激光能干涉测量专利申请吗？

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激光能干涉测量专利申请吗？本文介绍了激光干涉测量常见的应用，分析了本领域利用激光干涉原理测量长度、厚度、物体表面轮廓面貌的专利申请情况。通过对激光干涉测量领域专利的不同年份、不同国家、不同申请人的数据统计，分析了激光干涉测量领域技术的发展状况和专利申请情况。那么，激光能干涉测量专利申请吗？
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激光干涉测量技术的专利申请量
激光干涉测量技术在光学测量领域的专利申请最早出现在1964年，从图2.1可以看出，在1960年以前，激光干涉技术专利申请量为零；在1975到1995年期间，激光干涉测量技术的专利申请逐渐稳步上升，但是上升幅度较小，每年的专利申请数量小于100件；在2000年到2001年激光干涉测量技术的专利申请量有了较大的提高，此时激光干涉测量技术已经形成了各种先进的激光干涉测量仪，应用范围进一步扩宽；2001后，激光干涉测量技术在精度和灵敏度上进一步发展，甚至在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可以达到0.01nm，测量角度，分辨力可达0.05''以上，测量面形分辨力可达1/100λ，测量光学零件曲率半径，分辨力可达1um；此后每一年的激光干涉测量技术的专利申请数据都在200件以上并保持稳步上升的趋势，专利申请数量保持较高的申请量。
激光干涉测量技术的专利申请国家分布
激光干涉测量技术最早是在欧美国家研发，在最终是由日本的学者将该技术扩宽到各个领域中，激光干涉测量技术在日本得到了更深入的研究和发展，随后，中国的学者也开始将激光干涉测量技术加入研究的技术领域；激光干涉测量技术在日本的专利申请量最多，与美国和中国的激光干涉测量专利申请数量有较大差额，美国激光干涉测量专利位于第二，中国紧随其后。
激光干涉测量技术的专利申请人分布
激光干涉技术在测量领域的专利申请的申请人中，大部分都来自高校，其次是公司申请，来自研究所的申请也占了较大部分；PCT申请的占有率最少，从侧面反映出了，激光干涉测量技术属于一门研究型的技术，是一门高科技学科；在高校申请中，清华大学的激光干涉测量专利申请量最多，其次是天津大学的激光干涉测量专利申请；在公司申请中，上海微电子装备有限公司的激光干涉测量专利申请量最多；而在各研究所的激光干涉测量专利申请量中，没有特别突出的；这也反应了，在激光干涉测量技术研究中，清华大学和天津大学的研究较为靠前，而在激光干涉测量技术的应用中，上海微电子装备有限公司占据市场较大份额。

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