一把持部不同的方向把持物品，因此能够不受第一把持部的影响地容易且可靠地把持物品。

也可以为，本发明的一个方式所涉及的输送手还具备第一手和第二手，上述第一手具有：第一手主体，其具有安装于第一臂的第一安装部，并能够在第一面内转动；上述第一把持部，其设置于上述第一手主体，在厚度方向亦即上述第一方向把持上述物品的端部；抵接部，其在上述第一把持部的两侧方的且在上述物品的宽度尺寸内与侧面的至少两处抵接；以及第三把持部，其在第三方向从两侧部把持上述物品，上述第二手具有：第二手主体，其具有安装于第二臂的第二安装部，并能够在上述第一面内转动；和上述第二把持部，其设置于上述第二手主体，在宽度方向亦即上述第二方向从两侧部把持上述物品。

根据上述结构，能够使第一手的抵接部抵接于物品来进行物品相对于第一手主体的定位，并在该状态下利用第一把持部在厚度方向上把持物品。然后，利用第二手的第二把持部，能够在宽度方向把持通过第一把持部拉出的物品。通过这些动作，能够适当地将通过周缘部保持并储存的物品拉出并输送。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二把持部构成为从两侧部把持通过上述第一手的上述第一把持部把持的上述物品。根据上述结构，能够进行基于第二把持部的物品的可靠的把持。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二把持部具有支承部，该支承部从下方支承通过上述第一手的上述第一把持部把持并在上述第一面内移动的上述物品。根据上述结构，能够不使物品从第一面内脱离地可靠地进行移动。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二手还具备第四把持部，该第四把持部在厚度方向亦即第四方向把持上述物品，并将上述物品的姿势变更为与上述第一面内正交的第二面内。根据上述结构，能够进行基于第二手的物品的姿势的变化。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第一手主体形成为l字状，在l字状的一方具备上述抵接部和上述第一把持部，在l字状的另一方具备上述第三把持部。根据上述结构，抑制了第一把持部与第三把持部干涉。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第一手主体在下表面配置有上述第三把持部，在上表面配置有从下方支承上述物品的支承部。根据上述结构，第一手能够在第一手主体的下表面与上表面进行不同的物品处理。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二手主体形成为l字状，在l字状的一方具备上述第二把持部，在l字状的另一方具备上述第四把持部。根据上述结构，抑制了第二把持部与第四把持部干涉。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述抵接部构成为能够调节上述第一把持部的两侧方处的配置间隔。根据上述结构，抵接部能够抵接于各种尺寸的物品。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二把持部及上述第三把持部构成为能够调节上述物品的把持间隔。根据上述结构，第二把持部及第三把持部能够把持各种尺寸的物品。

本发明的一个方式所涉及的输送机器人具备：上述第一臂，其具备本发明的一个方式所涉及的输送手的上述第一手；上述第二臂，其具备本发明的一个方式所涉及的输送手的上述第二手；以及控制装置，其控制上述第一臂的动作和上述第二臂的动作。

根据上述结构，能够利用一台输送机器人，适当地进行对第一臂的第一手进行动作控制来将物品拉出的动作、和对第二臂的第二手进行动作控制来把持物品并输送的动作。另外，能够并行地有效地进行通过一个臂将物品从储存部等处配置到规定的地点的动作、和通过另一个臂将其他物品从规定的地点保持于储存部等处的动作。

也可以为，本发明的一个方式所涉及的输送手还具备具有上述第一把持部和上述第二把持部的手主体，上述第一把持部具有在上述第一方向把持上述物品且能够滑动移动的第一把持部件，上述第二把持部具有在上述第二方向把持上述物品且对置地配置的第二把持部件，上述第一把持部使把持了上述物品的上述第一把持部件滑动移动，由此使上述物品向上述第二把持部件之间移动，上述第二把持部使上述第二把持部件沿上述第二方向移动，由此把持上述物品。根据上述结构，能够利用一个手主体在使物品滑动移动之后进行把持并输送。由此，输送手的结构能够紧凑化。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二把持部件分别具有沿上述第一把持部件的滑动移动方向延伸且相互对置的引导部，上述引导部构成为将通过上述第一把持部件移动的上述物品向上述第二把持部件之间引导。根据上述结构，能够进行基于第一把持部件的物品的可靠且稳定的滑动移动。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第一把持部具有使上述第一把持部件滑动移动的滑动致动器。根据上述结构，能够进行利用致动器的第一把持部件的滑动动作。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述滑动致动器包含多级缸。根据上述结构，能够利用多级的滑动移动来使第一把持部件移动。由此，能够进行各种模式的第一把持部件的滑动移动。

在本发明的一个方式所涉及的输送手中，也可以为，上述第二把持部具有使上述第二把持部件中的至少一方移动的把持致动器。根据上述结构，能够进行利用致动器的第二把持部件的把持动作。

也可以为，本发明的一个方式所涉及的输送手还具备：安装部，其将上述手主体安装于安装对象；和连接部，其将上述手主体与上述安装部连接，上述连接部包含能够使上述手主体相对于上述安装部摆动的浮动机构。根据上述结构，能够不带来由于与周围的物体的碰撞等引起的损伤地将通过第二把持部把持的物品进行输送及配置。

本发明的一个方式所涉及的输送机器人具备：臂，其具备本发明的一个方式所涉及的输送手；和控制装置，其控制上述臂及上述输送手的动作。根据上述结构，能够使用一个臂来在使物品滑动移动之后进行把持并输送。

也可以为，本发明的一个方式所涉及的输送机器人作为上述臂具备第一臂及第二臂，上述第一臂及上述第二臂分别具备上述输送手，上述控制装置控制上述第一臂及上述第二臂的动作。根据上述结构，能够通过第一臂及第二臂分别进行物品的输送动作，因此输送效率提高。

在本发明的一个方式所涉及的输送机器人中，也可以为，上述第一臂及上述第二臂构成为在同轴上转动。根据上述结构，抑制了转动时的第一臂及第二臂的干涉，能够增大各自的转动范围。

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，以下说明的实施方式均表示包括性或具体性的例子。另外，关于以下的实施方式的构成要素中的没有记载在表示最上位概念的独立权利要求中的构成要素，设为任意的构成要素进行说明。另外，附图中的各图是示意图，并不是严格图示的。进一步，在各图中，对于实质上相同的构成要素标注同一附图标记，有时省略或简化重复的说明。

＜实施方式1＞

基于附图对本发明的实施方式1进行说明。在以下的实施方式中，作为输送对象的物品也以板状物亦即基板100为例进行说明。在以下的实施方式中，以将储存于第一基板储存部110的基板100向试验装置200输送的基板输送机器人亦即输送机器人1为例进行说明。本说明书及权利要求书中的基板100的宽度方向是指与基板100的板厚方向正交的板面的左右方向。基板100的板厚方向是第一方向的一个例子，基板100的宽度方向是第二方向的一个例子。另外，有时将水平方向的面记为“第一面”，将垂直方向的面记为“第二面”。

(输送机器人的结构)

图1是表示实施方式1所涉及的输送机器人1的立体图。实施方式1所涉及的输送机器人1具备以在基台2的铅垂方向设置的第一轴s1为中心在水平面内转动的、第一臂3(左臂)和第二臂4(右臂)。第一臂3和第二臂4分别具有第一连杆5、第二连杆6、第三连杆7及第四连杆8。第一连杆5能够以第一轴s1为中心在水平面内转动。第二连杆6能够以第二轴s2为中心在水平面内转动。第三连杆7能够以第三轴s3为中心在垂直面内转动。第四连杆8能够以第四轴s4为中心摆动。第一臂3与第二臂4关于第一轴s1在同轴上转动，能够分别进行独立的动作。第一臂3的第一连杆5与第二臂4的第一连杆5沿第一轴s1方向错开配置。由此，以第一轴s1为中心的转动时，抑制了第一臂3与第二臂4的干涉，因此能够增大第一臂3及第二臂4的转动范围。

第一臂3及第二臂4分别由控制装置9进行动作控制。控制装置9具有处理器、易失性存储器、非易失性存储器及i/o接口等。控制装置9作为功能性构成要素具有接收部、存储部、控制部及输出部。接收部及输出部由i/o接口实现。存储部由易失性存储器及非易失性存储器实现。控制部的功能是通过处理器基于保存在非易失性存储器中的程序来使用易失性存储器对各连杆5～8的末端坐标位置等进行运算处理而实现的。控制部基于进行了运算处理的末端坐标位置，向各连杆5～8的驱动部输出动作量，并基于从各连杆5～8的驱动部接收到的动作信号计算各坐标位置。控制装置9还进行后述的各把持部30、40、60、70的开闭控制、及回旋部73的回旋控制。

而且，在输送机器人1中，具备具有第一手20和第二手50的输送手10。第一手20设置于第一臂3的第四连杆8的末端部。第一手20能够以第四连杆8的第五轴s5(与第二手50同一方向的轴)为中心在水平方向的第一面内转动。第二手50设置于第二臂4的第四连杆8的末端部。第二手50能够以第四连杆8的第五轴s5为中心在水平方向的第一面内转动。此外，在图中经由设置于第四连杆8的末端部的板材安装有第一手20和第二手50。

另外，在本实施方式中，在基台2的侧方，具备将基板100沿水平方向储存的第一基板储存部(储存部)110、和将基板100沿垂直方向储存的第二基板储存部(储存部)120。在本实施方式中，如后述那样第一基板储存部110是基板100的供给侧，第二基板储存部120是基板100的搬出侧。在第一基板储存部110设置有支承部件112，该支承部件112在形成为矩形的框体111的内部的左右位置沿垂直方向延伸。在支承部件112以将基板100的周围保持为水平状态的方式设置有多个支承槽113。根据第一基板储存部110，能够将多个基板100沿水平方向储存于支承槽113。此外，在以下说明中，将第一基板储存部110中的基板100的进深方向设为y轴方向，将宽度方向设为x轴方向。在第二基板储存部120设置有支承部件122(仅图示一方)，支承部件122在形成为矩形的框体121的内部的左右位置沿垂直方向延伸。在支承部件122以能够沿垂直方向储存基板100的方式以规定间隔设置有多个分隔槽123。根据第二基板储存部120，能够将多个基板100沿垂直方向储存在分隔槽123之间。

进一步，在基台2的另一侧方，具备基板100的试验装置200。在该例子中，仅示出试验装置200的基板载置部201的部分。图示的状态示出在基板载置部201载置有试验动作中的基板100的状态。

根据输送机器人1，能够将在第一基板储存部110的内部沿水平方向储存的基板100拉出而输送至试验装置200，并将在试验装置200结束了试验的基板100沿垂直方向储存在第二基板储存部120的内部。

(第一手的结构)

图2是表示图1所示的第一手20的俯视图。图3是图2所示的第一手20的主视图。图4是图2所示的第一手20的侧视图。图5是图2所示的v-v向视剖视图。第一手20的上下方向为图3所示的主视状态下的上下方向。

本实施方式的第一手20具有俯视时形成为l字状的第一手主体21。在形成第一手主体21的l字状形状的两个直线状部分的一方，设置有安装于第一臂3的第四连杆8的第一安装部22(在图中用圆形部表示)。第一安装部22安装于第四连杆8并以第五轴s5为中心转动(图1)。在第一安装部22的附近，设置有以与形成l字形状的两个直线状部分的另一方平行地突出的方式设置的第一把持部30、和基板抵接部(抵接部)35。在第一把持部30以从厚度方向把持基板100的方式设置有能够在上下方向接近或远离来进行开闭的一对第一把持部件31。作为一对第一把持部件31，能够使用气动夹头及电磁夹头等。在第一把持部件31设置有检测在一对第一把持部件31之间具有基板100这一情况的传感器32。对于传感器32，例如，能够使用光电传感器(也被称为“光束传感器”)、激光传感器、限位开关等。

在第一把持部30的两侧方设置有基板抵接部35，基板抵接部35抵接于由第一把持部件31把持的基板100的端面。基板抵接部35在基板100的宽度尺寸内至少设置在两处。基板抵接部35例如由树脂材料形成，由即使抵接于基板100也不会划伤基板100的材料形成。

根据第一把持部30，如后述那样，在使基板抵接部35抵接于基板100，并通过传感器32检测到在第一把持部件31之间具有基板100的状态下，第一把持部件31进行闭合来把持基板100。根据第一把持部30，由于在使基板100抵接于基板抵接部35的状态下把持基板100，因此能够始终相对于第一手主体21的第一安装部22的中心以恒定的距离h适当地把持基板100。

在形成第一手主体21的l字形状的两个直线状部分的另一方，在下表面具备第三把持部40。第三把持部40具有从宽度方向把持基板100的一对第三把持部件41。第三把持部件41形成为l字状。第三把持部件41分别在下方部分包含向内突出的突出部41a。通过使l字状的第三把持部件41的下方部分向内突出，从而第三把持部件41能够通过突出部41a从下方支承基板100。第三把持部件41可以由树脂材料形成。一个第三把持部件41(图4中的右侧)利用缸42朝向另一个第三把持部件41(图4中的左侧)进退。通过利用缸42使一个第三把持部件41进退，从而能够从宽度方向把持基板100。基板100的宽度方向是第三方向的一个例子。

另外，在第一手主体21的与第三把持部40对置的上表面，具备有规定长度的支承部38。支承部38由树脂材料形成，在为了将基板100以水平状态储存于第一基板储存部110等而使基板100滑动时从下方支承基板100来抑制挠曲。

根据这种第一手20，如后述那样，在矩形的基板100以水平状态保持于第一基板储存部110的情况下，使l字状的第一手主体21与第一基板储存部110的两边平行来使基板抵接部35抵接于基板100。由此，能够进行基板100相对于第一手主体21在y轴方向的定位，能够以适当的状态把持基板100来将其从第一基板储存部110拉出。另外，通过使第一手主体21在第一面内旋转90度，从而能够以第一把持部30或第三把持部40朝向基板100的一边的方式进行姿势变更。由此，能够通过简单的控制区分使用第一把持部30与第三把持部40。

(第二手的结构)

图6是表示图1所示的第二手50的俯视图。图7是图6所示的第二手50的侧视图。图8是表示图6所示的第四把持部70的动作的viii向视侧视图。

本实施方式的第二手50具有俯视时形成为l字状的第二手主体51。在形成第二手主体51的l字形状的两个直线状部分的一方，设置有安装于第二臂4的第四连杆8的第二安装部52(在图中用圆形部表示)。第二安装部52安装于第四连杆8而以第五轴s5为中心转动(图1)。

在形成第二手主体51的l字状形状的两个直线状部分的另一方，在下表面具备第二把持部60。第二把持部60具有从宽度方向把持基板100的一对第二把持部件61。第二把持部件61形成为l字状。第二把持部件61分别在下方部分包括向内突出的突出部61a。通过使l字状的第二把持部件61的下方部分向内突出，从而突出部61a成为从下方支承基板100的支承部。第二把持部件61能够由树脂材料形成。一个第二把持部件61(图7中的左侧)利用缸62朝向另一个第二把持部件61(图7中的右侧)进退。通过利用缸62使一个第二把持部件61进退，从而能够从宽度方向把持基板100。

另外，在第二手主体51的第二安装部52的附近，具备有从板厚方向把持基板100，并将基板100的姿势变更为与第一面正交的第二面的第四把持部70。如图8所示，第四把持部70构成为，回旋部73相对于设置于第二手主体51的固定部72以45度的角度、即在相对于水平面的45度的倾斜面内旋转。在回旋部73设置有接近或远离而能够开闭的一对第四把持部件71。在一对第四把持部件71之间设置有检测具有基板100这一情况的传感器74。作为一对第四把持部件71，能够使用气动夹头及电磁夹头等。作为第四把持部70，例如能够使用旋转夹头。另外，在第四把持部件71中，把持基板100的末端部分在宽度方向变宽(图6)，以使得通过宽的面把持基板100的周围端部。在一个第四把持部件71中，设置有如后述那样在把持基板100时从下方支承基板100的中央方向来抑制挠曲的支承部件75。根据该第四把持部70，通过使回旋部73相对于固定部72回旋180度，从而能够将由第四把持部件71横向把持的基板100的姿势变更为纵向(双点划线)。

根据这种第二手50，如后述那样，通过第一手20拉出储存于第一基板储存部110的基板100，通过第二把持部60的第二把持部件61从宽度方向进行把持，由此能够进行x轴方向的定位。像这样，能够与第一手20协同动作来适当地输送基板100。另外，通过使第二手主体51在第一面内旋转90度，能够变更第二把持部60与第四把持部70相对于基板100的朝向，从而能够通过简单的控制区分使用第二把持部60与第四把持部70。

进一步，利用第四把持部70，能够将在第一面输送的基板100的朝向将姿势变更为正交的第二面。由此，例如，能够适当地应对需要使检查前的基板100与检查后的基板100朝向不同的情况等。

(基板从第一基板储存部的拉出例)

图9是表示使用图2所示的第一手20和图6所示的第二手50来从第一基板储存部110输送基板100之前的状态的俯视图。图10是表示为了从图9所示的状态拉出基板100而进行把持的状态的俯视图。图11是表示将基板100从图10所示的状态拉出至规定位置的状态的俯视图。图12是图11所示的xii-xii向视剖视图。图13是表示通过图11所示的第二手50从宽度方向把持基板100的状态的俯视图。

如图9所示，利用第二手50将第二把持部60配置于第一基板储存部110的规定位置。该规定位置是能够由设置于第二把持部60的第二把持部件61的向内的突出部61a支承从第一基板储存部110拉出的基板100，并使其在突出部61a上滑动的位置。另外，第一手20的第一把持部30配置于第一基板储存部110的规定位置。该规定位置为第二手50的下方，且是能够通过第一把持部30把持从第一基板储存部110拉出的基板100的位置。而且，该规定位置是基板抵接部35在基板100的宽度尺寸内且位于第二把持部件61之间，并能够抵接于从第一基板储存部110拉出的基板100的位置。

接下来，如图10所示，第一手20朝向基板100进入。由此，在基板100位于一对第一把持部件31之间的状态下，基板抵接部35抵接于基板100。通过使相对于基板100分离的基板抵接部35抵接，从而能够决定基板100相对于第一手主体21的朝向及位置。在该状态下，利用设置于第一把持部件31的传感器32检测基板100。进而，第一把持部件31进行闭合来从板厚方向把持基板100。

接下来，如图11及图12所示，利用通过第一把持部30把持了基板100的第一手20，将基板100从第一基板储存部110拉出。基板100被拉出至利用第二把持部件61进行的把持位置。此时，基板100通过第二手50的第二把持部件61的向内突出的突出部61a而在两侧部从下方被支承的状态下滑动并被拉出。

接下来，如图13所示，若基板100从第一基板储存部110被拉出规定量(例如，基板100的中央部分变成第二把持部件61的位置的量)，则第一把持部件31打开，第二把持部件61闭合而将基板100从其宽度方向的两侧部把持。像这样，若使用第一手20和第二手50，则能够稳定地拉出以水平方向保持于第一基板储存部110的基板100。

(基板向试验装置的输送)

图14是表示通过第二手50把持了基板100的状态的输送机器人1的俯视图。图15是表示通过图14所示的输送机器人1向试验装置200输送基板100的动作的俯视图。图16是表示通过图15所示的输送机器人1切换试验装置200的基板100的状态的俯视图。图17是表示通过图16所示的输送机器人1将从试验装置200取下的基板100储存于第二基板储存部120之前的状态的俯视图。

如图14所示，通过第二手50从第一基板储存部110拉出了基板100的输送机器人1，如图15所示，将第一臂3及第二臂4朝向试验装置200的方向。进而，利用第一手20的第三把持部40，把持配置于试验装置200的其他基板100(试验结束的基板100)。之后，如图16所示，使通过第一手20的第三把持部40把持的基板100从试验装置200退避。进而，通过第二手50的第二把持部60把持的基板100配置于试验装置200的基板载置部201。

之后，如图17所示，第一臂3及第二臂4被朝向第二基板储存部120的方向。由此，使第二手50从试验装置200退避，而利用试验装置200开始新的基板100的试验动作。另外，能够与试验动作并行地将通过第一手20的第三把持部40把持的基板100通过与第二手50协同动作来储存于第二基板储存部120。

(基板向第二基板储存部的储存例)

图18是表示将图17所示的基板100换到第二手50的状态的俯视图。图19是表示通过图18所示的第二手50变更了基板100的朝向的状态的俯视图。图20是图19所示的xx向视侧视图。图21是表示将图19所示的状态的基板100储存于第二基板储存部120的状态、和取出储存的基板100的状态的侧视图。

如图18所示，通过第一手20的第三把持部40把持的基板100(图17)的周围端部，由设置于第二手50的第四把持部70的第四把持部件71把持。之后，释放第三把持部40的第三把持部件41对基板100的把持。进而，如图19所示，使第四把持部70的回旋部73(图8)回旋180度，而使基板100的朝向从第一平面变更为第二平面。由此，如图20所示，基板100变成从第二手主体51朝向下方垂下的状态。

之后，基板100通过第二手50被输送至第二基板储存部120的规定位置，而如图21所示，插入于规定的储存空间而被储存。储存于第二基板储存部120的基板100变成上部从第二基板储存部120突出的状态。之后，释放第四把持部70的第四把持部件71对基板100的把持。

像这样，通过使用第一手20和第二手50，能够将从试验装置200取下的水平状态的基板100以垂直状态储存于第二基板储存部120。此外，根据第四把持部70，还能够将以垂直状态储存于第二基板储存部120的基板100取出。

(基板从第二基板储存部向第一基板储存部的移动例)

图22是表示通过输送机器人1的第二手50将基板100拉出，并变更基板100的朝向来储存于第一基板储存部110之前的状态的俯视图。图23是表示通过图22所示的第二手50将基板100储存于第一基板储存部110之前的状态的俯视图。图24是表示通过图23所示的第二手50将基板100储存于第一基板储存部110的状态的俯视图。

如上述图21所示，在通过设置于第二手50的第四把持部70的第四把持部件71把持基板100的上部来将基板100从第二基板储存部120向上方取出之后，如图22所示，第四把持部70的回旋部73回旋180度而使基板100成为水平状态。另外，第一手20配置在第一基板储存部110的前方。进而，设置于第一手主体21的支承部38配置于在将基板100朝向支承槽113插入时能够支承下表面的规定位置。

进而，如图23所示，通过第二手50的第四把持部70把持的基板100的端部被载置于第一手20的支承部38。之后，如图24所示，第二手50朝向第一基板储存部110移动，而使基板100在支承部38之上滑动的同时储存于第一基板储存部110。在将基板100储存至规定位置之后，释放第四把持部70的第四把持部件71对基板100的把持。

像这样通过使用第一手20和第二手50，能够将以垂直方向储存于第二基板储存部120的基板100以水平方向储存于第一基板储存部110。

(第一手的变形例)

图25是能够进行图2所示的第一手20的基板抵接部35与第三把持部40的位置调节的例子的俯视图。图26是图25的侧视图。上述基板抵接部35能够构成为，可以调节第一把持部30的两侧方的基板抵接部35的配置间隔。若像这样构成，则即使变更基板100的大小，也能够根据基板100的大小来调节基板抵接部35的配置间隔而适当地应对。另外，第三把持部40(第二把持部60也同样)也能够构成为，可以根据基板100的大小来调节宽度方向的把持间隔。若像这样构成，则即使变更基板100的大小，也能够变更为与基板100相应的把持间隔来适当地进行把持。这些间隔调节例如可以通过能够利用固定螺栓等(图示略)变更固定在主体侧的位置来应对。

(实施方式1的总结)

如以上那样，根据上述第一手20及第二手50，能够利用第一手20对以水平状态储存的基板100进行定位，利用第二手50从下方支承通过第一手20取出的基板100而沿水平方向取出。由此，能够通过紧凑的结构将基板100等物品向试验装置200等规定位置适当地输送。

另外，根据上述实施方式1的输送机器人1，由于是将具备第一手20的第一臂3和具备第二手50的第二臂4设置于一个基台2的一台机器人，因此能够通过小的设置空间适当地输送基板100。

＜实施方式2＞

基于附图对实施方式2进行说明。在实施方式2所涉及的输送机器人1a中，输送手的结构与实施方式1不同。以下，关于实施方式2，围绕与实施方式1不同的方面进行说明，适当省略与实施方式1相同的方面的说明。

(输送机器人的结构)

图27是表示实施方式2所涉及的输送机器人1a的立体图。图28是表示实施方式2所涉及的输送机器人1a的俯视图。如图27及图28所示，实施方式2所涉及的输送机器人1a的结构，除输送手10a以外，与实施方式1所涉及的输送机器人1相同。输送机器人1a具备第一臂3、第二臂4、以及控制装置9。第一臂3和第二臂4以第一轴s1为中心在水平面内转动、即在同轴上转动。进一步，输送机器人1a在第一臂3和第二臂4分别具备输送手10a。输送手10a设置成，能够在第一臂3和第二臂4各自的第四连杆8的末端部，以第五轴s5(参照图1)为中心在水平方向的第一面内转动。

另外，在本实施方式中，试验装置200配置在输送机器人1a的基台2的前方。进一步，第一基板储存部110a及110b配置在试验装置200的两侧。第一基板储存部110a及110b具有由沿水平方向延伸的横档等构成的一个以上的接受部，将基板100以水平状态储存在该接受部上。第一基板储存部110a储存试验前的基板100，第一基板储存部110b储存试验合格的基板100。另外，第三基板储存部130配置在试验装置200与第一基板储存部110b之间，接收试验不合格的基板100。第三基板储存部130只要能够收容基板100则可以是任何结构。

第一基板储存部110a在背部具备顶出缸110aa。顶出缸110aa将所储存的基板100朝向输送机器人1a顶出。顶出缸110aa可以顶出一个基板100，也可以将多个基板100一起顶出。另外，也可以设置有使顶出缸110aa上下移动的移动装置110ab。虽然不限于此，但顶出缸110aa和移动装置110ab由控制装置9控制。控制装置9与第一臂3、第二臂4及输送手10a的动作链接，来控制顶出缸110aa和移动装置110ab的动作。

本实施方式所涉及的输送手10a能够单独将储存于第一基板储存部110a的基板100以水平状态拉出并把持。进一步，输送手10a能够单独将把持的基板100以水平状态插入并载置在第一基板储存部110b内。另外，输送手10a能够单独将把持的基板100配置于试验装置200及第三基板储存部130。

(输送手的结构)

图29是表示实施方式2所涉及的输送手10a的立体图。如图29所示，输送手10a具备手主体11a、安装部12a、以及连接部13a。手主体11a具有基座11aa、第一把持部30a、以及第二把持部60a。基座11aa是从臂3或臂4的第四连杆8(参照图28)沿输送手10a的长度方向d1a延伸的部件。方向d1b是与方向d1a相反的方向。第二把持部60a配置于基座11aa的末端部，第一把持部30a配置于比第二把持部60a接近基座11aa的基部即第四连杆8的位置。

安装部12a将手主体11a安装于作为安装对象的第四连杆8。具体地，安装部12a将连接部13a以能够以第五轴s5为中心转动的方式安装于第四连杆8。安装部12a可以具备未图示的致动器，可以通过利用控制装置9使该致动器接受控制，从而使连接部13a相对于第四连杆8转动。

连接部13a将手主体11a与安装部12a连接。连接部13a具有：与安装部12连接且沿方向d1a延伸的第一连接部件13aa；和将第一连接部件13aa的末端部与基座11aa连接的第二连接部件13ab。相对于第一连接部件13aa，安装部12a配置在方向d2a，第二连接部件13ab配置在方向d2b。方向d2a及d2b是相互相反的方向，且是与方向d1a及d1b交叉的方向，在本实施方式中正交。在本实施方式中，基座11aa相对于第二连接部件13ab位于下方亦即方向d2b，从第二连接部件13ab垂下。

第二连接部件13ab包含浮动机构。浮动机构包含弹簧、减震器及气压或液压缸等缓冲部件(未图示)，借助该缓冲部件来将第一连接部件13aa与基座11aa连接。进一步，浮动机构包含制止缓冲部件的动作的制止装置(未图示)。制止装置通过电流的施加等而进行接通或断开动作，由此进行制止动作或制止解除动作。而且，制止装置的动作通过控制装置9来控制。在本实施方式中，接通状态的浮动机构能够进行基座11aa在与方向d2b垂直的方向上的相对于第一连接部件13aa的摆动，断开状态的浮动机构不能进行上述摆动。此外，上述那样的浮动机构由于是已知的技术，因此省略其详细的说明。

第一把持部30a具备一对第一把持部件31aa及31ab、第一致动器32a、以及第二致动器33a。第一把持部件31aa及31ab安装于第一致动器32a，第一致动器32a安装于第二致动器33a，第二致动器33a安装于基座11aa。

第二致动器33a在与第二连接部件13ab相反侧固定于基座11aa。第二致动器33a能够沿方向d1a及d1b伸缩，能够使第一致动器32a与第一把持部件31aa及31ab一起沿方向d1a及d1b滑动移动。在本实施方式中，第二致动器33a是气压缸、液压缸或电气式线性致动器等，但并不限于此，只要是使第一致动器32a在方向d1a及d1b滑动移动的结构即可。例如，第二致动器33a可以是具备电气马达和将电气马达的旋转运动转换成直线运动的转换机构的装置等。第二致动器33a是滑动致动器的一个例子。

进一步，在本实施方式中，第二致动器33a为多级缸，具体地，具有第一缸33aa和第二缸33ab。第一缸33aa固定安装于基座11aa，具有向方向d1a伸长且向方向d1b收缩的缸杆33aaa。第二缸33ab固定安装于缸杆33aaa的末端部，具有向方向d1a伸长且向方向d1b收缩的缸杆33aba。第二缸33ab位于比第一缸33aa接近方向d1a即第二把持部60a的位置。缸33aa及33ab的动作由控制装置9控制。缸33aa及33ab的动作方式可以相同也可以不同。

第一致动器32a固定安装于第二缸33ab的缸杆33aba的末端部。第一把持部件31aa及31ab在与缸杆33aba相反侧亦即方向d1a侧安装于第一致动器32a。第一把持部件31aa相对于第一把持部件31ab位于方向d2a，与第一把持部件31ab对置。第一把持部件31aa及31ab能够以在方向d2a及d2b进行相互接近或远离的开闭动作的方式移动，能够在厚度方向把持基板100。第一致动器32a使第一把持部件31aa及31ab中的至少一方向方向d2a及d2b动作。第一致动器32a为气动夹头及电磁夹头等，但并不限于此，只要是使第一把持部件31aa及31ab中的至少一方向方向d2a及d2b移动的结构即可。第一致动器32a的动作由控制装置9控制。检测具有基板100这一情况的传感器34a可以设置于第一把持部件31aa、第一把持部件31ab、或者第一把持部件31aa与31ab之间。传感器34a将检测信号输出至控制装置9。

上述那样的第一把持部30a具有能够在作为第一方向的一个例子的方向d2a及d2b把持基板100且向方向d1a及d1b滑动移动的第一把持部件31aa及31ab。第一致动器32a使第一把持部件31aa及31ab进行把持动作，第二致动器33a使第一把持部件31aa及31ab与第一致动器32a一起滑动移动。

第二把持部60a具备一对第二把持部件61aa及61ab、支承部件62a、以及第三致动器63aa及63ab。支承部件62a将第二把持部件61aa及61ab支承为在方向d3a及d3b相互对置的状态能够向方向d3a及d3b移动。方向d3a及d3b是相互相反的方向，是与方向d2a及d2b不同的方向。在本实施方式中，方向d3a及d3b与方向d1a及d1b以及方向d2a及d2b垂直，但也可以倾斜交叉。方向d3a及d3b是第二方向的一个例子。

支承部件62a固定安装于基座11aa，从基座11aa向两侧沿方向d3a及d3b延伸。在本实施方式中，两个棒状的支承部件62a沿方向d1a分离配置，并相互平行地延伸。支承部件62a将第二把持部件61aa及61ab双方支承为能够移动，但也可以将一方固定地支承，将另一方支承为能够移动。

第二把持部件61aa及61ab是板状的部件，隔着基座11aa向方向d3b及d3a相互配置在相反侧。两个支承部件62a贯通第二把持部件61aa及61ab。第二把持部件61aa及61ab分别能够沿着支承部件62a在方向d3a及d3b移动。两个分离的支承部件62a抑制第二把持部件61aa及61ab以支承部件62a为中心旋转。

第三致动器63aa及63ab分别与第二把持部件61aa及61ab连接，固定配置于两个支承部件62a。第三致动器63aa及63ab均具有固定于两个支承部件62a的固定部件63ba、和固定配置于固定部件63ba的致动器主体63bb。第三致动器63aa的固定部件63ba配置在第二把持部件61aa与基座11aa之间，致动器主体63bb配置在该固定部件63ba与第二把持部件61aa之间，并与第二把持部件61aa连接。第三致动器63ab的固定部件63ba配置在第二把持部件61ab与基座11aa之间，致动器主体63bb配置在该固定部件63ba与第二把持部件61ab之间，并与第二把持部件61ab连接。第三致动器63aa及63ab是把持致动器的一个例子。

致动器主体63bb能够沿方向d3a及d3b伸缩，使第二把持部件61aa或61ab在方向d3a及d3b移动。在本实施方式中，致动器主体63bb是气压缸、液压缸或电气式线性致动器等，但并不限于此，只要是使第二把持部件61aa或61ab在方向d3a及d3b移动的结构即可。例如，致动器主体63bb也可以是具备电气马达和将电气马达的旋转运动转换成直线运动的转换机构的装置等。例如，转换机构也可以是滚珠丝杠机构。在该情况下，也可以通过形成于支承部件62a的螺纹槽与配置于第二把持部件61aa或61ab的螺母的螺纹槽借助滚珠旋合，致动器主体63bb使支承部件62a或螺母旋转，从而第二把持部件61aa或61ab移动。致动器主体63bb的动作由控制装置9控制。

第三致动器63aa能够使第二把持部件61aa在方向d3a及d3b移动，第三致动器63ab能够使第二把持部件61ab在方向d3a及d3b移动。第二把持部件61aa及61ab中的至少一方通过以相互接近的方式在方向d3a及d3b移动，从而第二把持部件61aa及61ab能够在它们之间把持基板100。

另外，第二把持部件61aa及61ab分别具有切口部64aa及64ab。切口部64aa及64ab分别在第二把持部件61aa及61ab的在方向d1a的中央附近位于两个支承部件62a之间。切口部64aa形成朝向方向d3a凹陷且向方向d2a及d2b延伸的u字状截面的槽。切口部64ab形成朝向方向d3b凹陷且向方向d2a及d2b延伸的u字状截面的槽。

另外，第二把持部件61aa及61ab分别具有引导部65aa及65ab。引导部65aa及65ab沿第一把持部件31aa及31ab的滑动移动方向d1a及d1b延伸且相互对置。引导部65aa及65ab引导在第二把持部件61aa及61ab之间的基板100的方向d1a及d1b的移动，对由第二把持部件61aa及61ab把持的基板100进行定位。引导部65aa及65ab分别具有供基板100的周缘卡合的槽65ba及65bb。引导部65aa及65ab以及槽65ba及65bb沿方向d1a延伸。引导部65aa从第二把持部件61aa朝方向d3a突出，槽65ba形成朝方向d3b凹陷的u字状截面的槽。引导部65ab从第二把持部件61ab朝方向d3b突出，槽65bb形成朝方向d3a凹陷的u字状截面的槽。引导部65aa及65ab均未设置在切口部64aa及64ab而是被分断。

槽65ba及65bb在方向d3a及d3b相互对置且相互大致平行。槽65ba及65bb具有能够供基板100的周缘嵌合的形状及尺寸，在方向d2a及d2b以及方向d3a及d3b保持基板100，允许基板100在方向d1a及d1b的滑动移动。上述那样的引导部65aa及65ab的截面形状是横向的u字状，但并不限于此，例如，也可以是向上方敞开的l字状。

第二把持部件61aa及61ab通过在方向d3a及d3b移动使基板100的周缘嵌合于槽65ba及65bb，从而将基板100保持在规定的位置且从两侧把持基板100。第二把持部件61aa及61ab通过使基板100的周缘松动地嵌合于槽65ba及65bb，从而能够进行基板100的方向d1a及d1b的滑动移动。

(输送机器人的动作)

对输送机器人1a的动作进行说明。如图27～图29所示，输送机器人1a按照控制装置9的控制，如以下说明那样进行基板100的试验。首先，控制装置9控制输送机器人1a的右臂4，来使臂4的输送手10a移动至相对于储存于第一基板储存部110a的输送对象的基板100而言的规定的位置。接着，控制装置9使顶出缸110aa推压输送对象的基板100，由此使该基板100向输送手10a的第二把持部件61aa与61ab之间顶出。

接着，控制装置9使输送手10a将顶出的基板100在水平方向拉出并把持在第二把持部件61aa与61ab之间。接着，控制装置9使在臂4及其输送手10a把持的基板100载置于试验装置200的基板载置部201。

控制装置9在该基板100的试验完成后，从试验装置200取得试验结果。控制装置9在取得试验结果后，控制输送机器人1a的左臂3及其输送手10a，来使该输送手10a把持基板载置部201的基板100。在试验结果为不合格的情况下，控制装置9将在臂3及输送手10a把持的基板100配置在第三基板储存部130内。在试验结果为合格的情况下，控制装置9使在臂3及输送手10a把持的基板100向第一基板储存部110b的前方移动。

接下来，控制装置9使在输送手10a中把持的基板100沿水平方向滑动移动来插入到第一基板储存部110内之后，解除把持。由此，试验合格的基板100收容于第一基板储存部110b。

像这样，输送机器人1a仅使用右臂4来从第一基板储存部110a向试验装置200输送基板100，仅使用左臂3来从试验装置200向第三基板储存部130或第一基板储存部110b输送基板100。进一步，输送机器人1a能够并行地进行利用臂3及4的输送作业。

(基板从第一基板储存部的拉出例)

参照图30～图43对由输送手10a进行的基板100从第一基板储存部110a的拉出动作的一个例子进行说明。

图30及图31分别是表示右臂4的输送手10a相对于第一基板储存部110a的输送对象的基板100被定位的状态的俯视图及侧视图。在图31中，省略了第二把持部件61ab。

图32及图33分别是表示相对于右臂4的输送手10a顶出了第一基板储存部110a的输送对象的基板100的状态的俯视图及侧视图。在图33中，省略了第二把持部件61ab。

图34及图35分别是表示右臂4的输送手10a的第一把持部30a把持被顶出的基板100的状态的俯视图及侧视图。在图34中，省略了第二把持部件61ab。图36是表示图34及图35中的第一把持部30a的第一致动器32a的状态的俯视图。

图37及图38分别是表示右臂4的输送手10a的第一把持部30a将把持的基板100从第一基板储存部110a拉出的状态的俯视图及侧视图。在图38中，省略了第二把持部件61ab。图39是表示图37及图38中的第一把持部30a的第二致动器33a的状态的侧视图。图40是表示图39的第一把持部30a解除对被拉出的基板100的把持的状态的侧视图。

图41及图42分别是表示右臂4的输送手10a的第二把持部60a把持被拉出的基板100的状态的俯视图及侧视图。在图42中，省略了第二把持部件61ab。

首先，如图30及图31所示，控制装置9通过使输送机器人1a的右臂4动作，从而使臂4的输送手10a移动至相对于第一基板储存部110a的输送对象的基板100而言的规定的位置。规定的位置是输送手10a的第二把持部件61aa及61ab的引导部65aa及65ab的槽65ba及65bb、与输送对象的基板100沿水平方向即第一把持部件31aa及31ab的滑动方向并排、且第二把持部件61aa及61ab接近该基板100的位置。此外，基板100载置在设置于第一基板储存部110a的、由沿水平方向延伸的横档等构成的接受部110ac上。在一个接受部110ac中，两个基板100在水平方向亦即y轴方向配置成一列。

这里，在本实施方式中，对第一基板储存部110a定义x轴方向、y轴方向及z轴方向。具体地，将顶出缸110aa的伸长方向且是水平方向设为y轴负方向，将y轴负方向的相反方向设为y轴正方向。进一步，将铅垂上方向设为z轴正方向，将铅垂下方向设为z轴负方向。另外，将与y轴方向及z轴方向垂直的一个水平方向设为x轴正方向，将x轴正方向的相反方向设为x轴负方向。

在上述规定的位置中，控制装置9如以下那样控制输送手10a的姿势。具体地，在该姿势下，输送手10a的方向d3a与x轴正方向大致平行，方向d3b与x轴负方向大致平行。方向d1a与y轴正方向大致平行，方向d1b与y轴负方向大致平行。方向d2a与z轴正方向大致平行，方向d2b与z轴负方向大致平行。

接下来，如图32及图33所示，控制装置9通过使顶出缸110aa推压输送对象的基板100，从而使该基板100向y轴负方向顶出规定量。例如，控制装置9使顶出缸110aa推压至基板100的端部到达y轴方向的基准位置亦即基准面py。基准面py是与xz平面平行的面。

控制装置9也可以基于顶出缸110aa的冲程量、或配置于第二把持部件61aa或61ab的检测基板100的传感器(未图示)的检测信号来判定向基准面py的到达。该传感器可以是与传感器34a同样的传感器，也可以是照相机等。控制装置9也可以通过对用照相机拍摄到的图像进行处理并分析，从而检测基板100的位置。由此，基板100的一部分在周缘嵌入于引导部65aa或65ab的槽65ba或65bb的状态下位于第二把持部件61aa及61ab之间。在本例中，第二把持部件61aa为基准的把持部件，基板100的周缘嵌入于槽65ba而与第二把持部件61aa邻接。

接下来，如图34及图35所示，控制装置9使第一把持部30a的第二致动器33a伸长，由此将基板100的周缘嵌入到第一把持部件31aa及31ab之间。此时，如图36所示，控制装置9使缸33aa及33ab伸长。例如，控制装置9使第二缸33ab最大限度地伸长，使第一缸33aa伸长至基板100的周缘进入到第一把持部件31aa及31ab之间。控制装置9也可以基于缸33aa及33ab的冲程量、或者传感器34a的检测信号来检测基板100相对于第一把持部件31aa及31ab的位置。

进一步，控制装置9使第一致动器32a动作，由此使第一把持部件31aa及31ab进行关闭动作，把持基板100。在本例中，第一把持部件31aa位于第一把持部件31ab的上方亦即z轴正方向，控制装置9仅使第一把持部件31aa朝向第一把持部件31ab移动，但并不限于此。不移动的第一把持部件31ab能够与把持的有无无关地保持基板100的上下方向的位置。

接下来，如图37及图38所示，控制装置9使第一缸33aa收缩，由此将基板100通过引导部65aa进行引导的同时使基板100向方向d1b滑动移动。此时，如图39所示，控制装置9维持第二缸33ab的伸长状态不变的状态仅使第一缸33aa收缩。通过上述滑动移动，基板100的大致整体从接受部110ac被拉出并位于第二把持部件61aa及61ab之间，但如图37及图38所示，基板100的端部也可以载置在接受部110ac之上。控制装置9也可以基于第一缸33aa的冲程量、或者配置于第二把持部件61aa或61ab的检测基板100的传感器(未图示)的检测信号来检测基板100在方向d1b的位置。

接下来，如图40所示，控制装置9使第一把持部件31aa以从第一把持部件31ab分离的方式向方向d2a移动，由此解除对基板100的把持。此时，基板100由于被不动的第一把持部件31ab从下方支承，因此能够维持上下方向的位置。

接下来，如图41及图42所示，控制装置9使第二把持部件61ab的第三致动器63ab收缩，由此使第二把持部件61ab朝向基板100及第二把持部件61aa沿方向d3b移动。控制装置9使第二把持部件61ab移动，直至基板100的方向d3b的周缘抵接于引导部65aa的槽65ba，基板100的方向d3a的周缘嵌入并抵接于引导部65ab的槽65bb。由此，第二把持部件61aa及61ab把持基板100的两侧的周缘。由于第二把持部件61aa不移动，因此基板100在方向d3a上被定位在以第二把持部件61aa为基准的基准位置亦即基准面px。基准面px是与yz平面平行的面。此时，控制装置9将缸33aa及33ab的伸长状态维持为图40的状态的情况下仅使第三致动器63ab收缩。

控制装置9也可以基于第三致动器63ab的冲程量、或者配置于第二把持部件61ab的检测基板100的传感器(未图示)的检测信号来检测基板100相对于第二把持部件61ab的位置。

像这样，输送手10a能够将从第一基板储存部110a拉出的基板100定位在输送手10a中的规定的位置并进行把持。此外，控制装置9在基板100从第一基板储存部110a的拉出动作期间，将第二连接部件13ab的浮动机构维持为断开状态、即固定状态。

(基板向试验装置的输送)

首先，对试验装置200的基板载置部201的结构进行说明。图43及图44分别是表示实施方式2所涉及的试验装置200的基板载置部201的侧视图及俯视图。图45是表示将基板100载置于基板载置部201时的第一把持部30a的第二缸33ab的状态的俯视图。

如图43及图44所示，在基板载置部201的上表面划定有供基板100载置的规定区域亦即载置区域201a。载置区域201a与基板100同样地为矩形状，载置区域201a的形状及尺寸与基板100的形状及尺寸对应。进一步，在基板载置部201的上表面，四个引导部202分别设置于载置区域201a的四个周缘。各引导部202从基板载置部201的上表面朝向上方延伸。各引导部202包括：从基板载置部201的上表面垂直地延伸的定位部202a；和从定位部202a弯曲并朝向载置区域201a的外侧延伸的导入部202b。四个引导部202在经由锥状的导入部202b接收从上方卸下的基板100之后利用定位部202a进行引导，由此将基板100相对于载置区域201a定位。

输送机器人1a将由右臂4的输送手10a把持的基板100如以下说明那样，载置于基板载置部201的载置区域201a。如图43及图44所示，控制装置9使输送手10a向基板载置部201的上方移动。具体地，控制装置9以输送手10a所把持的基板100位于载置区域201a的上方的方式使输送手10a移动。进一步，控制装置9使输送手10a下降。此时，控制装置9将第二连接部件13ab的浮动机构设为接通状态、即摆动状态。由此，输送手10a能够进行第二把持部件61aa及61ab的摆动，使基板100下降。

由第二把持部件61aa及61ab把持的基板100通过引导部202的导入部202b的内侧而向定位部202a的内侧卸下。例如，即使在基板100与定位部202a之间存在位置偏移的情况下，也通过第二把持部件61aa及61ab摆动，从而基板100被导入部202b引导，到达定位部202a的内侧。由此，抑制了基板100与引导部202的干涉，能够进行基板100的顺畅的下降。

另外，当基板100下降时，对置的两个引导部202位于第二把持部件61aa及61ab之间，对置的另外两个引导部202位于第二把持部件61aa及61ab所下降的位置。然而，如图45所示，后者的引导部202进入到下降的第二把持部件61aa及61ab的切口部64aa及64ab的内侧，不与第二把持部件61aa及61ab干涉。此外，切口部64aa及64ab也可以为了将第二把持部件61aa及61ab相对于引导部202定位而使用。

另外，当基板100下降时，控制装置9使第二缸33ab收缩，使第一把持部件31aa及31ab从引导部202退避。由此，当输送手10a移动时，第一把持部件31aa及31ab保持基板100，当基板100向引导部202配置时，防止第一把持部件31aa及31ab与引导部202的干涉。

另外，若第二把持部件61aa及61ab与基板载置部201的上表面接触或到达该上表面的附近，则控制装置9使第三致动器63aa和/或63ab进行伸长动作，由此解除第二把持部件61aa及61ab对基板100的把持。由此，基板100被载置于载置区域201a。

另外，在基板100的试验后，输送机器人1a使用左臂3及其输送手10a来将载置于载置区域201a的基板100输送至第一基板储存部110b或第三基板储存部130。输送手10a把持载置区域201a的基板100的动作是按与上述相反的顺序进行的动作。此时，控制装置9可以将第二连接部件13ab的浮动机构设为接通状态，也可以设为断开状态。

(基板向第一基板储存部的储存例)

对利用输送手10a进行的基板100向第一基板储存部110b的储存动作的一个例子进行说明。利用输送手10a进行的基板100的储存动作与基板100从第一基板储存部110a的拉出动作的相反的顺序的动作相同。此外，控制装置9在基板100向第一基板储存部110b的储存动作期间，将第二连接部件13ab的浮动机构维持为断开状态。

具体地，控制装置9使左臂3动作，由此使臂3的输送手10a移动至相对于第一基板储存部110b而言的规定的位置。规定的位置是输送手10a所把持的基板100与供基板100插入的第一基板储存部110b的接受部在水平方向并排，且第二把持部件61aa及61ab接近第一基板储存部110b的位置。

接着，控制装置9使第一把持部30的第二致动器33a伸长，使第一把持部件31aa及31ab把持由第二把持部件61aa及61ab把持的基板100的周围端部。接着，控制装置9使第二把持部60的第三致动器63aa和/或63ab伸长，解除第二把持部件61aa及61ab对基板100的把持。

接着，控制装置9使第二致动器33a伸长，使由第一把持部件31aa及31ab把持的基板100在第一基板储存部110b的规定的接受部之上滑动移动。控制装置9在使基板100滑动移动规定量之后，使第一把持部件31aa及31ab进行打开动作，来解除基板100的把持。由此，基板100配置于第一基板储存部110b内的规定的位置。之后，控制装置9使第二致动器33a收缩，使第一把持部件31aa及31ab后退至规定的位置。

(实施方式2的总结)

如以上那样，根据上述输送手10a，通过具备第一把持部30a及第二把持部60a的一个手主体11a，能够在使用第一把持部30a使以水平状态储存的基板100滑动移动而拉出之后，使用第二把持部60a把持并输送基板100。由此，能够通过紧凑的结构将基板100等物品向试验装置200等规定位置适当地进行输送。

另外，上述实施方式2的输送机器人1a是在一个基台2具备具有输送手10a的臂3及4的一台机器人。由此，能够通过小的设置空间适当且有效地输送基板100。

(其他实施方式)

以上，对本发明的实施方式的例子进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式。即，能够在本发明的范围内进行各种变形及改良。例如，对实施方式实施各种变形而得到的形态、以及组合不同的实施方式中的构成要素来构筑的形态也包含在本发明的范围内。

例如，在上述实施方式1中，将第一手20与第二手50设置于一台输送机器人1，但也能够将第一手20与第二手50设置于不同的多关节机器人等。

另外，在上述实施方式1中，将第一手20的第一手主体21形成为l字状，将第二手50的第二手主体51形成为l字状，但第一手主体21及第二手主体51的形状并不限定为l字状。

另外，上述实施方式1中的基板抵接部35是抵接于基板100的周围的结构，但也可以设置传感器来检测基板100。

另外，在上述实施方式2中，输送机器人1a具备两个臂3及4，但也可以仅具备一个臂，还可以具备三个以上的臂。例如，可以将两个臂3及4设置于不同的机器人。

另外，在上述实施方式2中，臂3及4的输送手10a双方在第二连接部件13ab具备浮动机构，但并不限于此。例如，不进行将基板100载置于试验装置200的基板载置部201的动作的左臂3的输送手10a也可以不在第二连接部件13ab具备浮动机构。

另外，在上述实施方式2中，第一把持部30a的第二致动器33a具备二级缸，但并不限于此。第二致动器33a也可以具备一级缸，还可以具备三级以上的缸。由于具备多级缸，因此仅通过使各缸简单地伸长或收缩，便能够多级地调整第二致动器33a的冲程量。此外，第二把持部60a的第三致动器63aa及63ab也可以具备多级缸。

另外，在上述的实施方式2中，第二把持部60a的第二把持部件61aa及61ab双方构成为利用第三致动器63aa及63ab进行移动，但并不限于此，也可以将一方进行固定。

附图标记说明

1、1a…输送机器人；3…第一臂；4…第二臂；9…控制装置；10、10a…输送手；11a…手主体；12a…安装部；13a…连接部；20…第一手；21…第一手主体；22…第一安装部；30、30a…第一把持部；31、31aa、31ab…第一把持部件；33a…第二致动器(滑动致动器)；33aa…第一缸；33ab…第二缸；35…基板抵接部；38…支承部；40…第三把持部；50…第二手；51…第二手主体；52…第二安装部；60、60a…第二把持部；61、61aa、61ab…第二把持部件；61a…突出部(支承部)；63aa、63ab…第三致动器63(把持致动器)；65aa、65ab…引导部；70…第四把持部；100…基板(物品)。

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