光罩清洗治具的制作方法

本实用新型实施例涉及光罩制作技术领域，尤其涉及一种光罩清洗治具。

背景技术：

光罩的制作流程中要至少进行两次光罩清洗，通常地，尺寸在850mm*1200mm以上的大尺寸光罩，采用设备自动清洗；而尺寸在800 mm *960 mm以下的中小尺寸光罩，多采用人工手动刷洗。

以上这两种传统的光罩清洗方法主要具体有以下缺点：设备自动清洗耗损较大，水电气浪费，清洗成本高；而对于人工手动刷洗的光罩较难清洗干净，人员劳动强度大，清洗剂对人体产生危害。

技术实现要素：

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种光罩清洗治具，以便能便捷、低成本的实现光罩清洗。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供以下技术方案：一种光罩清洗治具，所述清洗治具包括中空且两端开口的轴套、借助于轴承固定安装于轴套内且两端分别自所述轴套两端的开口伸出的芯轴、固定于所述芯轴的自所述轴套的底端开口伸出的一端上的刷具，所述芯轴的自轴套顶端开口伸出的一端与用于驱动芯轴旋转的旋转动力机构传动连接。

进一步的，所述轴套顶端还固定有连接板，所述旋转动力机构固定于所述连接板上，所述旋转动力机构的旋转输出轴穿过所述连接板与芯轴共轴且在周向相对固定。

进一步的，所述轴套内部设有轴承，所述芯轴自所述轴承的中心孔穿过，所述芯轴和轴承之间在径向固定但在轴向及周向均可相对活动。

进一步的，所述芯轴顶端向内凹陷，形成凹槽，所述凹槽槽壁设有第一卡槽；所述旋转动力机构的输出轴上设有第一卡键；所述输出轴插入所述芯轴凹槽内，所述第一卡键嵌入所述第一卡槽。

进一步的，所述芯轴底端向下凸出，形成凸起，所述凸起外壁设有第二卡键；所述刷具中心设有轴毂，所述轴毂向内凹陷，形成轴毂孔，所述轴毂孔内壁设有第二卡槽；所述芯轴底端凸起插入所述刷具轴毂孔内，所述第二卡键嵌入所述第二卡槽。

进一步的，所述连接板与所述旋转动力机构均设有对应的螺纹孔，由螺栓螺合于所述螺纹孔内而固定连接所述连接板与旋转动力机构。

进一步的，所述连接板底端设有连接套筒，所述轴套顶端侧壁设有定位螺孔，所述轴套套接在所述连接套筒内，另由螺栓螺合于所述定位螺孔而固定连接所述轴套和连接板。

采用上述技术方案后，本实用新型实施例至少具有如下有益效果：本实用新型实施例通过芯轴一端和旋转动力机构连接另一端固定有刷具，旋转动力机构通电启动带动芯轴旋转进而驱动刷具转动，清洗人员可手持治具的轴套部分使刷具在光罩表面来回移动，由于刷具在旋转动力机构带动下自动旋转，而能迅速刷洗掉光罩表面的杂质和灰尘，减少水和人员劳动力的消耗及清洗剂对人体危害，而且通过刷具的反复刷洗光罩的表面干净，不局限于光罩的尺寸，避免了人工清洗的低效和机器清洗的损耗，有效降低了清洗的成本。

附图说明

图1是本实用新型光罩清洗治具一个可选实施例的整体示意图。

图2是本实用新型光罩清洗治具一个可选实施例的整体爆炸图。

图3是本实用新型光罩清洗治具一个可选实施例的除旋转动力机构外另一角度爆炸图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图3所示，本实用新型实施例提供一种光罩清洗治具，包括中空且两端开口的轴套1、借助于轴承11固定安装于轴套1内且两端分别自所述轴套1两端的开口伸出的芯轴3、固定于所述芯轴3的自所述轴套1的底端开口伸出的一端上的刷具5，所述芯轴3的自轴套1顶端开口伸出的一端与用于驱动芯轴3旋转的旋转动力机构7传动连接。

在具体实施中，可以提供旋转动力的旋转动力机构7主要是电机或旋转气缸等。本实施例中，旋转动力机构7采用电机。

本实用新型实施例通过芯轴3一端和旋转动力机构7连接另一端固定有刷具5，旋转动力机构7通电启动带动芯轴3旋转进而驱动刷具5转动，清洗人员可手持治具的轴套1部分使刷具5在光罩表面来回移动，由于刷具5在旋转动力机构7带动下自动旋转，而能迅速刷洗掉光罩表面的杂质和灰尘，减少水和人员劳动力的消耗及清洗剂对人体危害，而且通过刷具5的反复刷洗光罩的表面干净，不局限于光罩的尺寸，避免了人工清洗的低效和机器清洗的损耗，有效降低了清洗的成本。

在本实用新型一个可选实施例中，所述轴套1顶端还固定有连接板9，所述旋转动力机构7固定于所述连接板9上，所述旋转动力机构9的旋转输出轴72穿过所述连接板9与芯轴3共轴且在周向相对固定。本实施例通过在轴套1顶端固定连接板9，能更方便地将旋转动力机构7与芯轴3固定连接。

在本实用新型一个可选实施例中，所述轴套1内部设有轴承11，所述芯轴3自所述轴承11的中心孔穿过，所述芯轴3和轴承11之间在径向固定但在轴向及周向均可相对活动。本实施例通过在轴套1内加设轴承11，可以更好地支撑固定芯轴3以保证芯轴3和刷具5旋转时不偏移、不摆动，并能减小芯轴3磨损。

在本实用新型一个可选实施例中，所述芯轴3顶端向内凹陷，形成凹槽33，所述凹槽33槽壁设有第一卡槽330；所述旋转动力机构7的输出轴71上设有第一卡键710；所述输出轴71插入所述芯轴凹槽33内，所述第一卡键710嵌入所述第一卡槽330。本实施例通过以第一卡键710插嵌入所述第一卡槽330来连接芯轴3和旋转动力机构7的输出轴71，可以有效地实现共轴连接并传递扭矩，而且，直接插接即可，拆装非常方便。

在本实用新型一个可选实施例中，所述芯轴3底端向下凸出，形成凸起31，所述凸起31外壁设有第二卡键310；所述刷具5中心设有轴毂51，所述轴毂51向内凹陷，形成轴毂孔53，所述轴毂孔53内壁设有第二卡槽530；所述芯轴3底端凸起31插入所述刷具5轴毂孔53内，所述第二卡键310嵌入所述第二卡槽530。本实施例通过在刷具5轴毂孔53内壁和芯轴3底端凸起31上设有第二卡槽530和第二卡键310，所述第二卡键310插嵌入第二卡槽530中，可以有效地实现共轴连接并传递扭矩，而且，直接插接即可，拆装非常方便。

在本实用新型另一个可选实施例中，所述连接板9与所述旋转动力机构7均设有对应的螺纹孔91、71，由螺栓螺合于螺纹孔91、71使连接板9固定连接旋转动力机构7。本实施例通过在连接板9与所述旋转动力机构7上设有螺纹孔91、71，用螺栓螺合于螺纹孔91、71来将连接板9固定连接于旋转动力机构7，结构简单，且方便操作。

在本实用新型又一个可选实施例中，所述连接板9底端设有连接套筒93，所述轴套1顶端侧壁设有定位螺孔13，所述轴套1套接在所述连接套筒93内，另由螺栓螺合于所述定位螺孔13使连接板9固定连接轴套1。本实施例通过轴套1套接在所述连接套筒93内，再用螺栓螺合于所述定位螺孔13中固定连接轴套1和连接板9，拆装操作方便。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护范围之内。

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