一种通用型电子清洁器的制作方法

本发明属于微电子除尘技术领域，尤其涉及一种通用型电子清洁器。

背景技术：

微电子器件属于精密器件，其对生产环境有较高要求，当该器件遇有灰尘时，必须及时清除。但是实际应用中，缺少有效的除尘工具和装置，且清洁装置的通用性差。

因此，亟待一种清洁效果好、密封性好、且通用性强的微电子器件的除尘装置。

技术实现要素：

为了解决现有技术中微电子器件的除尘装置的清洁效果差、密封性差、以及通用性差的问题，本发明提供一种通用型电子清洁器。

本发明通过以下技术方案解决上述技术问题：

一种通用型电子清洁器，包括本体和导风腔管，所述本体中部设有导风腔，该导风腔中设置有内螺纹所述导风腔管上间隔设置有与所述内螺纹配合的外螺纹，所述导风腔管可穿出所述导风腔底端，并向下延伸，导风腔管底部设有纵截面为梯形的导风套，该导风套的延长线可辐射至微电子器件的边缘处。

优选地，所述导风套采用防静电材料。优选地，所述防静电材料为防静电亚克力板、防静电聚氯乙烯板、防静电聚碳酸酯板或聚对苯二甲酸二乙酯。

优选地，所述导风套底部设有镂空的安装板，所述安装板的底面上设有毛刷。

优选地，所述导风套包括颈部，所述颈部的底部边沿处设有向外、向下延伸的裙部；所述颈部设有沿轴向延伸的出气孔，所述颈部内壁顶端设有向内延伸的凸缘；所述导风腔管外壁底部设有向内延伸的环形凹槽，所述凸缘用于与该环形凹槽配合，以实现导风套与导风腔管的可拆卸连接。

优选地，所述导风套内侧顶端设有多个与导风套斜率相同且平行设置的环形鳍片，每一环形鳍片的顶端均位于导风腔管内侧，相邻所述环形鳍片之间设有连接部，位于外侧的环形鳍片与所述导风套的内壁固定连接；所述环形鳍片的高度远小于所述导风套的高度。

以下是本发明的有益效果：

本发明通过在微电子器件的清洁器上设置可调节的导风腔管，可通过调节导风腔管相对于本体的高度，进而实现导风腔管的出风口与工件之间的距离，以适应对不同厚度的微电子器件进行有效清洁，通用性强；另外，本发明在导风腔管底部设置导风套，有效清洁区域密封性好，可以解决洁净气流不能稳定地达到微电子器件表面问题，可以对被清洁微电子器件提供稳定压强的洁净气流。因此本发明的除尘器件具有密封性好，清洁效果优良，且通用性强的特点。

附图说明

图1是通用型电子清洁器的整体结构示意图。

图2是图1中导风腔管的结构示意图。

图3是图1中导风套的一种结构示意图。

图4是图1中导风套的另一种正视结构示意图。

图5是图4中导风套的仰视结构示意图。

图中：1-导风腔管；2-导风套；21-安装板；22-毛刷；23-颈部；24-裙部；25-环形鳍片；3-支撑圆台；4-环形套；5-吸尘器；6-离子发生器；7-导风风机；8-固定架；9-微电子器件。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1：

为了解决现有技术中微电子器件的除尘装置清洁效果差、密封性差、以及通用性差的问题，本实施例提供一种如图1-图5所示的微电子器件的一种通用型电子清洁器，包括本体和导风腔管1，所述本体中部设有导风腔，该导风腔中设置有内螺纹，所述导风腔管1上间隔设置有与所述内螺纹配合的外螺纹，所述导风腔管1穿出所述导风腔底端并向下延伸，导风腔管1底部设有纵截面为梯形的导风套2，该与导风腔管1可拆卸连接，且导风套2的延长线可辐射至微电子器件9的边缘处。

如图1所示，本实施例的本体可以包括：支撑圆台3，环形套4，吸尘器5，离子发生器6，导风风机以及气管，所述支撑圆台3中部开设用于安装导风腔管1的导风腔，环形套4套设在支撑圆台3的底端周面上，环形套4与支撑圆台3之间的连接方式可以是螺纹连接，也可以是通过螺钉、螺栓等连接方式，在此不做专门限定只要能够实现环形套与支撑圆台之间的可靠固定即可。环形套4包括外层、内层以及内层和外层之间的环形空腔，环形套4内层上开设有多个与环形空腔连通的吸气孔，环形套4外层上设有吸气管，该吸气管与环形空腔连通，该吸气管还与吸尘器5连接，通过吸尘器5将环形套4内的非洁净空气吸走；导风腔管1顶端固设有导风风机，导风管侧壁上还设有供离子发生器6的输出口穿过的孔，该离子发生器6输出口位于导风风机下方。以通过离子风机将离子发生器6产生的正负离子吹向工件表面。吸尘器5安装在支撑圆台3上。

还包括用于与机台顶壁或者天花板固定的多个固定架8，多个固定架8均匀分布在支撑圆台3的顶面上，所述固定架8包括固定杆和连接座，连接杆低端与支撑圆台3的顶面固定连接，支撑杆的顶端与连接座固定连接，连接座通过螺栓或者膨胀螺钉与天花板或者机台顶壁固定连接。

本实施例通过在清洁器上设置可调节高度的的导风腔管1，通过调节导风腔管1相对于本体的高度，进而实现导风腔管1的出风口与工件之间的距离，以适应对不同厚度的微电子器件9进行有效清洁，通用性强；另外，本发明在导风腔管1底部设置导风套2，有效清洁区域密封性好，可以解决洁净气流不能稳定地达到微电子器件9表面问题，可以对被清洁微电子器件9提供稳定压强的洁净气流。因此本发明的除尘器件具有密封性好，清洁效果优良，且通用性强的特点。

本实施例中的导风套2采用防静电材料。所述防静电材料为防静电亚克力板、防静电聚氯乙烯板、防静电聚碳酸酯板或聚对苯二甲酸二乙酯中的一种。

本实施例的导风套2与导风腔管1连接方式可以是螺栓连接，卡箍连接，粘接以及套筒连接、卡接等可拆卸连接方式，优选导风套2与导风腔管1卡接，具体的，所述导风套2包括颈部23，所述颈部23的底部边沿处设有向外、向下延伸的裙部24；所述颈部23设有沿轴向延伸的出气孔，所述颈部23内壁顶端设有向内延伸的凸缘；所述导风腔管1外壁底部设有向内延伸的环形凹槽，所述凸缘用于与该环形凹槽配合，以实现导风套2与导风腔管1的可拆卸连接，具有根据不同大小的微电子器件9进行更换相适应的导风套2。

带有正负离子的洁净气流首先从导风腔管1内吹出，并进入导风套2内，导风套2对气流起到减压（空间变大），和限定作用，减压后的洁净气流向下经过微电子工件表面，然后从导风套2底部向四周扩散，并在吸尘器5的作用下，从进入导风套2与环形套4之间的空间中被抽走，防止气流向作业车间扩散，引起扰流。

进一步地，如图3所示，所述导风套2底部设有镂空的安装板21，所述安装板21的底面上设有毛刷22，也即，安装板21固定在裙部24低端。毛刷22可以在一定程度上分散气流，以及通过与工件之间的摩擦力来将工件清洁的更彻底。毛刷优选采用较软材质制成的毛刷，比如硅胶和橡胶。

进一步地，如图4-图5所示，为了使从导风腔管1内吹出的洁净气流均匀地分布在整个微电子器件9表面，在所述导风套2内侧顶端设有多个与导风套2斜率相同，且平行设置的环形鳍片25，每一环形鳍片25的顶端均位于导风腔管1内侧，相邻所述环形鳍片25之间设有连接部，位于外侧的环形鳍片25与所述导风套2的内壁固定连接；所述环形鳍片25的高度远小于所述导风套2的高度。环形鳍片25将导风腔管1内的洁净气流分成若干扇环形气流，实现对微电子器件9的边缘也进行可靠清洁。

本实施例的微电子器件的清洁器由于具有高度可调节的导风腔管1、以及导风腔管1底端可拆卸的导风套2，可以避免在洁净气流到达工件表面前就被吸尘器5从环形套4内层的吸气孔吸走的情况发生，保证了对工件的清洁力度，同时通用性强。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

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