一种硅微粉煅烧用石英坩埚的制作方法

[0001]
本实用新型属于硅微粉煅烧技术领域，具体涉及一种硅微粉煅烧用石英坩埚。


背景技术：

[0002]
石英坩埚分透明和不透明两种，它可以在1450度以下使用，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
[0003]
而现有技术中硅微粉煅烧用的石英坩埚，主要在坩埚上盖开孔，在坩埚侧壁开孔，同时在坩埚锅沿处开槽，有利于挥发水分、有机物和氧气接触氧化，粉白、质量好，然而由于开孔和开槽的设置，在坩埚对溶液加热过程中，热量会由开孔和开槽散出，进而使得溶液加热时沸点所需的时间增长，降低煅烧效率。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的在于提供一种硅微粉煅烧用石英坩埚。
[0005]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
[0006]
一种硅微粉煅烧用石英坩埚，包括坩埚本体和坩埚本体上端的坩埚盖，所述坩埚盖的底面固定连接有刮杆，所述坩埚盖的上表面开设有安装槽，所述安装槽的底面开设有与坩埚本体内部连通的通气口，所述安装槽内设置有与安装槽匹配的密封板，所述密封板的下端设置有第一弹簧，所述第一弹簧的下端与安装槽的底部固定连接，所述密封板的周侧侧壁对称开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块与凹槽通过第二弹簧固定连接，所述安装槽的侧壁上端开设有与限位块匹配的限位槽，所述坩埚盖上开设有与安装槽连通的通气道。
[0007]
优选的，所述刮杆包括上杆和下杆，所述上杆和下杆之间固定连接，所述上杆与坩埚本体的内壁紧密贴合，所述下杆与坩埚本体的内部底部紧密贴合。
[0008]
优选的，所述坩埚盖的周侧设置有隔热层。
[0009]
优选的，所述密封板的周侧设置有密封垫，所述密封垫采用橡胶材料制成，所述密封垫与密封板硫化连接。
[0010]
优选的，所述密封板的端部与通气道的进气口处紧密贴合。
[0011]
优选的，所述限位块的底部为倾斜设置，且倾斜角度为30-60度。
[0012]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
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1、该种硅微粉煅烧用石英坩埚，可以在硅微粉在坩埚本体内煅烧的过程中，因为坩埚内的反应使得内部气压增大，气体会冲进通气口内顶开密封板，使得气体从通气道内出去，实现硅微粉在煅烧中的水分充分的挥发，缩短了溶液的加热时间，提高硅微粉的煅烧效率。
[0014]
2、该种硅微粉煅烧用石英坩埚，因为在煅烧过程中硅微粉会对坩埚内壁产生粘连
的现象，而通过在坩埚盖的下端设置刮杆，可以转动坩埚盖来带动刮板旋转，因为刮杆紧贴坩埚的内壁和底端，所以可以刮掉硅微粉在煅烧过程对坩埚内壁产生的粘黏，使得在硅微粉在煅烧工作结束后方便硅微粉的倾倒。
附图说明
[0015]
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
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图1为本实用新型中坩埚的剖面结构示意图；
[0017]
图2为本实用新型中坩埚盖的剖面结构示意图；
[0018]
图3为本实用新型中坩埚盖的剖面结构示意图；
[0019]
图4为本实用新型中刮杆的结构示意图；
[0020]
图中：1、坩埚本体；2、坩埚盖；3、刮杆；4、安装槽；5、通气口；6、密封板；7、第一弹簧；8、凹槽；9、限位块；10、通气道；11、限位槽；12、第二弹簧；301、上杆；302、下杆。
具体实施方式
[0021]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0022]
实施例
[0023]
请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：
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一种硅微粉煅烧用石英坩埚，包括坩埚本体1和坩埚本体1上端的坩埚盖2，坩埚盖2的周侧设置有隔热层，当需要转动坩埚盖2来带动刮杆3转动时，不会烫伤工作人员的手部，坩埚盖2的底面固定连接有刮杆3，刮杆3包括上杆301和下杆302，上杆301和下杆302之间固定连接，上杆301与坩埚本体1的内壁紧密贴合，下杆302与坩埚本体1的内部底部紧密贴合，转动坩埚盖2来使得刮板3在坩埚本体1的内壁和底部转动，因为在煅烧过程中硅微粉会对坩埚内壁产生粘连的现象，而通过在坩埚盖2的下端设置刮杆，可以转动坩埚盖2来带动刮板旋转，因为刮杆紧贴坩埚本体1的内壁和底端，所以可以刮掉硅微粉在煅烧过程对坩埚内壁产生的粘黏，同时搅拌还加快了反应，缩短了硅微粉的煅烧时间，提高了工作效率，坩埚盖2的上表面开设有安装槽4，安装槽4的底面开设有与坩埚本体1内部连通的通气口5，当气压增大顶开密封板6时，气体会从通气口5内传到外界，完成水分的挥发，安装槽4内设置有与安装槽4匹配的密封板6，密封板6的两端设置有密封垫，密封垫采用橡胶材料制成，所述密封垫与密封板6硫化连接，保证硅微粉在煅烧过程中的气密性，密封板6的下端设置有第一弹簧7，第一弹簧7的端部与安装槽4的底部固定连接，密封板6的两端侧壁对称开设有凹槽8，凹槽8的内部设置有限位块9，限位块9呈梯形结构设置，当气体顶开密封板6后，密封板6会带动限位块9向上，而限位块9到达限位槽11时，限位块9会在第二弹簧12的伸缩下进入限位槽11里卡住，使得密封板6始终处于打开的状态，使得水分在空气中挥发，还能使得硅微粉与空气中的氧气氧化，限位块9与凹槽8通过第二弹簧12固定连接，安装槽4的侧壁上端开设有与限位块9匹配的限位槽11，坩埚盖2上开设有与安装槽4连通的通气道10，密封
板6的端部与通气道10的进气口处紧密贴合，在煅烧过程中坩埚本体1的密封板6时可以一直处于密封的状态，缩短硅微粉在坩埚本体1内部的煅烧时间。
[0025]
本实用新型的工作原理及使用流程：当硅微粉在坩埚内煅烧的过程中，由于坩埚本体1是密封的状态，当硅微粉在煅烧的过程中，坩埚本体1内的气压会增大，此时气体会进入通气口5内，进而第一弹簧7在弹力的作用下带动密封板6滑动，当密封板6滑动时会带着限位块9向上滑，而当限位块9滑到限位槽11时会在第二弹簧12的伸缩下使得限位块9进入限位槽11内卡住，此时坩埚本体1内的气体会从侧壁的通气道10排出去，能够实现水分充分的挥发，刮杆3可以在硅微粉煅烧过程中搅拌，因为在煅烧过程中硅微粉会对坩埚本体1的内壁产生粘连的现象，而通过在坩埚盖2的下端设置刮杆3，可以转动坩埚盖2来带动刮板3旋转，因为刮杆3紧贴坩埚本体1的内壁和底端，因此可以刮掉硅微粉在煅烧过程对坩埚本体1内壁产生的粘黏，同时搅拌还加快了反应，使得在硅微粉在煅烧工作结束后方便硅微粉的倾倒。
[0026]
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型内。

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