圆片倒边机的制作方法

本实用新型涉及晶片倒边技术领域，尤其是涉及一种圆片倒边机。

背景技术：

蓝宝石主要成分为al2o3，作为一种典型的硬脆性材料，具有硬度高、熔点高、透光性好以及化学性能稳定等众多优点。蓝宝石衬底片加工采用晶棒作为原料，经切片后需要进行倒边加工，以将晶片边缘修整成圆弧状，进而改善晶片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷，同时改善晶片的粗糙度。

晶片倒边加工时，需要人工上下料，且需要通过靠体定位，良品率受人工操作效率和定位精度影响，存在操作效率和定位精度低的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种圆片倒边机，可以取代人工进行上下料，且可保证晶片的定位精度。

第一方面，本实用新型提供的圆片倒边机，包括：供料存储机构、输送机构、晶片定位机构和倒边机构；

所述供料存储机构用于存储晶片；

所述输送机构用于将所述晶片自所述供料存储机构经所述晶片定位机构输送至所述倒边机构，并将倒边加工后的所述晶片自所述倒边机构输送至所述供料存储机构；

所述晶片定位机构用于标定所述晶片的圆心定位点；

所述倒边机构用于对所述晶片进行倒边加工。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，所述供料存储机构包括：工位切换组件和连接所述工位切换组件的存料组件，所述工位切换组件用于驱动所述存料组件在供料工位和存料工位之间移动；

在所述供料工位，所述输送机构配置为自所述存料组件拾取所述晶片；

在所述存料工位，所述输送机构配置为将倒边加工后的所述晶片输送至所述存料组件。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述输送机构包括第一输送组件；

所述第一输送组件包括：输料臂、滑轨和第一驱动器件，所述输料臂滑动连接于所述滑轨；

所述第一驱动器件与所述输料臂传动连接，以驱动所述输料臂沿所述滑轨滑动。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，所述第一输送组件还包括第二驱动器件；

所述第二驱动器件与所述滑轨传动连接，并驱动所述滑轨摆转以在所述供料存储机构和所述晶片定位机构之间输送所述晶片。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，所述输送机构还包括第二输送组件；

所述第二输送组件包括：吸盘器件和连接所述吸盘器件的第三驱动器件；

所述第三驱动器件用于驱动所述吸盘器件在所述晶片定位机构和所述倒边机构之间移动。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，所述第二输送组件还包括第四驱动器件；

所述第四驱动器件的活动端连接所述吸盘器件，所述第四驱动器件的固定端连接所述第三驱动器件；

所述第四驱动器件用于驱动所述吸盘器件升降。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，所述晶片定位机构包括：定位底座和视觉检测组件，所述视觉检测组件用于检测所述晶片的位置，所述定位底座用于调节所述晶片的位置。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，所述倒边机构包括：旋转承载组件和倒边加工组件；

所述旋转承载组件用于承载所述晶片，并驱动所述晶片旋转；

所述倒边加工组件用于切削所述晶片的边缘。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，所述圆片倒边机还包括冷却机构，所述冷却机构配置为将冷却液喷射至所述晶片和所述倒边机构。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第九种可能的实施方式，其中，所述圆片倒边机还包括吹风机构，所述吹风机构配置为将气体吹送至所述晶片。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：采用供料存储机构存储晶片，通过输送机构将晶片自供料存储机构经晶片定位机构输送至倒边机构，并将倒边加工后的晶片自倒边机构输送至供料存储机构，从而无需人工手动上下料。并且，通过晶片定位机构标定晶片的圆心定位点，从而确保晶片定位准确，并使倒边机构能够对晶片进行高精度倒边加工。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的供料存储机构的示意图；

图3为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的第一输送组件的示意图；

图4为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的第二输送组件的示意图；

图5为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的取料组件的示意图；

图6为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的定位底座的示意图；

图7为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的旋转承载组件、冷却机构和吹风机构的示意图；

图8为本实用新型实施例提供的圆片倒边机的倒边加工组件的示意图。

图标：100-供料存储机构；110-工位切换组件；111-支撑座；112-驱动元件；120-存料组件；200-输送机构；210-第一输送组件；211-输料臂；212-滑轨；213-第一驱动器件；214-第二驱动器件；220-第二输送组件；221-吸盘器件；222-第三驱动器件；223-第四驱动器件；230-取料组件；231-取料吸盘；232-取料升降驱动器件；300-晶片定位机构；310-定位底座；311-定位吸盘；312-第一平移器件；313-第二平移器件；314-旋转定位器件；320-视觉检测组件；400-倒边机构；410-旋转承载组件；411-承载吸盘；412-旋转驱动器件；420-倒边加工组件；421-电动砂轮；422-第五驱动器件；423-第六驱动器件；500-冷却机构；600-吹风机构。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。公式中的物理量，如无单独标注，应理解为国际单位制基本单位的基本量，或者，由基本量通过乘、除、微分或积分等数学运算导出的导出量。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一

如图1所示，本实用新型实施例提供的圆片倒边机，包括：供料存储机构100、输送机构200、晶片定位机构300和倒边机构400；供料存储机构100用于存储晶片；输送机构200用于将晶片自供料存储机构100经晶片定位机构300输送至倒边机构400，并将倒边加工后的晶片自倒边机构400输送至供料存储机构100；晶片定位机构300用于标定晶片的圆心定位点；倒边机构400用于对晶片进行倒边加工。

具体地，输送机构200将未加工的晶片自供料存储机构100输送至晶片定位机构300，通过晶片定位机构300标定晶片的圆心定位点，依据圆心定位点的坐标为晶片移动和加工提供坐标参照，进而提高晶片的定位和加工精度。通过输送机构200将晶片自晶片定位机构300输送至倒边机构400，通过倒边机构400对晶片进行倒边加工，并通过输送机构200将加工完成的晶片输送至供料存储机构100，进而无须人工上下料，可以提高加工效率和精度。

如图1和图2所示，在本实用新型实施例中，供料存储机构100包括：工位切换组件110和连接工位切换组件110的存料组件120，工位切换组件110用于驱动存料组件120在供料工位和存料工位之间移动；在供料工位，输送机构200配置为自存料组件120拾取晶片；在存料工位，输送机构200配置为将倒边加工后的晶片输送至存料组件120。

具体的，工位切换组件110包括驱动元件112和支撑座111，存料组件120包括多个料塔，多个料塔分别滑动连接于支撑座111。驱动元件112驱动皮带，并由皮带连接料塔，以驱动多个料塔沿滑轨移动。一个料塔位于供料工位，另一料塔位于存料工位，输送机构200可自供料工位的料塔拾取晶片，并将加工完成后的晶片存放在位于存料工位的料塔内。

如图1和图3所示，输送机构200包括第一输送组件210；第一输送组件210包括：输料臂211、滑轨212和第一驱动器件213，输料臂211滑动连接于滑轨212；第一驱动器件213与输料臂211传动连接，以驱动输料臂211沿滑轨212滑动。

具体的，第一驱动器件213包括伸缩气缸，或者，第一驱动器件213包括电动机，电动机驱动皮带，并由皮带驱动输料臂211沿滑轨212往复滑动，从而使输料臂211相对于滑轨212伸缩。输料臂211设有槽孔，且槽孔与气泵流体连通，通过气泵抽吸，从而使槽孔内气压减小，进而可将晶片吸附在输料臂211的表面。

进一步的，第一输送组件210还包括第二驱动器件214；第二驱动器件214与滑轨212传动连接，并驱动滑轨212摆转以在供料存储机构100和晶片定位机构300之间输送晶片。

具体的，第二驱动器件214采用电动机，电动机连接于机架，电动机的驱动轴连接滑轨212，通过第二驱动器件214可驱动滑轨212摆转，从而使输料臂211在供料存储机构100和晶片定位机构300之间往复移动。

如图1和图4所示，输送机构200还包括第二输送组件220；第二输送组件220包括：吸盘器件221和连接吸盘器件221的第三驱动器件222；第三驱动器件222用于驱动吸盘器件221在晶片定位机构300和倒边机构400之间移动。

具体的，第三驱动器件222包括电动滑轨，第三驱动器件222的固定端连接机架，第三驱动器件222的活动端连接吸盘器件221，通过第三驱动器件222驱动吸盘器件221在晶片定位机构300和倒边机构400之间移动，从而可将晶片自晶片定位机构300移动至倒边机构400。

进一步的，第二输送组件220还包括第四驱动器件223；第四驱动器件223的活动端连接吸盘器件221，第四驱动器件223的固定端连接第三驱动器件222；第四驱动器件223用于驱动吸盘器件221升降。

具体的，第三驱动器件222驱动吸盘器件221横向移动，第四驱动器件223的固定端连接第三驱动器件222的活动端，第四驱动器件223的活动端连接吸盘器件221，通过吸盘器件221吸附晶片，并通过第三驱动器件222可驱动吸盘器件221升降，以将晶片自晶片定位机构300拾起。

如图1和图5所示，输送机构200还包括取料组件230，取料组件230包括取料吸盘231和连接取料吸盘231的取料升降驱动器件232，取料升降驱动器件232可驱动取料吸盘231升降，通过取料吸盘231吸附晶片，从而可将晶片自倒边机构400拾起，再第二输送组件220将晶片自取料组件230移动至供料存储机构100。

如图1和图6所示，晶片定位机构300包括：定位底座310和视觉检测组件320，视觉检测组件320用于检测晶片的位置，定位底座310用于调节晶片的位置。

具体的，定位底座310包括定位吸盘311，通过定位吸盘311可将晶片吸附固定。定位底座310还包括第一平移器件312和第二平移器件313，第一平移器件312用于驱动定位吸盘311沿第一方向移动，第二平移器件313的活动端连接第一平移器件312，以驱动定位吸盘311沿垂直于第一方向的第二方向移动。通过第一平移器件312和第二平移器件313调节晶片在水平方向的位置。定位底座310还包括旋转定位器件314，旋转定位器件314包括电动机，电动机的传动轴连接第二平移器件313，通过旋转定位器件314驱动晶片绕纵向轴线旋转。视觉检测组件320包括视觉传感器，视觉传感器采集晶片的影像，并通过运算获取晶片圆心定位点的坐标。

如图1、图7和图8所示，倒边机构400包括：旋转承载组件410和倒边加工组件420；旋转承载组件410用于承载晶片，并驱动晶片旋转；倒边加工组件420用于切削晶片的边缘。

具体的，旋转承载组件410包括承载吸盘411和连接承载吸盘411的旋转驱动器件412，承载吸盘411吸附晶片，旋转驱动器件412包括电动机，并驱动承载吸盘411和晶片旋转。倒边加工组件420包括电动砂轮421，通过电动砂轮421磨削晶片的边缘，从而实现倒边加工。倒边加工组件420还包括：第五驱动器件422和第六驱动器件423，第五驱动器件422连接电动砂轮421，以驱动电动砂轮421升降；第六驱动器件423的活动端连接第五驱动器件422，第六驱动器件423的固定端连接机架，通过第六驱动器件423可以驱动电动砂轮421向靠近或远离晶片轴线的方向移动。

进一步的，圆片倒边机还包括冷却机构500，冷却机构500配置为将冷却液喷射至晶片和倒边机构400。

具体的，冷却机构500包括液箱和连通液箱的液泵，通过液泵驱动冷却液自液箱沿管路流动，并将冷却液喷洒至晶片和砂轮上，从而对晶片和砂轮进行冷却。

进一步的，圆片倒边机还包括吹风机构600，吹风机构600配置为将气体吹送至晶片。其中，吹风机构600将晶片上的碎屑和冷却液吹去，采用防水箱体围设旋转承载组件410，从而避免碎屑和冷却液飞散，带晶片吹洗干净后，取料组件230将晶片从防水箱体中取出，并由第二输送组件220将晶片输送至第一输送组件210，并由第一输送组件210将晶片输送至供料存储机构100。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

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