工业用机器人及工业用机器人的控制方法与流程

本发明涉及一种水平多关节型工业用机器人。另外，本发明涉及一种水平多关节型工业用机器人的控制方法。

背景技术：

目前，已知一种在真空中搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备装载玻璃基板的两只手、在前端侧以能够转动的方式连接两只手的臂、以及以能够转动的方式连接臂的基端侧的主体部。臂由两个臂部和共同臂部构成，上述两个臂部分别在前端侧以能够转动的方式连接两只手，上述共同臂部以能够转动的方式连接两个臂部的基端侧，并且以能够转动的方式连接于主体部。另外，该工业用机器人具备转动机构和驱动机构，该转动机构具有用于使共同臂部相对于主体部转动的共同臂部驱动电动机，该驱动机构具备用于使手相对于臂部转动并且使臂部相对于共同臂部转动的臂部驱动电动机。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，在臂伸缩对玻璃基板的制造装置等搬运玻璃基板时，驱动共同臂部驱动电动机和用于使一臂部转动的臂部驱动电动机。此时，停止用于使另一臂部转动的臂部驱动电动机。另外，此时，控制共同臂部驱动电动机和用于使一臂部转动的臂部驱动电动机，以使连接于一臂部的手在朝向恒定方向的状态下直线移动。具体地说，共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机具备用于检测电动机的旋转位置的编码器，基于编码器的检测结果控制共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机，以使连接于一臂部的手在朝向恒定方向的状态下直线移动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018－15839号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人中，当臂进行伸缩动作时，在能够基于编码器的检测结果进行共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机的控制的状态下发生规定的错误而使工业用机器人紧急停止的情况(即，使共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机紧急停止的情况)下，通常，在基于编码器的检测结果控制共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机的同时使共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机紧急停止。因此，在这种情况下，在直到臂停止为止的期间，能够使手沿着设计上的轨迹移动之后(即，使手直线移动之后)，使手停止。

另一方面，例如，在臂进行伸缩动作时发生虽然能够基于编码器的检测结果进行共同臂部驱动电动机的控制、但不能基于编码器的检测结果进行臂部驱动电动机的控制的编码器错误而使工业用机器人紧急停止的情况(即，使共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机紧急停止的情况)下，无法在基于编码器的检测结果控制臂部驱动电动机的同时使臂部驱动电动机紧急停止。因此，本申请发明人尝试当臂的伸缩动作中发生上述编码器错误时，在基于编码器的检测结果控制共同臂部驱动电动机的同时使共同臂部驱动电动机紧急停止，并通过施加动态制动使臂部驱动电动机紧急停止。

但是，由于在电动机处于低速时动态制动几乎不起作用，因此在这种情况下，在直到臂停止为止的期间移动的手的轨迹大幅偏离设计上的轨迹(即，直线状的轨迹)，手的停止位置大幅偏离设计上的轨迹，这是明确的。于是，本申请发明人尝试当在臂的伸缩动作中发生上述的编码器错误时，通过施加动态制动使共同臂部驱动电动机及臂部驱动电动机紧急停止。在这种情况下，尽管在直到臂停止为止的期间移动的手的轨迹与设计上的轨迹的偏离变小，且手的停止位置与设计上的轨迹的偏离变小，但明确的是手的轨迹的偏离超过了允许范围。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种工业用机器人，在具备手和以能够转动的方式连接手的臂的水平多关节型工业用机器人中，当在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使多个电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的轨迹与设计上的轨迹的偏离，其中，编码器错误是指在臂的伸缩动作中驱动的多个电动机中的几个电动机不能基于编码器的检测结果进行控制，剩余的电动机能够基于编码器的检测结果进行控制。

另外，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人的控制方法，在具备手和以能够转动的方式连接手的臂的水平多关节型工业用机器人中，当在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使多个电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的轨迹与设计上的轨迹的偏离，其中，编码器错误是指在臂的伸缩动作中驱动的多个电动机中的几个电动机不能基于编码器的检测结果进行控制，剩余的电动机能够基于编码器的检测结果进行控制。

用于解决技术问题的方案

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人为水平多关节型工业用机器人，其特征在于，具备：手；臂，其具有以能够相对转动的方式连接的至少两个臂部，并且在前端侧以能够转动的方式连接手；主体部，其以能够转动的方式连接臂的基端侧；臂驱动机构，其使臂相对于主体部在水平方向上伸缩；以及控制部，其控制工业用机器人，臂驱动机构具备用于使臂伸缩的多个电动机和用于检测多个电动机的旋转位置的多个编码器，多个编码器分别安装于多个电动机中的每一个，如果将在臂的伸缩动作中驱动的多个电动机中的几个电动机不能基于编码器的检测结果进行控制、剩余的电动机能够基于编码器的检测结果进行控制的情况设为编码器错误，将在编码器错误发生时不能基于编码器的检测结果进行控制的驱动中的电动机设为第一电动机，将在编码器错误发生时能够基于编码器的检测结果进行控制的驱动中的电动机设为第二电动机，将安装在第一电动机上的编码器设为第一编码器，将安装在第二电动机上的编码器设为第二编码器，则当在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机紧急停止时，控制部向第一电动机施加动态制动而使第一电动机紧急停止，并且在基于第一编码器的输出信号和第二编码器的输出信号控制第二电动机的同时使第二电动机紧急停止。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的控制方法，是水平多关节型工业用机器人的控制方法，该水平多关节型工业用机器人具备：手；臂，其具有以能够相对转动的方式连接的至少两个臂部，并且在前端侧以能够转动的方式连接手；主体部，其以能够转动的方式连接臂的基端侧；以及臂驱动机构，其使臂相对于主体部在水平方向上伸缩，臂驱动机构具备用于使臂伸缩的多个电动机和用于检测多个电动机的旋转位置的多个编码器，多个编码器分别安装于多个电动机中的每一个上，其特征在于，如果将在臂的伸缩动作中驱动的多个电动机中的几个电动机不能基于编码器的检测结果进行控制、剩余的电动机能够基于编码器的检测结果进行控制的情况设为编码器错误，将在发生编码器错误时不能基于编码器的检测结果进行控制的驱动中的电动机设为第一电动机，将在发生编码器错误时能够基于编码器的检测结果进行控制的驱动中的电动机设为第二电动机，将安装在第一电动机上的编码器设为第一编码器，将安装在第二电动机上的编码器设为第二编码器，则在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机紧急停止时，向第一电动机施加动态制动而使第一电动机紧急停止，并且在基于第一编码器的输出信号和第二编码器的输出信号控制第二电动机的同时使第二电动机紧急停止。

在本发明中，在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机紧急停止时，向不能进行基于编码器的检测结果的控制的第一电动机施加动态制动而使第一电动机紧急停止，并且在基于第一编码器的输出信号和第二编码器的输出信号控制能够进行基于编码器的检测结果的控制的第二电动机的同时使第二电动机紧急停止。即，在本发明中，在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机紧急停止时，在不仅基于安装在第二电动机上的第二编码器的输出信号、还基于安装在第一电动机上的第一编码器的输出信号控制第二电动机的同时，使第二电动机紧急停止。

因此，在本发明中，当在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机紧急停止时，能够以与施加动态制动来减速并停止的第一电动机的减速度对应的减速度使第二电动机减速并停止。因此，在本发明中，当在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使多个电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的轨迹与设计上的轨迹(直线状的轨迹)的偏离。

在本发明中，工业用机器人例如具备第一手及第二手作为手，臂具备第一前端侧臂部、第二前端侧臂部以及共同臂部作为臂部，上述第一前端侧臂部在前端侧以能够转动的方式连接第一手，上述第二前端侧臂部在前端侧以能够转动的方式连接第二手，上述共同臂部将第一前端侧臂部的基端侧及第二前端侧臂部的基端侧以能够转动的方式连接，并且以能够转动的方式连接到主体部，臂驱动机构具备共同臂部驱动电动机、第一前端侧臂部驱动电动机以及第二前端侧臂部驱动电动机作为电动机，上述共同臂部驱动电动机用于使共同臂部相对于主体部转动，上述第一前端侧臂部驱动电动机用于使第一前端侧臂部相对于共同臂部转动，上述第二前端侧臂部驱动电动机使第二前端侧臂部相对于共同臂部转动，当臂进行伸缩动作时，在第二前端侧臂部驱动电动机停止的状态下，驱动第一前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机，或者，在第一前端侧臂部驱动电动机停止的状态下，驱动第二前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机。

在本发明中，例如，当在第二前端侧臂部驱动电动机停止的状态下驱动第一前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机而进行臂的伸缩动作时，发生第一前端侧臂部驱动电动机成为第一电动机且共同臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误时，控制部向第一前端侧臂部驱动电动机施加动态制动而使第一前端侧臂部驱动电动机紧急停止，并且在基于安装在第一前端侧臂部驱动电动机上的第一编码器的输出信号和安装在共同臂部驱动电动机上的第二编码器的输出信号控制共同臂部驱动电动机的同时使共同臂部驱动电动机紧急停止，当在第二前端侧臂部驱动电动机停止的状态下驱动第一前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机进行臂的伸缩动作时，发生共同臂部驱动电动机成为第一电动机且第一前端侧臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误时，控制部向共同臂部驱动电动机施加动态制动而使共同臂部驱动电动机紧急停止，并且在基于安装在共同臂部驱动电动机上的第一编码器的输出信号和安装在第一前端侧臂部驱动电动机上的第二编码器的输出信号控制第一前端侧臂部驱动电动机的同时使第一前端侧臂部驱动电动机紧急停止，当在第一前端侧臂部驱动电动机停止的状态下驱动第二前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机进行臂的伸缩动作时，发生第二前端侧臂部驱动电动机成为第一电动机且共同臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误时，控制部向第二前端侧臂部驱动电动机施加动态制动而使第二前端侧臂部驱动电动机紧急停止，并且在基于安装在第二前端侧臂部驱动电动机上的第一编码器的输出信号和安装在共同臂部驱动电动机上的第二编码器的输出信号控制共同臂部驱动电动机的同时使共同臂部驱动电动机紧急停止，当在第一前端侧臂部驱动电动机停止的状态下驱动第二前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机进行臂的伸缩动作时，发生共同臂部驱动电动机成为第一电动机且第二前端侧臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误时，控制部向共同臂部驱动电动机施加动态制动而使共同臂部驱动电动机紧急停止，并且在基于安装在共同臂部驱动电动机上的第一编码器的输出信号和安装在第二前端侧臂部驱动电动机上的第二编码器的输出信号控制第二前端侧臂部驱动电动机的同时使第二前端侧臂部驱动电动机紧急停止。

在这种情况下，在第二前端侧臂部驱动电动机停止的状态下驱动第一前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机的臂的伸缩动作中，发生第一前端侧臂部驱动电动机成为第一电动机且共同臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误、或发生共同臂部驱动电动机成为第一电动机且第一前端侧臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误而使第一前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的第一手的轨迹与设计上的轨迹的偏离。

另外，在这种情况下，在第一前端侧臂部驱动电动机停止的状态下驱动第二前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机的臂的伸缩动作中，发生第二前端侧臂部驱动电动机成为第一电动机且共同臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误、或发生共同臂部驱动电动机成为第一电动机且第二前端侧臂部驱动电动机成为第二电动机的编码器错误而使第二前端侧臂部驱动电动机及共同臂部驱动电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的第二手的轨迹与设计上的轨迹的偏离。

在本发明中，优选的是，工业用机器人具备用于使手相对于臂转动的手转动用电动机和用于检测手转动用电动机的旋转位置的手用编码器，如果将在臂的伸缩动作中不能基于手用编码器的检测结果进行手转动用电动机的控制的情况设为第二编码器错误，则在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，控制部在基于第一编码器的输出信号和手用编码器的输出信号控制手转动用电动机的同时使手转动用电动机紧急停止，当在臂的伸缩动作中发生第二编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，控制部向手转动用电动机施加动态制动而使手转动用电动机紧急停止，并且基于手用编码器的输出信号和编码器的输出信号使驱动中的多个电动机紧急停止，当在臂的伸缩动作中发生编码器错误及第二编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，控制部向第一电动机施加动态制动而使第一电动机紧急停止，向手转动用电动机施加动态制动而使手转动用电动机紧急停止，并且在基于手用编码器的输出信号、第一编码器的输出信号以及第二编码器的输出信号控制第二电动机的同时使第二电动机紧急停止。

如果这样构成，则在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，能够以与施加动态制动来减速并停止的第一电动机的减速度对应的减速度使手转动用电动机减速并停止。因此，当在臂的伸缩动作中发生编码器错误而使多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的方向与设计上的方向的偏离。

另外，如果这样构成，则在臂的伸缩动作中发生第二编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，能够以与施加动态制动来减速并停止的手转动用电动机的减速度相对应的减速度使驱动中的多个电动机减速并停止。因此，在臂的伸缩动作中发生第二编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的方向与设计上的方向的偏离。

再者，如果这样构成，则在臂的伸缩动作中发生编码器错误及第二编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，能够以与施加动态制动来减速并停止的第一电动机的减速度及手转动用电动机的减速度相对应的减速度使第二电动机减速并停止。因此，在臂的伸缩动作中发生编码器错误及第二编码器错误而使驱动中的多个电动机及手转动用电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的方向与设计上的方向的偏离。

发明效果

如上所述，在本发明中，在具备手和以能够转动的方式连接有手的臂的水平多关节型工业用机器人中，当在臂的伸缩动作中发生在臂的伸缩动作中驱动的多个电动机中的几个电动机不能基于编码器的检测结果进行控制、剩余的电动机能够基于编码器的检测结果进行控制的编码器错误而使多个电动机紧急停止时，能够抑制在直到臂停止为止的期间移动的手的轨迹与设计上的轨迹的偏离。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是用于说明图1所示的工业用机器人的结构的框图。

图4是用于说明图2的e部的结构的剖视图。

图5(a)是本发明另一实施方式的工业用机器人的俯视图，图5(b)是图5(a)所示的工业用机器人的侧视图。

图6是用于说明图5(a)和图5(b)所示的工业用机器人的结构的框图。

附图标记说明

1…机器人(工业用机器人)；4…手(第一手)；5…手(第二手)；6…臂；7…主体部；8…控制部；9…臂驱动机构；10…前端侧臂部(臂部、第一前端侧臂部)；11…前端侧臂部(臂部、第二前端侧臂部)；12…共同臂部(臂部)；34…电动机(第一前端侧臂部驱动电动机)；35…电动机(第二前端侧臂部驱动电动机)；36…电动机(共同臂部驱动电动机)；37～39、81、82…编码器；71、72…臂部；78、79…电动机；80…电动机(手转动用电动机)；83…编码器(手用编码器)。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图3是用于说明图1所示的机器人1的结构的框图。

本实施方式的工业用机器人1(以下，设为“机器人1”)是用于搬运液晶显示器用的玻璃基板2(以下，设为“基板2”)的水平多关节型机器人。机器人1在真空中搬运基板2。机器人1具备：装载基板2的两只手4、5、在前端侧以能够转动的方式连接手4、5的臂6、以能够转动的方式连接臂6的基端侧的主体部7、以及控制机器人1的控制部8。另外，机器人1具备使臂6相对于主体部7在水平方向上伸缩的臂驱动机构9和使手4、5及臂6相对于主体部7上升和下降的升降机构(省略图示)。

臂6具备在前端侧以各自能够转动的方式连接两只手4、5的两个前端侧臂部10、11和以能够转动的方式连接两个前端侧臂部10、11的共同臂部12。即，臂6具备以能够相对转动的方式连接的三个臂部10～12(前端侧臂部10、前端侧臂部11及共同臂部12)。本实施方式的臂6由两个前端侧臂部10、11和共同臂部12构成。

手4以能够转动的方式连接于前端侧臂部10的前端侧。手5以能够转动的方式连接于前端侧臂部11的前端侧。共同臂部12以能够转动的方式连接于主体部7。本实施方式的手4是第一手，手5是第二手。另外，前端侧臂部10是第一前端侧臂部，前端侧臂部11是第二前端侧臂部。

手4配置于比手5靠上侧的位置。前端侧臂部10配置于比手4靠上侧的位置。前端侧臂部11配置于比手5靠下侧的位置。共同臂部12配置于比前端侧臂部11靠下侧的位置。即，前端侧臂部10、11配置于比共同臂部12靠上侧的位置。另外，共同臂部12配置于比主体部7靠上侧的位置。

主体部7具备收容使臂6上升/下降的升降机构及后述的电动机36等的有底圆筒状的壳体16和覆盖壳体16的上端的开口的盖体17。在盖体17上形成有扩展到壳体16的径向外侧的凸缘部17a。如上所述，机器人1在真空中搬运基板2。如图2所示，机器人1的比凸缘部17a的下表面靠上侧的部分配置于真空腔室18中。即，机器人1的比凸缘部17a的下表面靠上侧的部分配置于真空区域vr中(真空中)。另一方面，机器人1的比凸缘部17a的下表面靠下侧的部分配置于大气区域ar中(大气中)。

手4、5具备装载基板2的多个叉部19。前端侧臂部10、11从上下方向观察时的形状为细长的长圆形状，并且形成为上下方向的厚度薄的块状。前端侧臂部10的长度和前端侧臂部11的长度相等。前端侧臂部10、11形成为中空状。形成为中空状的前端侧臂部10、11的内部为真空。

共同臂部12形成为大致v形状。另外，共同臂部12形成为中空状。共同臂部12的内部为大气压。形成为大致v形状的共同臂部12的中心部分以能够转动的方式连接于主体部7。另外，前端侧臂部10的基端侧以能够转动的方式连接于形成为大致v形状的共同臂部12的一前端侧，前端侧臂部11的基端侧以能够转动的方式连接于共同臂部12的另一前端侧。前端侧臂部10和共同臂部12的连接部为关节部20。前端侧臂部11和共同臂部12的连接部为关节部21。

共同臂部12由连接至主体部7的基端部22、供前端侧臂部10、11的基端侧各自连接的两个前端部23、24及连接两个前端部23、24中的每一个和基端部22的细长的圆筒状的两个连接部25、26构成。前端侧臂部10的基端侧连接至前端部23，前端侧臂部11的基端侧连接至前端部24。连接部25连接基端部22和前端部23，连接部26连接基端部22和前端部24。

(臂驱动机构及控制部的结构)

图4是用于说明图2的e部的结构的剖视图。

臂驱动机构9由前端侧臂部驱动机构30、前端侧臂部驱动机构31及共同臂部驱动机构32构成，前端侧臂部驱动机构30使前端侧臂部10相对于共同臂部12转动，并且使手4相对于前端侧臂部10转动，前端侧臂部驱动机构31使前端侧臂部11相对于共同臂部12转动，并且使手5相对于前端侧臂部11转动，共同臂部驱动机构32使共同臂部12相对于主体部7转动。

前端侧臂部驱动机构30具备电动机34和用于检测电动机34的旋转位置的编码器37。编码器37安装在电动机34上。前端侧臂部驱动机构31具备电动机35和用于检测电动机35的旋转位置的编码器38。编码器38安装在电动机35上。共同臂部驱动机构32具备电动机36和用于检测电动机36的旋转位置的编码器39。编码器39安装在电动机36上。

即，臂驱动机构9具备用于使臂6伸缩的多个电动机34～36和用于检测多个电动机34～36的旋转位置的多个编码器37～39。具体地说，臂驱动机构9具备三个电动机34～36和三个编码器37～39。另外，三个编码器37～39分别安装在三个电动机34～36上。本实施方式的电动机36是用于使共同臂部12相对于主体部7转动的共同臂部驱动电动机，电动机34是用于使前端侧臂部10相对于共同臂部12转动的第一前端侧臂部驱动电动机，电动机35是用于使前端侧臂部11相对于共同臂部12转动的第二前端侧臂部驱动电动机。

电动机34～36及编码器37～39与控制部8电连接。编码器37～39是旋转编码器。编码器37～39例如具备固定于电动机34～36的输出轴上的狭缝板和透射型光学式传感器。光学式传感器具备以夹着狭缝板的状态相对配置的发光元件和受光元件。

前端侧臂部驱动机构30除了电动机34及编码器37之外，还具备连接至电动机34的减速器44。减速器44是空心波动齿轮装置，配置于关节部20。减速器44具备作为减速器44的输出轴的转动轴45、将转动轴45支承为能够转动的轴承及配置于转动轴45的外周侧的磁性流体密封件等。减速器44的壳体固定于前端部23。

另外，前端侧臂部驱动机构30具备固定于减速器44的输入轴46上的带轮48、配置于前端侧臂部10的基端侧的内部的带轮49、以及配置于前端侧臂部10的前端侧的内部的带轮50。在本实施方式中，带轮49的节圆直径和带轮50的节圆直径之比设定为1﹕2，以使手4以朝向恒定方向的状态直线移动。

转动轴45形成为中空状。转动轴45经由形成为中空状的转动轴52固定于前端侧臂部10的基端侧的下表面部。电动机34固定于前端部23。另外，电动机34配置于前端部23的内部。在电动机34的输出轴上固定有带轮53。在带轮48和带轮53上架设有传动带54。带轮48、53及传动带54配置于前端部23的内部。

在前端侧臂部10的基端侧的内部固定有将带轮49支承为能够转动的支承轴55。支承轴55的轴心与转动轴45的轴心一致。带轮49经由轴承被支承轴55支承为能够转动。另外，带轮49经由固定部件56固定于前端部23。固定部件56配置于关节部20的外部。在前端侧臂部10的前端侧的内部形成有将带轮50支承为能够转动的支承轴部10b。带轮50经由轴承被支承轴部10b支承为能够转动。另外，在带轮50的下端固定有手4的基端侧。在带轮49和带轮50上架设有传动带57。

前端侧臂部驱动机构31以与前端侧臂部驱动机构30大致相同的方式构成。因此，下面，以与前端侧臂部驱动机构30的不同点为中心，对前端侧臂部驱动机构31的结构进行说明。前端侧臂部驱动机构31除了电动机35及编码器38之外，与前端侧臂部驱动机构30同样，还具备连接至电动机35的减速器44。前端侧臂部驱动机构31的减速器44配置于关节部21。前端侧臂部驱动机构31的减速器44的壳体固定于前端部24。

另外，前端侧臂部驱动机构31与前端侧臂部驱动机构30同样，具备：固定在前端侧臂部驱动机构31的减速器44的输入轴46上的带轮48、配置于前端侧臂部11的基端侧的内部的带轮49、以及配置于前端侧臂部11的前端侧的内部的带轮50。前端侧臂部驱动机构31的减速器44的转动轴45固定于前端侧臂部11的基端侧的下表面部。电动机35固定于前端部24。另外，电动机35配置于前端部24的内部。带轮53固定在电动机35的输出轴上。

在前端侧臂部11的基端侧的内部固定有以能够转动的方式支承带轮49的支承轴55。带轮49经由固定部件56固定于前端部24。在前端侧臂部11的前端侧的内部形成有以能够转动的方式支承带轮50的支承轴。带轮50经由轴承被支承轴支承为能够转动。另外，手5的基端侧固定在带轮50的上端。

共同臂部驱动机构32除了电动机36及编码器39之外，还具备连接至电动机36的减速器。该减速器、电动机36及编码器39配置于壳体16的内部。减速器的壳体固定于壳体16上。作为减速器的输出轴的转动轴经由形成为中空状的规定的转动轴固定于共同臂部12的下表面(具体地说，基端部22的下表面)。在固定于减速器的输入轴上的带轮和固定于电动机36的输出轴上的带轮上架设有传动带。

如上所述，电动机34～36及编码器37～39与控制部8电连接。控制部8具备基于编码器37的检测结果控制电动机34的电动机控制部61、基于编码器38的检测结果控制电动机35的电动机控制部62以及基于编码器39的检测结果控制电动机36的电动机控制部63。编码器37的输出信号可以输入到电动机控制部61。编码器38的输出信号可以输入到电动机控制部62。编码器39的输出信号可以输入到电动机控制部63。

另外，编码器39的输出信号可以经由电动机控制部63输入到电动机控制部61或者直接输入到电动机控制部61。编码器39的输出信号可以经由电动机控制部63输入到电动机控制部62或者直接输入到电动机控制部62。编码器37的输出信号可以经由电动机控制部61输入到电动机控制部63或者直接输入到电动机控制部63，并且编码器38的输出信号可以经由电动机控制部62输入到电动机控制部63或者直接输入到电动机控制部63。

电动机控制部61具备使电动机34进行动态制动的动态制动控制电路。电动机控制部62具备使电动机35进行动态制动的动态制动控制电路。电动机控制部63具备使电动机36进行动态制动的动态制动控制电路。

当臂6进行伸缩动作时，控制部8驱动两个电动机34、35中的任一个电动机34、35和电动机36。即，当臂6进行伸缩动作时，在电动机35停止的状态下驱动电动机34及电动机36，或者，在电动机34停止的状态下驱动电动机35及电动机36。另外，臂驱动机构9以在手4或手5朝向恒定方向的状态下直线移动的方式使臂6在水平方向上伸缩。

即，驱动电动机34或电动机35和电动机36，使臂6在水平方向上伸缩，以使共同臂部12相对于主体部7的转动方向和前端侧臂部10、11相对于共同臂部12的转动方向变为相反方向，且共同臂部12相对于主体部7的转动量和前端侧臂部10、11相对于共同臂部12的转动量之比为1﹕2。

(工业用机器人的控制方法)

如果将在臂6的伸缩动作中驱动的多个电动机34～36中的几个电动机34～36不能基于编码器37～39的检测结果进行控制、剩余的电动机34～36能够基于编码器37～39的检测结果进行控制的情况设为编码器错误，将在发生编码器错误时不能基于编码器37～39的检测结果进行控制的驱动中的电动机34～36设为第一电动机，将在发生编码器错误时能够基于编码器37～39的检测结果进行控制的驱动中的电动机34～36设为第二电动机，将安装在第一电动机上的编码器37～39设为第一编码器，将安装在第二电动机上的编码器37～39设为第二编码器，则当在臂6的伸缩动作中发生编码器错误而使驱动中的多个电动机34～36紧急停止时，控制部8向第一电动机施加动态制动而使第一电动机紧急停止，并且在基于第一编码器的输出信号和第二编码器的输出信号控制第二电动机的同时使第二电动机紧急停止。

即，例如，如果在电动机35停止的状态下驱动电动机34及电动机36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机34成为第一电动机(即，不能基于编码器37的检测结果控制电动机34)且电动机36成为第二电动机(即，能够基于编码器39的检测结果控制电动机36)的编码器错误，则控制部8向电动机34施加动态制动而使电动机34紧急停止，并且在基于安装在电动机34上的第一编码器(即编码器37)的输出信号和安装在电动机36上的第二编码器(即编码器39)的输出信号控制电动机36的同时使电动机36紧急停止。

具体地说，如果发生这样的编码器错误，则电动机控制部61向电动机34施加动态制动而使电动机34紧急停止，并且电动机控制部63基于编码器37的输出信号和编码器39的输出信号，以与电动机34的减速度相对应的减速度使电动机36减速并紧急停止。另外，电动机控制部63基于编码器37的输出信号和编码器39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使共同臂部12相对于主体部7的转动量为前端侧臂部10相对于共同臂部12的转动量的1/2倍的方式控制电动机36。

另外，例如，如果在电动机35停止的状态下驱动电动机34及电动机36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机36成为第一电动机(即，不能基于编码器39的检测结果控制电动机36)且电动机34成为第二电动机(即，能够基于编码器37的检测结果控制电动机34)的编码器错误，则控制部8向电动机36施加动态制动而使电动机36紧急停止，并且在基于安装在电动机36上的第一编码器(即，编码器39)的输出信号和安装在电动机34上的第二编码器(即，编码器37)的输出信号控制电动机34的同时使电动机34紧急停止。

具体地说，如果发生这样的编码器错误，则电动机控制部63向电动机36施加动态制动而使电动机36紧急停止，并且电动机控制部61基于编码器37的输出信号和编码器39的输出信号，以与电动机36的减速度相对应的减速度使电动机34减速并紧急停止。另外，电动机控制部61基于编码器37的输出信号和编码器39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使前端侧臂部10相对于共同臂部12的转动量为共同臂部12相对于主体部7的转动量的2倍的方式控制电动机34。

再者，例如，如果在电动机34停止的状态下驱动电动机35及电动机36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机35成为第一电动机(即，不能基于编码器38的检测结果控制电动机35)且电动机36成为第二电动机(即，能够基于编码器39的检测结果控制电动机36)的编码器错误，则控制部8向电动机35施加动态制动而使电动机35紧急停止，并且在基于安装在电动机35上的第一编码器(即，编码器38)的输出信号和安装在电动机36上的第二编码器(即，编码器39)的输出信号控制电动机36的同时使电动机36紧急停止。

具体地说，如果发生这样的编码器错误，则电动机控制部62向电动机35施加动态制动而使电动机35紧急停止，并且电动机控制部63基于编码器38的输出信号和编码器39的输出信号，以与电动机35的减速度相对应的减速度使电动机36减速并紧急停止。另外，电动机控制部63基于编码器38的输出信号和编码器39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使共同臂部12相对于主体部7的转动量为前端侧臂部11相对于共同臂部12的转动量的1/2倍的方式控制电动机36。

另外，例如，如果在电动机34停止的状态下驱动电动机35及电动机36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机36成为第一电动机(即，不能基于编码器39的检测结果控制电动机36)且电动机35成为第二电动机(即，能够基于编码器38的检测结果控制电动机35)的编码器错误，则控制部8向电动机36进行动态制动而使电动机36紧急停止，并且在基于安装在电动机36上的第一编码器(即，编码器39)的输出信号和安装在电动机35上的第二编码器(即，编码器38)的输出信号控制电动机35并使电动机35紧急停止。

具体地说，如果发生这样的编码器错误，则电动机控制部63向电动机36施加动态制动而使电动机36紧急停止，并且电动机控制部62基于编码器38的输出信号和编码器39的输出信号，以与电动机36的减速度相对应的减速度使电动机35减速并使其紧急停止。另外，电动机控制部62基于编码器38的输出信号和编码器39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使前端侧臂部11相对于共同臂部12的转动量为共同臂部12相对于主体部7的转动量的2倍的方式控制电动机35。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，如果在电动机35停止的状态下驱动电动机34、36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机34成为第一电动机且电动机36成为第二电动机的编码器错误，则电动机控制部61向电动机34施加动态制动而使电动机34紧急停止，并且电动机控制部63在基于编码器37、39的输出信号控制电动机36的同时使电动机36紧急停止。另外，在本实施方式中，电动机控制部63基于编码器37、39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使共同臂部12相对于主体部7的转动量为前端侧臂部10相对于共同臂部12的转动量的1/2倍的方式控制电动机36。因此，在本实施方式中，当在臂6的伸缩动作中发生这样的编码器错误而使电动机34、36紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹与设计上的轨迹(直线状的轨迹)的偏离。

另外，在本实施方式中，如果在电动机35停止的状态下驱动电动机34、36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机36成为第一电动机且电动机34成为第二电动机的编码器错误，则电动机控制部63向电动机36施加动态制动而使电动机36紧急停止，并且电动机控制部61基于编码器37、39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使前端侧臂部10相对于共同臂部12的转动量为共同臂部12相对于主体部7的转动量的2倍的方式控制电动机34，并使电动机34紧急停止。因此，在本实施方式中，当在臂6的伸缩动作中发生这样的编码器错误而使电动机34、36紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹与设计上的轨迹的偏离。

此外，在本实施方式中，如果在电动机34停止的状态下驱动电动机35、36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机35成为第一电动机且电动机36成为第二电动机的编码器错误，则电动机控制部62向电动机35施加动态制动而使电动机35紧急停止，并且电动机控制部63基于编码器38、39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使共同臂部12相对于主体部7的转动量为前端侧臂部11相对于共同臂部12的转动量的1/2倍的方式控制电动机36，并使电动机36紧急停止。因此，在本实施方式中，当在臂6的伸缩动作中发生这样的编码器错误而使电动机35、36紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手5的轨迹与设计上的轨迹的偏离。

另外，在本实施方式中，如果在电动机34停止的状态下驱动电动机35、36进行臂6的伸缩动作时，发生电动机36成为第一电动机且电动机35成为第二电动机的编码器错误，则电动机控制部63向电动机36施加动态制动而使电动机36紧急停止，并且电动机控制部62基于编码器38、39的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使前端侧臂部11相对于共同臂部12的转动量为共同臂部12相对于主体部7的转动量的2倍的方式控制电动机35，并使电动机35紧急停止。因此，在本实施方式中，当在臂6的伸缩动作中发生这样的编码器错误而使电动机35、36紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手5的轨迹与设计上的轨迹的偏离。

需要说明的是，本申请发明人进行了以下实验：例如，在电动机35停止的状态下驱动电动机34、36进行臂6的伸缩动作的规定时机，向电动机34施加动态制动而使电动机34紧急停止，并且在基于编码器37、39的输出信号控制电动机36的同时使电动机36紧急停止；其结果是，在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹几乎不偏离设计上的轨迹(直线状的轨迹)，从上侧观察时，停止的手4几乎不偏离设计上的轨迹。

另一方面，作为比较实验1，本申请发明人进行了以下实验：在电动机35停止的状态下驱动电动机34、36进行臂6的伸缩动作的规定时机，向电动机34施加动态制动而使电动机34紧急停止，并且在仅基于编码器39的输出信号控制电动机36的同时使电动机36紧急停止；其结果是，在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹大幅偏离设计上的轨迹，从上侧观察时，停止的手4大幅偏离设计上的轨迹。具体地说，在比较实验1的实验结果中，从上侧观察手4停止后的状态时，连接共同臂部12相对于主体部7的转动中心和手4相对于前端侧臂部10的转动中心的假想线和设计上的轨迹(直线状的轨迹)所成的角度为12°左右。

另外，作为比较实验2，本申请发明人进行了以下实验：在电动机35停止的状态下驱动电动机34、36进行臂6的伸缩动作的规定时机，向电动机34施加动态制动而使电动机34紧急停止，并且向电动机36施加动态制动而使电动机36紧急停止；其结果是，在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹与设计上的轨迹的偏离小于比较实验1的实验结果，但是在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹与设计上的轨迹产生偏离，从上侧观察时，停止的手4与设计上的轨迹产生偏离。具体地说，在比较实验2的实验结果中，从上侧观察手4停止后的状态时，连接共同臂部12相对于主体部7的转动中心和手4相对于前端侧臂部10的转动中心的假想线与设计上的轨迹(直线状的轨迹)所成的角度为4.5°左右。

(工业用机器人的变形例1)

图5(a)是本发明的另一实施方式的机器人1的俯视图，图5(b)是图5(a)所示的机器人1的侧视图。图6是用于说明图5(a)和图5(b)所示的机器人1的结构的框图。

如图5(a)和图5(b)所示，机器人1也可以具备装载基板2的一只手4、在前端侧以能够转动的方式连接有手4的臂6以及以能够转动的方式连接臂6的基端侧的主体部7。在这种情况下，臂6由在前端侧以能够转动的方式连接有手4的臂部71和在前端侧以能够转动的方式连接臂部71的基端侧的臂部72构成。臂部72的基端侧以能够转动的方式连接于主体部7。此外，在图5(a)、图5(b)和图6中，对与上述的实施方式相同的结构标注相同的附图标记。

另外，在这种情况下，机器人1例如具备使臂6相对于主体部7在水平方向上伸缩的臂驱动机构9和使手4相对于臂6转动的手驱动机构73。臂驱动机构9具备使臂部71相对于臂部72转动的第一臂部驱动机构75和使臂部72相对于主体部7转动的第二臂部驱动机构76。

第一臂部驱动机构75具备电动机78和用于检测电动机78的旋转位置的编码器81。编码器81安装在电动机78上。第二臂部驱动机构76具备电动机79和用于检测电动机79的旋转位置的编码器82。编码器82安装在电动机79上。手驱动机构73具备电动机80和用于检测电动机80的旋转位置的编码器83。编码器83安装在电动机80上。在该变形例中，电动机80是用于使手4相对于臂6转动的手转动用电动机。另外，编码器83是手用编码器。

第一臂部驱动机构75除了电动机78及编码器81之外，例如还具备连接至电动机78的减速器。该减速器的壳体固定于臂部72。另外，作为该减速器的输出轴的转动轴固定于臂部71的基端侧的下表面。另外，在固定于该减速器的输入轴上的带轮和固定于电动机78的输出轴上的带轮上架设有传动带。

第二臂部驱动机构76除了电动机79及编码器82之外，例如还具备连接至电动机79的减速器。该减速器的壳体固定于壳体16上。另外，作为该减速器的输出轴的转动轴固定于臂部72的基端侧的下表面。另外，在固定于该减速器的输入轴上的带轮和固定于电动机79的输出轴上的带轮上架设有传动带。

手驱动机构73除了电动机80及编码器83之外，例如还具备连接至电动机80的减速器。该减速器的壳体固定于臂部71。另外，作为该减速器的输出轴的转动轴固定于手4的下表面。另外，在固定于该减速器的输入轴上的带轮和固定于电动机80的输出轴上的带轮上架设有传动带。

电动机78～80及编码器81～83与控制部8电连接。编码器81～83是与编码器37～39同样地构成的旋转编码器。控制部8具备：基于编码器81的检测结果控制电动机78的电动机控制部91、基于编码器82的检测结果控制电动机79的电动机控制部92、以及基于编码器83的检测结果控制电动机80的电动机控制部93。编码器81的输出信号可以输入到电动机控制部91。编码器82的输出信号可以输入到电动机控制部92。编码器83的输出信号可以输入到电动机控制部93。

另外，编码器82的输出信号可以经由电动机控制部92输入到电动机控制部91或者直接输入到电动机控制部91，并且编码器83的输出信号可以经由电动机控制部93输入到电动机控制部91或者直接输入到电动机控制部91。编码器81的输出信号可以经由电动机控制部91输入到电动机控制部92或者直接输入到电动机控制部92，并且编码器83的输出信号可以经由电动机控制部93输入到电动机控制部92或者直接输入到电动机控制部92。编码器81的输出信号可以经由电动机控制部91输入到电动机控制部93或者直接输入到电动机控制部93，并且编码器82的输出信号可以经由电动机控制部92输入到电动机控制部93或者直接输入到电动机控制部93。

电动机控制部91具备使电动机78进行动态制动的动态制动控制电路。电动机控制部92具备使电动机79进行动态制动的动态制动控制电路。电动机控制部93具备使电动机80进行动态制动的动态制动控制电路。

当臂6进行伸缩动作时，控制部8驱动电动机78～80。另外，臂驱动机构9及手驱动机构73以在手4朝向恒定方向的状态下直线移动的方式使臂6在水平方向上伸缩。即，驱动电动机78～80，使臂6在水平方向上伸缩，以使臂部72相对于主体部7的转动方向和臂部71相对于臂部72的转动方向为相反方向，且臂部71相对于臂部72的转动方向和手4相对于臂部71的转动方向为相反方向，并且臂部72相对于主体部7的转动量、臂部71相对于臂部72的转动量、手4相对于臂部71的转动量之比为1﹕2﹕1。

如果将在臂6的伸缩动作中电动机78及电动机79中的任一方不能基于编码器81、82的检测结果进行控制且电动机78及电动机79中的任一另一方能够基于编码器81、82的检测结果进行控制的情况设为编码器错误，将发生编码器错误时不能基于编码器81、82的检测结果进行控制的电动机78、79设为第一电动机，将发生编码器错误时能够基于编码器81、82的检测结果进行控制的电动机78、79设为第二电动机，将安装在第一电动机上的编码器81、82设为第一编码器，将安装在第二电动机上的编码器81、82设为第二编码器，将在臂6的伸缩动作中不能基于编码器83的检测结果进行电动机80的控制的情况设为第二编码器错误，则当在臂6的伸缩动作中发生编码器错误或第二编码器错误而使电动机78～80紧急停止时，控制部8如下使电动机78～80紧急停止。

例如，如果发生电动机78成为第一电动机且电动机79成为第二电动机的编码器错误，则控制部8向电动机78施加动态制动而使电动机78紧急停止，且在基于第一编码器即编码器81的输出信号和第二编码器即编码器82的输出信号控制电动机79的同时，使电动机79紧急停止，并且在基于第一编码器即编码器81的输出信号和编码器83的输出信号控制电动机80的同时，使电动机80紧急停止。

具体地说，如果发生这样的编码器错误，则电动机控制部91向电动机78施加动态制动而使电动机78紧急停止，且电动机控制部92基于编码器81、82的输出信号，以与电动机78的减速度相对应的减速度使电动机79减速并紧急停止，并且电动机控制部93基于编码器81、83的输出信号，以与电动机78的减速度相对应的减速度使电动机80减速并紧急停止。另外，电动机控制部92基于编码器81、82的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使臂部72相对于主体部7的转动量为臂部71相对于臂部72的转动量的1/2倍的方式控制电动机79，电动机控制部93基于编码器81、83的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使手4相对于臂部71的转动量为臂部71相对于臂部72的转动量的1/2倍的方式控制电动机80。

另外，例如，如果发生电动机79成为第一电动机且电动机78成为第二电动机的编码器错误，则电动机控制部92向电动机79施加动态制动而使电动机79紧急停止，且电动机控制部91基于编码器81、82的输出信号，以与电动机79的减速度相对应的减速度使电动机78减速并紧急停止，并且电动机控制部93基于编码器82、83的输出信号，以与电动机79的减速度相对应的减速度使电动机80减速并紧急停止。另外，电动机控制部91基于编码器81、82的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使臂部71相对于臂部72的转动量为臂部72相对于主体部7的转动量的2倍的方式控制电动机78，电动机控制部93基于编码器82、83的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以手4相对于臂部71的转动量与臂部72相对于主体部7的转动量相等的方式控制电动机80。

另外，例如，如果发生第二编码器错误，则控制部8向电动机80施加动态制动而使电动机80紧急停止，并且在基于编码器83的输出信号和编码器81的输出信号控制电动机78的同时使电动机78紧急停止，且在基于编码器82的输出信号和编码器83的输出信号控制电动机79的同时使电动机79紧急停止。

具体地说，如果发生这样的编码器错误，则电动机控制部93向电动机80施加动态制动而使电动机80紧急停止，并且电动机控制部91基于编码器81、83的输出信号，以与电动机80的减速度相对应的减速度使电动机78减速并紧急停止，且电动机控制部92基于编码器82、83的输出信号，以与电动机80的减速度相对应的减速度使电动机79减速并紧急停止。另外，电动机控制部91基于编码器81、83的输出信号，在直到臂6停止为止的期间，以使臂部71相对于臂部72的转动量为手4相对于臂部71的转动量的2倍的方式控制电动机78，电动机控制部92基于编码器82、83的输出信号，以使臂部72相对于主体部7的转动量与手4相对于臂部71的转动量相等的方式控制电动机79。

在该变形例中，在臂6的伸缩动作中发生编码器错误或第二编码器错误而使电动机78～80紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹与设计上的轨迹(直线状的轨迹)的偏离。另外，在该变形例中，在臂6的伸缩动作中发生编码器错误或第二编码器错误而使电动机78～80紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手4的方向与设计上的方向的偏离。

(工业用机器人的变形例2)

在图5(a)、图5(b)、图6所示的变形例中，在臂6的伸缩动作中，例如，也可能发生电动机78成为第一电动机、电动机79成为第二电动机的编码器错误和第二编码器错误。在发生这样的编码器错误及第二编码器错误而使电动机78～80紧急停止时，控制部8向电动机78施加动态制动以使电动机78紧急停止，向电动机80施加动态制动以使电动机80紧急停止，并且在基于编码器83的输出信号、编码器81的输出信号以及编码器82的输出信号控制电动机79的同时使电动机79紧急停止。

在这种情况下，在臂6的伸缩动作中发生编码器错误及第二编码器错误而使电动机78～80紧急停止时，能够以与施加动态制动而减速并停止的第一电动机(例如电动机78)的减速度及电动机80的减速度相对应的减速度使第二电动机(例如电动机79)减速并停止。因此，在臂6的伸缩动作中发生编码器错误及第二编码器错误而使电动机78～80紧急停止时，能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手4的轨迹与设计上的轨迹(直线状的轨迹)的偏离，并且能够抑制在直到臂6停止为止的期间移动的手4的方向与设计上的方向的偏离。

另外，在图5(a)、图5(b)、图6所示的变形例中，机器人1也可以不具备手驱动机构73。在这种情况下，第一臂部驱动机构75使臂部71相对于臂部72转动并且使手4相对于臂部71转动。另外，在该变形例中，机器人1也可以具备两只手4和在前端侧以使两只手4各自能够转动的方式连接两只手4的两个臂6。即，机器人1也可以是双臂型机器人。

再有，在图5(a)、图5(b)、图6所示的变形例中，臂6也可以由彼此以能够相对转动的方式连接的三个以上的臂部构成。在这种情况下，例如，臂6由基端侧以能够转动的方式连接于主体部7的第一臂部、基端侧以能够转动的方式连接于第一臂部的前端侧的第二臂部、以及基端侧以能够转动的方式连接于第二臂部的前端侧并且在前端侧以能够转动的方式连接有手4的第三臂部构成。另外，在这种情况下，例如，臂驱动机构9具备：用于使第一臂部相对于主体部7转动的电动机、用于使第二臂部相对于第一臂部转动的电动机、以及用于使第三臂部相对于第二臂部转动并且使手4相对于第三臂部转动的电动机。即，臂驱动机构9具备用于使臂6伸缩的三个电动机。

在这种情况下，如果将在臂6的伸缩动作中驱动的三个电动机中的一个或两个电动机不能基于编码器的检测结果进行控制、剩余的两个或一个电动机能够基于编码器的检测结果进行控制的情况设为编码器错误，将发生编码器错误时不能基于编码器的检测结果进行控制的电动机设为第一电动机，将发生编码器错误时能够基于编码器的检测结果进行控制的电动机设为第二电动机，将安装在第一电动机上的编码器设为第一编码器，将安装在第二电动机上的编码器设为第二编码器，则在臂6的伸缩动作中发生编码器错误而使三个电动机紧急停止时，控制部8向第一电动机施加动态制动而使第一电动机紧急停止，并且在基于第一编码器的输出信号和第二编码器的输出信号控制第二电动机的同时使第二电动机紧急停止。

(其它实施方式)

上述的实施方式是本发明的最佳方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的主旨的范围内可以实施各种变形。

在上述的实施方式中，在手4和共同臂部12之间，也可以配置有彼此以能够相对转动的方式连接的两个以上的前端侧臂部。另外，在上述的实施方式中，在手5和共同臂部12之间，也可以配置有以彼此能够相对转动的方式连接的两个以上的前端侧臂部。而且，在上述的实施方式中，共同臂部12也可以形成为直线状。另外，在上述的实施方式中，机器人1也可以搬运液晶显示器用的玻璃基板2以外的搬运对象物。例如，机器人1也可以搬运有机el(有机电致发光)显示器用的玻璃基板，也可以搬运半导体晶片。

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